thèse - Nuxeo

THÈSE
Présentée à l’Université des Sciences et Technologies de Lille
UFR Electronique
en vue de l’obtention du titre de
DOCTEUR DE L’UNIVERSITE
Spécialité: ELECTRONIQUE
Elaboration et caractérisation de transistors MOS Schottky
en régime nanométrique
par
Guilhem LARRIEU
Ingénieur EUDIL
Soutenu le 9 avril 2004 devant la commission d’examen:
Président A. Cappy
Rapporteurs D. Flandre
J. Gautier
Examinateurs P. Coronel
G. Dambrine
A. Halimaoui
Directeurs de thèse E. Dubois
D. Stiévenard
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No d’ordre: 3451
Thèse de Guilhem Larrieu, Lille 1, 2004
© 2004 Tous droits réservés.
http://www.univ-lille1.fr/bustl

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Thèse de Guilhem Larrieu, Lille 1, 2004
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à mes parents,
à Karen,
à ma soeur,
à ma famille.
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Remerciements
Ce travail a été effectué à l’Institut d’Electronique, de Microélectronique et de Nano-
technologie (IEMN) depuis septembre 2000. Je remercie Messieurs les Professeurs Georges Sal-
mer et Alain Cappy successivement directeurs de l’IEMN pendant cette période pour m’avoir
accueilli au sein de leur laboratoire. Je tiens à remercier plus particulièrement ce dernier de me
faire l’honneur de présider le jury de ma soutenance.
Mes plus chaleureux remerciements et toute ma reconnaissance vont à Emmanuel
Dubois, Chargé de Recherche au CNRS et responsable de l’équipe ISEN Microélectronique Sili-
cium, pour m’avoir accueilli, orienté et encadré pendant ces années. Sa rigueur, sa persévérance,
ses connaissances scientifiques et son enthousiasme ont largement contribué à la réussite de ce
travail.
Je remercie sincèrement Monsieur Denis Flandre, Professeur de l’Université Catholi-
que de Louvain La Neuve et Monsieur Jacques Gautier, Chercheur au CEA LETI de Grenoble,
pour l’honneur qu’ils me font d’avoir accepté d’être rapporteurs de ce travail.
Je remercie également Monsieur Philippe Coronel, Ingénieur project manager chez
STMicroelectronics, Monsieur Gilles Dambrine, Professeur de l’Université des Sciences et Tech-
nologies de Lille, et Monsieur Aomar Halimaoui, Ingénieur project manager chez STMicroelec-
tronics pour avoir accepté de participer au jury de cette thèse.
Je remercie vivement Monsieur Didier Stiévenard, Directeur de Recherche au CNRS
pour avoir soutenu ces travaux en tant que Directeur de thèse.
Je voudrais également remercier toutes les personnes qui ont contribué au bon dérou-
lement de cette thèse à travers le projet européen SODAMOS, notamment, Monsieur Xavier Wal-
lart, Chargé de Recherche au CNRS, pour la réalisation des analyses XPS ainsi que pour les
fructueuses discussions qui en ont résultées, Monsieur Jerzy Katcki, Chercheur à l’Institute of
Electron Microscopy pour les nombreuses images par microscopie électroniques à transmission et
Monsieur Xavier Baie, Enseignant Chercheur ISEN pour les nombreuses images par microscopie
électroniques à balayage. Je n’oublie pas les membres de STMicroelectronics et de l’Université
de Louvain la Neuve qui ont participé au projet. Je remercie chaleureusement Monsieur Christo-
phe Krzeminski, Chargé de Recherche au CNRS, pour sa contribution dans la description de la
cinétique d’oxydation ainsi que pour la relecture de ce manuscrit.
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