E Lycée Naval, Spé 2. E bande de conduction AD - Conduction dans les semi-conducteurs 1 1 bande de conduction Eg bande de valence Introduction Eg bande de valence bande de valence Métal Les métaux sont des conducteurs électriques. La présence d’un champ électrique assure la mise en mouvement d’ensemble des porteurs de charge, les électrons libres et, par la même, l’apparition d’un courant électrique. À l’opposé, les isolants électriques, dépourvus d’électrons libres, ont une conductivité électrique nulle. Entre ces deux situations extrêmes, des composants comme le silicium sont appelés « semi-conducteurs ». Isolants à température ambiante, une augmentation de température ou la présence d’impuretés peuvent les rendre conducteurs. Semiconducteur Isolant Figure 1 – Schématisation du diagramme de bandes d’un métal, d’un semiconducteur et d’un isolant. 5 − 10 eV) rendant la bande de conduction quasiment inaccessible et inoccupée aux températures raisonnables. Dans le cas des semi-conducteurs, l’énergie de gap modérée (∼ 1 eV et variable d’un matériau à l’autre) rend plus probable le transfert d’électrons de la bande de valence vers la bande de conduction par un apport énergétique (d’origine thermique, optique, électrique) raisonnable. Au sein d’un métal, la conductivité est une fonction décroissante de la température : le nombre de porteurs de charge est constant et une augmentation de la température, qui augmente les vibrations du réseau, a tendance à augmenter la résistance du matériau. 2 E bande de conduction La rupture d’une liaison covalente entraîne donc la création d’un électron libre mais aussi celle d’un trou, associé au défaut d’électron dans la liaison ; on parle dès lors de paires électrons-trous (Fig. 2). Les trous se comportent comme des particules de charge +e participant, comme les électrons libres, à la conduction électrique (voir Section 5). Bandes d’énergie et porteurs libres dans un semi-conducteur e- libre Dans un atome isolé, les énergies des électrons ne peuvent prendre que des valeurs discrètes ; on parle de niveaux d’énergie. Associés dans un solide cristallin, les atomes voient leur niveaux d’énergie se décaler et se superposer en bandes d’énergie, continuum de valeurs possibles pour l’énergie d’un électron. Si Si e- de valence Si Si Si Si Si Si Si trou Si noyau et e- de coeur De manière simplifiée (Fig. 1), apparaissent une bande de valence occupée par des électrons peu énergétiques intervenant dans les liaisons covalentes du cristal, et une bande de conduction occupée par des électrons plus énergétiques délocalisés dans tout le matériau. Comme dans un métal, ces électrons dits libres peuvent être animés d’un mouvement d’ensemble lorsqu’un champ électrique est appliqué (conduction électrique). → Dans le cas d’un métal, la bande de conduction chevauche la bande de valence et est facilement accessible et occupée par les électrons (Fig. 1). → Dans le cas d’un isolant ou d’un semi-conducteur, apparaît une bande interdite, ensemble de valeurs d’énergie inaccessibles aux électrons. La largeur de cette bande interdite est appelée énergie de gap. L’énergie de gap des isolants est grande (∼ Figure 2 – Création d’une paire électron-trou. 3 Densité de porteurs dans un semi-conducteur intrinsèque La statistique de Fermi-Dirac permet d’estimer les densités n d’électrons de conduction et p de trous à température T donnée. Pour un semi-conducteur pur (intrinsèque), on définit ni la concentration intrinsèque en porteurs comme : E n = p = ni = AT 3/2 exp − kTg 1. Ce document est une adaptation de l’activité proposée par H. Marinchio pour l’UPS. 1 où A est une constante propre au matériau, Eg l’énergie de gap et k la constante de Boltzmann, avec k = 1, 38 × 10−23 J.K−1 . Si Si Si Si Si Si trou Si e- libre L’augmentation de ni avec T traduit le fait que plus la température est élevée plus un électron a de chance de posséder une énergie suffisante pour appartenir à la bande de conduction (Fig. 3). Si P+ Si Si Si B- Si Si Si Si Si Si Si Si Figure 4 – Création d’un porteur libre par ionisation d’une impureté. ment ionisées et on a n ≈ ND ou p ≈ NA . La conductivité est dès lors contrôlée par la concentration de dopant. Notons enfin que la loi d’action des masses impose dans le semi-conducteur, quel que soit le dopage : n × p = n2i Figure 3 – Évolution de la concentration intrinsèque ni 5 4 Dopage d’un semi-conducteur Conduction dans un semi-conducteur Comme signalé plus haut, dans un semi-conducteur la conduction est assurée par les électrons libres et les trous. Le déplacement des trous se fait dans le sens opposé à celui des électrons (Fig. 5). Le dopage consiste à introduire des atomes donneurs ou accepteurs d’électrons dans un substrat de semi-conducteur intrinsèque afin d’en modifier les propriétés conductrices. Ces atomes viennent s’insérer dans le réseau cristallin par substitution. Comme les dopants sont introduits en quantité faible (devant le nombre d’atomes du substrat initial), on parlera d’impuretés. mouvement d'ensemble d'ee- libre On réalise ainsi un semi-conducteur extrinsèque dopé N par ajout de donneurs, comme le phosphore P dans le silicium ; l’ionisation des impuretés introduit ainsi un excès d’électrons libres. De manière analogue, les semi-conducteurs dopés P sont obtenus par introduction d’accepteurs d’électrons. Par exemple, l’atome de Bore possédant trois électrons de valence et une lacune est susceptible de capturer un électron intervenant dans une liaison covalente Si-Si, créant ainsi un trou libre dans la bande de valence du matériau (Fig. 4). Le dopage permet ainsi de contrôler le type de porteurs majoritaires et d’augmenter considérablement la densité de charges libres (et donc la conductivité du matériau) en choisissant une concentration en donneurs ND ou en accepteurs NA grande devant ni . Aux températures usuelles, les impuretés sont très majoritaire- Si Si Si Si Si Si champ électrique E saut d'un ede valence vers un trou déplacement apparent du trou Si Si mouvement d'ensemble de trous Figure 5 – Schématisation du déplacement des trous et des électrons libres lorsqu’un champ électrique est appliqué. 2 Mobilité des porteurs de charge σ = e(nµn + pµp ) Dans le cadre du modèle de Drude, on assimile les porteurs en interaction avec le cristal à des particules classique de masse effective m∗ subissant des séries de vols libres entrecoupées de collisions. La vitesse d’ensemble ~v est alors liée au ~ par l’équation classique : champ électrique E m∗ 6 Quelques figures concernant le silicium (a) d~v ~ − m∗ ~v = qE dt τ (b) où τ est la durée moyenne entre deux collisions. On peut dès lors introduire la mobilité du porteur en régime stationnaire définie ~ comme le rapport entre norme de la vitesse et intensité du champ µ = ||~v ||/||E|| et s’exprimant : µ= |q|τ m∗ La mobilité est majoritairement affectée par deux types de collisions que subissent les porteurs de charge : — les interactions de type coulombienne avec les impuretés ionisées ; celles-ci sont prédominantes à basse température ; la probabilité de collision diminue quand la vitesse quadratique des porteurs et donc la température augmentent ; — les interactions avec le réseau cristallin ; elles sont d’autant plus probables que les porteurs sont énergétiques ; l’influence de cette interaction croit donc avec la température et avec le champ électrique appliqué. La masse effective et donc la mobilité des trous et électrons varient également fortement d’un matériau à l’autre : par exemple, la mobilité électronique à 300 K et à faible dopage est d’environ 1400 cm2 .V−1 .s−1 dans le silicium et de 40000 cm2 .V−1 .s−1 dans l’arséniure d’indium InAs, alliage plus "moderne". Figure 6 – Mobilité des électrons (a) et des trous (b) en fonction de la densité de dopants et pour différentes températures. Conductivité La densité de courant peut s’écrire en régime stationnaire, en additionnant les contributions des électrons et des trous (auxquels les indices n et p de l’expression suivante font référence) : ~ ~j = j~n + j~p = −env~n + epv~p = (enµn + epµp )E Figure 7 – Résistivité du silicium dopé en fonction de la concentration en impuretés. On en déduit la conductivité du semi-conducteur : 3 t85 6 . 1 Ca ier Orift 500 300 J( 10 11 r-"1:' , Questions T(K) 200 100 75 1. On donne un extrait de la classification périodique avec Z(Si) = 14 : , I I 10 I 16 .§ I 10 : I I ...... 10'" ............ I ' 1.0 , c: Justifier que le silicium est dopé N en présence de phosphore et P en présence de bore. " I '\ I, ' " 2. Justifier la forme de la courbe donnant la densité intrinsèque ni en fonction de la température en échelle semi-log (Fig. 3) et montrer qu’elle permet de donner une estimation de l’énergie de gap. ' '.' , I 0.1 I , 3. Estimer et comparer les conductivités à 300 K du silicium intrinsèque (idéal, impossible à obtenir en pratique), du silicium dopé N avec ND = 1016 cm−3 et dopé P avec NA = 1016 cm−3 . I Ilj I 4. Expliquer l’évolution, représentée en Fig. 7, de la résistivité du silicium extrinsèque avec la concentration de dopants. Proposer une explication à la non-linéarité de l’évolution de σ en fonction de ND/A . Figure 5.6 1Eleclron concenlration and conductivity versus io\'crse remperalure for .o;ilicon. Figure 8 – Densité d’électrons libres et conductivité du silicium dopé N (ND = fAfter Sr.' " 12}. ) 1015 cm−3 ) en fonction de la température. 5. Justifier l’évolution de la densité de porteurs n et de la conductivité σ avec la température (Fig. 8). Comparer avec le comportement d’un métal, pour lequel la conductivité décroit de façon monotone avec la température. 6. Rédiger une brève synthèse (une dizaine de lignes maximum) précisant les facteurs influençant la conductivité d’un semi-conducteur. varies . with temperature in this range. At higher temperatures. the intrinsic carrier concentration increases and begins to dominate the electron concentration as well as the conductivity. In the lower temperature range, freeze-oUi begins to occur; the electron concentration and conductivity decrease with decreasing temperarure. F.XAMPLE S.2 Objective To dc<cnrune the doping concentration and major,ty carrier mubility give n the type and cuodll(;tivity of a compensated senliconductor. Considcr compensated n-type silicon at T = 300 K. with a cOnd\IClivity of ( f ;;:: 16 (Sl-cm)- I and al1 tlcceptor doping conc.:entratioll of 10 17 <!m-:'> _ Determine the donor COllcemration and tbe electron mObility. • SoIutlon For n-t)'pe silicon at 'r ity. a'isuming Nil - N" = 300 K, we <!3n assume complete ionization: thereforc the conductiv» ";. is given by 4