Equipements dédiés à la caractérisation physique et électrique

Equipements dédiés à la caractérisation physique et électrique
Microscopie
Microscope électronique à balayage - SEM / EDX
Microscope électronique double faisceau - FIB / STEM / EDX
Métrologie
Microscopes optique
Profilomètres optique et mécanique
Analyse de microstructures MEMS
Vibromètres laser
Analyseur de MEMS
Caractérisation physique
Microscope à force atomique - AFM en mode tapping et modes électriques
Diffractomètres à rayon X
Ellipsomètre spectroscopique
Appareil de mesure effet HALL
Spectromètre FTIR
Mercury probe
Mesure 4 pointes - mesure de la résistivité
Mesure de la tension superficielle par angle de goutte
Granulomètre
Caractérisation électrique
Station sous pointe - mesures I(V), C(V), impédance, tests destructifs CVS/LRVS, RF
Testeur ESD
Spectroscopie des niveaux profonds - DLTS
Station sous pointe cryogénique
Acronymes
MEMS : Micro Electro Mechanical Systems (systèmes microélectromécaniques)
SEM :Scanning Electron Microscopy
FIB : Focused Ion Beam
STEM : Scanning Transmission Electron Microscopy (Un microscope électronique à balayage par transmission)
EDX : Energy Dispersive X-ray spectrometry (analyse dispersive en énergie)
AFM : Atomic Force Microscopy
FTIR : Fourier Transform InfraRed spectroscopy (spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier)
ESD : ElectroStatic Discharge (décharge ElectroStatique)
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