Titre de l’invention : Système de référence de tension alternative à base de systèmes Micro-électromécanique Domaine : ELECTRONIQUE ELECTROMECANIQUE De quoi s’agit – il ? L’invention concerne un nouveau concept de réalisation d’une référence de tension électrique alternative caractérisée par : L’utilisation d’architectures spécifiques de systèmes microélectromécanique (MEMS) à actionnement électrostatique La tension de référence est indépendante du courant alternatif d’actionnement La valeur de la référence de tension électrique, qui peut être très élevée (1000 V), est indépendante de la fréquence Comment procédait – on habituellement ? Il n’existe pas de référence de tension alternative hormis celles réalisées à partir de structures MEMS sous forme de deux électrodes micro-usinées dont au moins une est mobile perpendiculairement au plan des électrodes. Cette capacité variable réalisée en silicium monocristallin est actionnée par un courant alternatif dont la fréquence est très supérieure à la fréquence de résonance du système mécanique. La tension alternative de sortie du MEMS présente un comportement quadratique en fonction du courant et donc un maximum de tension (point de pull-in) qui va être utilisée comme référence de tension AC, car si le courant est maintenu stable à quelques 10-4, alors cette tension pourra être stable à quelques 10-8. Cette stabilité électrique reflètera la stabilité mécanique du système à électrode mobile réalisé avec du silicium monocristallin. Quelle est l’originalité de ce nouveau système ? A partir d’architectures MEMS constituées de deux ou plusieurs électrodes mobiles, si la variation de la capacité, engendrée par un courant alternatif d’actionnement de valeur supérieure à une valeur seuil, est parabolique en fonction du déplacement, alors la tension aux bornes du condensateur variable est constante, indépendante du courant. Ceci permet alors de définir une référence de tension alternative idéale. Quelles sont les applications industrielles ou autres ? - Références de tension alternative de haute précision pour la métrologie Intégration dans l’instrumentation de précision type calibrateurs et multimètres Référence de tension dans les convertisseurs ADC et DAC Composants électroniques monolithiques pour cartes électroniques Quelles sont les industries susceptibles d’être intéressées ? - Mesures, métrologie et instrumentation Electronique et électromécanique Brevet Français : N° : FR 2946758 Déposé le 15 juin 2009 Délivré le 17 décembre 2010 Extensions à l’étranger : / Inventeurs : Alexandre BOUNOUH Denis BELIERES