Etude des mécanismes mis en jeu dans la fiabilité des micro

UNIVERSITE DE LIMOGES
Faculté des sciences et techniques de LIMOGES
Ecole Doctorale Science et Ingénierie pour l’Information
Institut de Recherche XLIM
N° : 64-2010
Thèse
Pour obtenir le grade de
DOCTEUR DE L’UNIVERSITE DE LIMOGES
Discipline : Electronique des Hautes Fréquences, Photonique et systèmes
Présentée et Soutenue par : David MARDIVIRIN
Le 26 Novembre 2010
ETUDE DES MECANISMES MIS EN JEU DANS
LA FIABILITE DES MICRO-COMMUTATEURS
MEMS-RF
Thèse dirigée par Pierre BLONDY et Arnaud POTHIER
Christelle AUPETIT Professeur à l’Université de Limoges - XLIM Présidente
Lionel BUCHAILLOT Directeur de Recherche CNRS à l’IEMN à Lille Rapporteur
Robert PLANA Professeur au LAAS à Toulouse Rapporteur
Xavier GRISON Chef du Département « Composant » à la DGA Examinateur
Olivier VENDIER Ingénieur à Thales Alenia Space, à Toulouse Examinateur
Georgios PAPAIOANNOU Professeur à l’Université Nationale d’Athènes Examinateur
Pierre BLONDY Professeur à l’Université de Limoges - XLIM Examinateur
Arnaud POTHIER Chargé de Recherche CNRS à XLIM, Limoges Examinateur
Fabien FILHOL Ingénieur à l’ESA - ESTEC Invité
Frédéric COURTADE Ingénieur au CNES Invité
Valérie MADRANGEAS Professeur à l’Université de Limoges - XLIM Invitée

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A mes parents…

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« Ph'nglui mglw'nafh Cthulhu R'lyeh wgah'nagl fhtagn. » (« Dans sa demeure
de R'lyeh, la ville morte, Cthulhu attend, plongé dans ses rêves »).
H.P. Lovecraft, L'Appel de Cthulhu, 1926.