Notions sur l’électrochimie des semi-conducteurs UE 824 Électrochimie et énergie – Cours de É. Mahé – 4h I.BASES DE L’ÉLECTROCHIMIE DES SEMICONDUCTEURS 12345- Couple rédox, énergétique à l’interface Équilibre ou absence de processus faradique: la double couche et l’interface idéalement polarisée Transfert de charge Transfert de masse/espèces superficielles Cas d’une électrode semi-conductrice II.LA RELATION DE MOTT-SCHOTTKY 12- Démonstration Caractérisation expérimentale d’un semi-conducteur par impédance électrochimique III.EXERCICE D’APPLICATION 12- Cas d’une interface idéalement polarisée Réactions électrochimiques se produisant à une interface SC/solution neutralité électrique ≠ équilibre Rappels sur les semiconducteurs • Semiconducteur intrinsèque • Semiconducteur extrinsèque = dopé • Interface semiconducteur-électrolyte Semiconducteur intrinsèque BC BC Création de paires e-/h+ par excitation thermique Eg BV eh+ BV T 0K T 0K Niveau de Fermi intrinsèque EFi EFi EC EFi EV T 0K EC EV 1 N E EV kTLog V C 2 2 NC 2 Densité de porteurs intrinsèques n p ni NV NC exp( Eg 2kT ) Si à 300 K ni=1,5.1015 cm-3 Semiconducteur dopé Introduction d’un élément étranger X dans le réseau pour augmenter la conductivité X = Donneur X = Accepteur 2 types de dopage (ex : le P pour le Si ) (ex : le B pour le Si ) X → X+ + e- X + e- → X- Type n Type p EF est relié au « potentiel chimique » des électrons dans le SC NA<<ND EC NA>>ND EC EF,n EFi EV Porteurs de charges majoritaires = électrons EFi La position du niveau de Fermi va être modifiée et dépendra du taux de dopage EV EF,p Porteurs de charges majoritaires = trous eD+ donneur ionisé Interface SC/Solution Formation d’une interface SC/électrolyte E EC EF,n égalisation des niveaux de Fermi EC EF,n Erédox Erédox EV EF,n = Erédox SC type n EV Electrolyte ZCE (zone de charge d’espace) Chute de potentiel à travers l’interface : (partionning) Vtot VSC VH eΔVSC eΔVH Erédox • Accumulation de charges des 2 côtés de l’interface : - Dans la ZCE côté SC - Dans la couche de Helmholtz côté solution • L’interface assimilée à deux condensateurs plans de caractéristiques différentes • Ancrage des bords de bandes : CSC (10-8)<<CH(10-5) SC type n Electrolyte Polarisation de la jonction SC/électrolyte Suivant le potentiel imposé la ZCE du SC va se trouver sous différents régime Accumulation - - - Bandes plates V = Vbp E Déplétion = appauvrissement en porteurs majoritaires E E EC EF,n V V Inversion E - - - - EV V V Type n E E E E EC EF,p EV V Type p V V V Cas d’un semiconducteur de type n Type n INVERSION DE EF ET DE EI EN SURFACE FORTE INVERSION EFFB - - - - EC S = 2 F EF=EFFB - qS -qF EI EN SURFACE, PORTEURS MINORITAIRES PLUS - + NOMBREUX QUE DE LES PORTEURS MAJORITAIRES + NE L’ÉTAIENT A Efb (s=0) + ++ +++ EV VFB VINV E /V Type n FAIBLE INVERSION (cas limite) ÉGALITÉ DE EF ET DE EI EN SURFACE - - - - - EC EFFB EF=EFFB + qS S = F -qF EI + ++ EV AUTANT DE PORTEURS MINORITAIRES QUE DE PORTEURS MAJORITAIRES EN SURFACE VFB E /V Type n DÉPLÉTION - - - - EC EFFB -qF EF=EFFB + qS EI + ++ VFB EV E /V Type n BANDES PLATES EC -qF EFFB EI VFB EV E /V Type n ACCUMULATION + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + - - EC -qF EF=EFFB - qS EFFB EI VFB + + + EV E /V Cas d’un semiconducteur de type p Type p ACCUMULATION - - - - -qF EC EI EFFB VFB EF=EFFB + qS + + + EV E /V Type p BANDES PLATES EC -qF EI EFFB VFB EV E /V Type p DÉPLÉTION + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + - - EC -qF EI EF=EFFB - qS EFFB +++ VFB EV E /V Type p FAIBLE INVERSION (cas limite) ÉGALITÉ DE EF ET DE EI EN SURFACE + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + - - - EC EI -qF EF=EFFB - qS S = F EFFB ++++ VFB EV AUTANT DE PORTEURS MINORITAIRES QUE DE PORTEURS MAJORITAIRES EN SURFACE E /V Type p INVERSION DE EF ET DE EI EN SURFACE + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + - - - - FORTE INVERSION EC EI -qF EF=EFFB - qS VINV S = 2 F ++++ EV EFFB EN SURFACE, PORTEURS MINORITAIRES PLUS NOMBREUX QUE DE LES PORTEURS MAJORITAIRES NE L’ÉTAIENT A Efb (s=0) VFB E /V Distribution des porteurs de charge – Modèles de charge d’espace Gouy-Chapman • La distribution des porteurs de charge positifs et négatifs est gouvernée par le champ électrique • Solutions d’électrolytes Mott-Schottky • L’un des type de porteur de charge est immobile, l’autre,porteur de charge majoritaire reste mobile : •Exemple SC type-p en régime de déplétion (appauvrissement de Charge interfaciale surface) Coeur Zone de charge d’esace de l’électrode + + + + + + + + + + log Concentration log Concentration Charge interfaciale Coeur de l’électrode + + + + + + + + + Zone de charge d’espace + Distribution des porteurs de charge – Densité des porteurs de charges Solutions électrolytiques • Les porteurs de charge positifs et négatifs :cations et anions • Concentrations typiquement µmol.L-1 jusqu’à 1 mol.L-1 •TYPIQUEMENT 10-3 mol.L-1 Métaux • Les porteurs de charge sont les électrons libres • Concentrations typiquement cas du cuivre: 8,5 1028 électrons/m3 •TYPIQUEMENT 140 mol.L-1 Semiconducteurs • Les porteurs de charge positifs ou négatifs :électrons e- de la bande de conduction (BC) ou h+ de la bande de valence (BV). • Concentration dans le cas du silicium dopé: 1017 électrons/cm3 •TYPIQUEMENT 10-4 mol.L-1 Le potentiel de bandes plates : Vbp • Il dépend de la nature de l’électrolyte et du matériau SC • Caractéristique importante de la jonction : Il sépare le régime de déplétion du régime d’accumulation Il permet la compréhension des cinétiques de transferts de charges et des mécanismes se produisant à l’interface semi conducteur/électrolyte • Il est déterminé en général par des mesures d’impédances électrochimiques Caractéristiques électriques de la ZCE (CSC, RSC..) Par traitement de l’équation de Poisson x d 2V x 2 0 dx Equation de Mott-Schottky 2 CSC 2 kT V V fb 0eN e Déplétion suffisamment grande ( eΔVSC>>kT) N=ND ou NA 2 CSC Pente→ N Extrapolation→Vbp → EC,S et EV,S porteurs de charges nS et pS Vbp V Type p Type n Type n