Microstructures 275
10.2.3 Microscopie electronique
Pour I'observation de certains details de la microstructure des materiaux, il est
necessaire d'utiliser des grossissements superieurs a.1000 (limite de la microscopie
optique) et de recourir aux techniques de la microscopie eIectronique. La structure en
grains des polymeres, dont les dimensions caracteristiques sont en general inferieures
au micron, est presque toujours etudiee par microscopie electronique. Les structures
des metaux apres trempe et des ceramiques fabriquees a.partir de poudres de taille
submicroscopique sont aussi mises en evidence par les techniques de microscopies
electroniques.
Parmi toutes les particules utilisables pour construire une image (protons, pho-
tons, rayons X, electrons, etc.), les electrons constituent Ie meilleur choix. lIs sont, en
effet, faciles a.obtenir par chauffage sous vide d'un filament metallique, ils sont acce-
leres par un champ electrostatique et leur charge electrique les rend capables d'etre
devies, c'est-a.-direfocalises par les champs electrostatiques ou electromagnetiques.
Avec des electrons acceleres par une difference de potentiel de 100kV et ayant une
longueur d'onde associee de 3,7 pm, on obtient une resolution d'environ 0,3 nm qui
est de I'ordre de grandeur des distances interatomiques. Cependant, comme les elec-
trons sont fortement absorbes par la matiere, les echantillons doivent etre extreme-
ment minces (0,1 !tm environ). Leur preparation pour la microscopie electronique a.
transmission est souvent tres delicate et fait appel a.toute une serie de techniques par-
ticulieres comme par exemple l'amincissement electrochimique ou Ie bombardement
ionique.
La figure 10.2 donne une vue schematique generale d'un microscope electro-
nique a transmission (MET). II est compose d'une source d'electrons, d'un con-
denseur (lentille electromagnetique L1)qui sert a.focaliser Ie faisceau electronique
sur I'objet AB, d'une lentille-objectif Lz agrandissant l'image de I'objet et de lentilles
L3, L4 (projecteur) qui agrandissent et projettent l'image (A3B3)sur un ecran fluores-
cent, similaire a.celui d'un ecran TV ou sur une plaque photographique. II faut noter
que Ie schema de principe du microscope electronique a.transmission correspond
pratiquement a.celui du microscope optique.
Examinons succinctement Ie mecanisme de formation de l'image en microscope
electronique a.transmission. Celui-ci fait intervenir des processus de diffraction ou de
diffusion des electrons alors qu'en microscopie optique a.transmission, ce sont des
phenomenes d'absorption plus ou moins importants de la lumiere qui sont a.la base
du processus de formation de l'image.
Examinons ce qui se passe lors de l'observation d'un materiau cristallin. Vne
partie des electrons, qui traversent la preparation microscopique, interfere avec les
atomes des plans cristallins et est diffractee suivant des directions determinees de
I'espace prevues par la loi de Bragg (3.10). La fraction des electrons non diffractee
est transmise dans la meme direction que celIe du faisceau incident. La diffraction
d'une fraction du faisceau electronique incident induit une attenuation de l'intensite
electronique dans la direction du faisceau incident. Cette attenuation plus ou moins
importante du faisceau electronique apparait sur I'ecran detecteur dans une tonalite
plus foncee, grise ou meme noire suivant Iecas. L'image de l'echantillon se presente