les applications ht dans l`industrie des procedes sous vide.

LES APPLICATIONS HT
DANS
L’INDUSTRIE DES PROCEDES SOUS VIDE.
Depuis de nombreuses années SEFELEC propose des solutions innovantes dans le domaine
des alimentations haute tension à courant continu.
Dans cette optique, des solutions adaptées au domaine de l’industrie des procédés sous vide
ont été développées.
Les alimentations pouvant être utilisées dans différentes applications telles que la
pulvérisation par magnétron, les traitements par décharge plasma ainsi que les sources pour
faisceaux d’ions et d’électrons, mettent en œuvre une technologie éprouvée de hacheurs à
résonance incluant un fonctionnement à puissance constante, la gestion sophistiquée des arcs
et un contrôle possible par une liaison distante RS232C.
Une attention particulière est apportée à la détection et la gestion du comportement de
l’alimentation en cas de génération d’arcs. Le traitement rapide de ce phénomène relativement
fréquent dans ces applications sous vide est primordial pour la qualité et l’efficacité des
procédés mis en œuvre.
Une détection rapide des arcs, entraînant une suppression instantanée de la haute tension en
sortie d’alimentation, permet de limiter les conséquences sur le processus en cours.
L’automatisation du rétablissement de la haute tension associée à un circuit de comptage
d’arcs (nombre et fréquence paramétrables) permet d’optimiser la gestion de l’incident et de
supprimer la génération de la HT en cas de problèmes réels au niveau des équipements.
Lorsque l’arc apparaît au point situé à 2 cm à
gauche par rapport au centre du graticule, la
sortie HT chute brutalement.
L’énergie stockée à la sortie Haute Tension est
déchargée par l’arc jusqu’à son extinction.
Le circuit de suppression d’arc inhibe la sortie HT
pendant 20 ms avant la reprise de la charge.
Les caractéristiques du système de recharge de
la HT permettent une montée rapide à 25% de la
tension finale (déterminée par le courant
disponible de l’alimentation, la capacité totale et la
charge). A partir de 25% et jusqu’à la tension
nominale la montée en sortie est exponentielle
avec une constante de temps de 50 ms comme le
montre la photo.
PULVERISATION SOUS VIDE - MAGNETRON A COURANT CONTINU
MODELE 600 W HT26
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MODELE 1200 W HT21
Modèles disponibles 0-1 kV ou 0-800 V
protection contre les arcs
contrôle des modes tension/courant/puissance constants
option d’interface série RS-232
faible énergie stockée
faible encombrement, idéal pour le laboratoire et la production
Adaptées à la pulvérisation cathodique magnétron, dépôts sur films minces.
SOURCES D’IONS
MODELE 300 W HT29
MODELE 3000 W HT23
MODELE 5000 W HT31
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Modèles disponibles 300 V à 5 kV
(tensions plus élevées possibles)
Sources pour cathode, anode,
extraction, etc..
protection contre les arcs,
rétablissement rapide de la HT
bonne régulation / haute stabilité
Possibilité d’assemblage Maître/
Esclave augmentant la puissance
réseaux 115 V/208 V/400 V AC
option d’interface série RS-232
Particulièrement adaptées pour l’implantation ionique, le dépôt par faisceau d’ions, les cyclotrons pour les
applications médicales et les sources d’ions pour couche anodique, ces alimentations peuvent également
être utilisées pour les traitements par décharge plasma.
Les spécifications complètes de ces modèles sont disponibles sur notre site Web
www.sefelec.com
CANON A ELECTRONS – SYSTEMES MICRO ONDES
MODELE 10 kW A 50 kW HT32
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Modèles disponibles 0-1 kV à 12 kV
protection contre les arcs, rétablissement rapide de la HT
petit châssis compact, hauteur optimisée de 220 mm
Possibilité d’assemblage Maître/ Esclave augmentant la puissance jusqu’à 50 kW
option d’interface série RS-232
Idéal pour les applications telles que l’évaporation par faisceau d’électrons, les amplificateurs pour le
chauffage micro onde et HF qui nécessitent performances et robustesse.
SOUDAGE PAR FAISCEAU D’ELECTRONS
MODELE 8 kW A 40 kW HT25
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Modèle 60 kV pour cathode
Adaptée pour les systèmes de soudage en circuit fermé
protection contre les arcs, circuit de suppression d’arc par inhibition de la HT pendant 20 ms
Chauffage filament en option
Compact, montage en rack
option d’interface série RS-232
Alimentation de puissance de cathode jusqu’à 60 kV pour les applications de soudage par faisceau
d’électrons. Avec ou sans polarisation continu et chauffage filament ce modèle est particulièrement
performant et optimisé pour ce type d’application.
Les spécifications complètes de ces modèles sont disponibles sur notre site Web
www.sefelec.com