I
Table de matière
Liste des figures IV
Liste des tableaux V
Introduction générale 1
Chapitre I : Etat de surface
I.1 Introduction 3
I.2 États de surface................................................................................................................................................................................ 3
I.3- Rugosité de surface ................................................................................................................................................................... 4
I.3-1.Définition ................................................................................................................................................................ 4
I.3-2. Paramètres de la rugosité 4
I.4 rugosité............................................................................ 5
Chapitre II : Méthodes de caractérisation des surfaces
II.1 Introduction ....................................................................... 7
II.2. Méthodes optiques .................................................................................................................................................................. 8
II.2. 1. Méthodes basées sur la focalisation de la lumière....................................................................................... 8
II.2. 1. 1. Focalisation dynamique ............................................................................................................................................ 8
II.2.1. 2. Microscopie confocale ................................................................................................................................................ 8
II.2. 2. Méthodes microscopiques ......................................................................................................................................... 9
II.2. 2. 1. Microscopie électronique à balayage MEB 9
II.2. 2. 2. Microscopies en champ proche ....................................................................................................................... 9
II.3. Techniques interférométriques ......................................................................................................................................... 10
II.3.1. Microscopies interférentielles.................................................................................................................................... 10
II.3.2. Variantes.................................................................................................................................................................................... 11
II.3.2.1. Projection de franges.................................................................................................................................................... 11
II.4. Techniques par moiré ............................................................................................................................................................ 12
II.5. Techniques par méthodes tactiles ................................................................................................................................. 13
Chapitre III : Caractérisation des surfaces par interférométrie
III.1 ........................................................................................................14
III.1.1. Equations générales......................................................................................................................................................... 14
III.1.2. ............................................................................................................................................ 17
III.1. 2.1. Cohérence spatiale ................................................................................................................................................... 18
III.1. 2.2. Cohérence temporelle ................................................................................ 18
III.1. 2.3. Cohérence de polarisation ............................................................................................ 19
III.1. 20
III.1............................................................................................................... 20
III.1.4.1. Lame à faces parallèles............................................................................................................................................. 21
III.1. ......................................................................................................................................................................... 23
III.2. Interférométrie optique ..................................................................................................................................................... 24
III.2.1. .. 24
III.2.1.1. Michelson ............................................................................................................................................................................24
III.2.1.2. Mach-Zehnder................................................................................................................................................................. 26
III.2.1.3. Sagnac................................................................................................................................................................................... 26
III.2.1.4.Twyman-Green..................................................................................................................................................................27
III.3. Décalage de phase ; techniques et Concepts........................................................................................................ 28