GDR ondes GT2 19 mai 2007 LAAS-CNRS

GDR ondes GT2 19 mai 2007
LAAS-CNRS:
Stéphan Hernandez, Olivier Gauthier-Lafaye, Laurent Bouscayrol, Laurent Jalabert,
Philippe Arguel, Sophie Bonnefont, Françoise Lozes-Dupuy
Institut Fresnel
Anne-Laure Fehrembach, Anne Sentenac
Réalisation de filtres à réseaux résonnants
ultra-sélectifs en longueur d’onde
Remerciements : ce projet est en partie supporté par le projet ANR FOREAC. Ce travail a
bénéficié d’un soutien du CNES et de EADS Astrium.

GDR ondes GT2 19 mai 2007
Motivations
Application spatiale: filtrer un signal à 850 nm en espace libre
Filtre en réflexion
Très étroit
Fort taux de réjection
Indépendant à la polarisation
Application à l’instrumentation…

GDR ondes GT2 19 mai 2007
Plan
Principe et conception d’un réseau résonnant
Fabrication
Caractérisation optique

GDR ondes GT2 19 mai 2007
Réseaux résonnants
Principe de fonctionnement:
Anti-
reflet
iir
inc K
p
h
p
iir
inc K
p
h
p
Les conditions de couplage :
i~ p
i+ Kip~ Re(p)
1
0i
R

GDR ondes GT2 19 mai 2007
Conception de la structure
Anti-Reflet
-Diélectrique non absorbant, compatible CMOS
-Couche de haut indice contenant des modes guidés
AR < 1% sur 50 nm
SiO2: 103 nm, n=1.48
Si3N4: 171 nm, n=2.02
Substrat Verre