MEMS : MicroElectroMechanical Systems Applications : Acceléromètre et Gyroscope Arnaud Douceur Xavier Jean Fernando Granha 30 mars 2010 1 1.1 Introduction aux MEMSs Caractéristiques d’un MEMS Un MicroElectroMechanical System exploite une technologie très fine. En effet, les MEMSs sont formés de composants dont la taille est comprise entre 1 et 100 micromètres, pour former des objets dont les dimensions se situent entre 10 micromètre et 1 millimètre. En général, ils sont formés d’un microprocesseur qui traite les données et d’une multitude de microcapteurs pour les recueillir. L’étude de leur fonctionnement est assez complexe, dans la mesure où, à cette échelle, tout n’obéit pas au lois de la physique classique. 1.2 À quoi ressemble un MEMS ? Fig. 1 – Un Mems, mesurant 300 micromètres de longueur, mis au point par l’équipe suisse ETH Zurich c ETH Zurich qui a participé à la RoboCup 2009. 1.3 Naissance des MEMSs Même si leur concept date des années 1960, la technologie n’a permis leur réalisation que beaucoup plus tard. En effet, c’est les nombreux progrès techniques réalisés pour l’industrie du semiconducteur qui 1 ont permis, en utilisant des techniques et des processus de fabrication dérivés, de produire les premiers MEMSs. 1.4 Quel avenir pour les MEMSs ? Le marché du MEMS est en plein essor. Par exemple, tous les capteurs pour le déclenchement des airbags de voiture exploitent la technologie MEMS. Selon "Global MEMS/Microsystems Markets and Opportunities" le marché aurait pesé 40 milliards de dollars en 2006. Selon une étude prospective de "SEMI and Yole Developpement", ce marché atteindrait 72 milliards de dollars en 2011. 1.5 Différents types de MEMSs Les MEMSs servent essentiellement à faire des capteurs. Voici quelques applications pratiques de la technologie MEMS : – Têtes d’impression des imprimantes jet d’encre – Accéléromètre – Gyroscopes – Capteurs de pression – Pilotage de micromirroirs sur vidéoprojecteur – Commutation optique pour les télécommunications – Biocapteur, chémorecepteurs. Dans la suite de ce document, nous nous intéresserons plus en profondeur aux accéléromètres et gyroscopes, qui nous sont tout particulièrement utiles dans notre domaine d’étude. 2 Les accéléromètres Le principe d’un accéléromètre peut être résumé de la manière suivante : une accélération entraine le déplacement ou la déformation d’un objet, que l’on va mesurer, en connaissant la relation entre ce déplacement ou cette déformation et l’accélération. Dans cette section, nous aborderons ces différents points évoqués dans cette définition. Nous aborderons également quelques points sur les caractéristiques techniques pertinentes pour décrire les accéléromètres. 2.1 Quelques types d’accéléromètres répandus Nous commençons par les accéléromètres de base, les plus simples. Les types d’accéléromètres les plus répandus sont les accéléromètres à jauge de contrainte, que nous verrons ensuite. Nous verrons également les accéléromètres basés sur l’effet piezzo-électrique. Pour une liste exhaustive des types d’accéléromètres, nous vous invitons à suivre ce lien. 2.1.1 Les accéléromètres de base Les accéléromètres de base sont basés sur le principe fondamental de la dynamique F = ma, où F est la somme des forces appliquées à une masse m appelée masse séismique mobile, a est l’accélération à laquelle est soumis m. On va mesurer le déplacement de m dû à une accélération en reliant m au solide de référence, qui est fixe, par un ressort dont on connait bien la constante de raideur. On peut mesurer l’élongation du ressort en l’attachant à une résistance variable, ce qui permet d’avoir directement en sortie une tension proportionnelle à l’élongation du ressort, et donc à l’accélération. 2.1.2 Les accéléromètres à jauge de contrainte Ce sont les accéléromètres les plus répandus. L’idée est d’avoir un circuit qui se déforme facilement, et qui oppose une résistance variable avec la déformation de ce circuit, comme le montre la figure 2. Pour la jauge de déformation, on prend habituellement de l’acier E4340 ou de l’acier inoxydable, mais on peut prendre aussi de l’aluminium. 2 Fig. 2 – Schéma de principe d’une jauge de contrainte (source : Wikipédia) 2.1.3 Les accéléromètres à effet piezzo-électrique Les accéléromètres basés sur l’effet piezzo-électrique sont en général des accéléromètres à quartz. On prend une lame de quartz qui vibre à une certaine fréquence et qui va se déformer. L’effet piezzo-électrique se manifeste lorsqu’un objet se charge électriquement quand il subit une déformation, et réciproquement. Dans le cas des accéléromètres à quartz, la fréquence de résonance change, et c’est ce que l’on veut mesurer. 2.2 Caractéristiques des accéléromètres Les caractéristiques principales d’un accéléromètre sont les suivantes (en partie tirées de Wikipédia) : L’étendue de mesure : C’est l’accélération maximale que l’on peut mesurer sur chacun des axes. A prendre en compte également le nombre d’axes (de 1 à 3). L’électronique intégrée : Certains accéléromètres proposent une sortie numérique. L’accélération à ne jamais dépasser : Il s’agit de la valeur d’accélération au dela de laquelle on considère que les déformations plastiques du matériau qui se déforme sont non négligeables par rapport aux déformations élastiques. Lors d’un choc, l’accélération subie peut monter à 1000g. La bande passante : De nombreux accéléromètres renvoient un signal numérique qui est donc échantillonné. Il permet donc de reproduire correctement un signal compris dans une bande de fréquence donnée. Un ordre de grandeur pour de nombreux accéléromètres est 1kHz. Pour des cas d’utilisation comme l’étude de vibrations, cette caractéristique est très importante. La sensibilité : Elle correspond à la différence des signaux de sortie (numériques) pour une différence d’accélération de 1g. Le niveau zéro-g : C’est l’accélération mesurée lorsque l’accéléromètre n’est soumis à aucune accélération. En général, on mesure 0g sur les axes X et Y, et 1g sur l’axe Z. A cela on y ajoute le bruit que l’on peut rencontrer. Sur les accéléromètres le bruit est de moyenne nulle, et souvent on l’assimile à 3 un bruit blanc. La sensibilité transversale : Cela correspond à la déviation entre les axes X,Y,Z vus par l’accéléromètre et les axes X,Y,Z réels (à distinguer de l’angle d’incidence, qui correspond à un déplacement de l’accéléromètre par rapport à un référentiel). Cela est à prendre en compte par exemple lorsque la verticale varie (par exemple pour les avions de ligne). Le prix : d’après Wikipédia en 2007, il varie entre 6 euros pour un accéléromètre bas de gamme non asservi, jusqu’à 3000 euros pour un accéléromètre haut de gamme. Actuellement on en trouve autour de 4 euros sur radiospare. 3 Gyromètre Le gyromètre cherche à mesurer la vitesse angulaire. Un tel capteur en MEMS utilise une structure de quartz vibrant qui est sensible aux rotations grâce à la force de Coriolis. Normalement, il y a deux masses qui vibrent en opposition de phase sur un certain axe, dans la littérature cet axe est connu comme “drive axe”. Lorsque le capteur tourne, la force de Coriolis crée une vibration dans un axe orthogonal ~ Étant proportionnelle à la vitesse Ω, ~ cette à la vitesse linéaire du drive axe et à la vitesse angulaire Ω. vibration est la base pour le calcul. Ce nouveau axe est appelé “sense axe”. Du point de vue électrique, les matériaux qui ont des propriété piézoélectrique sont utiles pour génèrer la vibration du drive axe ou pour la mesure dans le sense axis. Il existe des materiux qui peuvent générer une différence de potentiel lors une compression. Toutefois, la vibration du drive axe pourrait être créée par une courant alterné dans un champ magnétique, Force de Lorentz [1] par exemple. La force de Coriolis est le composant dynamique de la force inertielle, car son existence dépend d’une vitesse linéaire, tandis que l’autre composante, la force centrifuge, est toujours là. En fait, ces forces n’existent pas, elles sont des abstractions de l’inertie vues dans référentiel qui tourne. Pour clarifier un peu le principe physique derrière la majorité de ce capteur, voici la formule 1. ~ F~Coriolis = −2mΩ(t) × ~v (1) En résumé le gyromètre peut être modélisé comme un système masse-ressort avec frottement (3). En pratique les deux axes sont couplés à cause de l’inertie et de l’élasticité de masse. Cette couplage est responsable du transfert d’énergie du drive axe au sense axe, ce qui évidemment résulte d’une erreur de lecture. Un système d’asservissement pour retirer la vibration de l’axe, quand il n’y a pas de rotation, peut être intéressant pour minimiser l’erreur d’imperfection du processus de fabrication. mẍ + dxx ẋ + dxy ẏ + (kxx − m(Ω2y + Ω2x ))x + (kxy + mΩy Ωx )y = fx + 2mΩz 2y mÿ + dxy ẋ + dyy ẏ + (kyy − m(Ω2x + Ω2z ))y + (kxy + mΩx Ωy )x = fy − 2mΩz 2x (2) (3) Comme ce type de capteur se base sur les vibrations, il faut faire attention à la température et aux vibrations mécaniques (e.g. provenant d’un moteur). Placer le composant loin d’un moteur ou retirer de la mesure la partie correspondant au changement de température quand ce dernier est conséquente sont importants pour avoir un valeur plus réaliste. Sachant que le signal de sortie est la combinaison d’une droite avec un bruit souvent modélisé par un bruit blanc, on retire le facteur dû à la droite, puis on fait le filtrage qui est aussi d’une grande importance. Dans la littérature, il y a de nombreux exemples de filtres de Kalman comme dans la reference [3]. 4 Conclusion Nous avons vu au fil de cet article une introduction à la technologie MEMS et aux deux applications que sont le gyroscope et l’accéléromètre. Les capteurs, ainsi toujours plus petit et toujours moins coûteux voient leur champ d’application devenir de plus en plus vaste. Ainsi, la Nintendo Wii et l’iPhone possèdent un petit accéléromètre, qui donnent une nouvelle dimension à l’interaction entre l’Homme et la machine. Sans les technologies MEMS, ça n’aurait pas été 4 Fig. 3 – Système masse-ressort avec frottement de [2] possible. On peut donc envisager que ce type de capteurs va petit à petit s’infiltrer dans des objets de plus en plus communs, et seront de plus en plus nombreux, afin de traiter toutes sortes de données. Références [1] Paoletti, F. ; Gretillat, M.-A. ; de Rooij, N.F. A silicon micromachined vibrating gyroscope with piezoresistive detection and electromagnetic excitation, IEEE (Février 11-15, 1996). [2] Izadian, A. ; Dawson, J. ; Famouri, P. Input-output synchronization for bias drift reduction of MEMS gyroscopes, IEEE (Juin 11-13, 2008). [3] Yang PeiPei ; Li Qing. Kalman filtering of MEMS gyro based on time-series model, IEEE (Août 16-19, 2009). [4] Wikipedia Force de Coriolis, http ://fr.wikipedia.org/wiki/Force_de_coriolis [5] Onera Capteurs Inertiels, http ://www.onera.fr/dmph/capteurs-inertiels/index.php [6] ST Microelectronics MEMS motion sensors, http ://www.st.com/stonline/products/promlit/pdf/brmems1009.pdf 5