TECHNOLOGIE Siliciun-Sur-Isolant SIS ou SOI en

THÈSE
Pour obtenir le grade de
Spécialité : Micro et Nano Electronique
Arrêté ministériel : 7 août 2006
Présentée par
Julien LE COZ
Thèse dirigée par Marc BELLEVILLE et
codirigée par Philippe FLATRESSE et Alexandre VALENTIAN
préparée au sein du Laboratoire CEA LETI
dans l'École Doctorale Electronique Electrotechnique
Automatique et Traitement du Signal (Grenoble-INP)
Réduction de la consommation
statique des circuits intégrés en
technologie SOI 65nm
partiellement désertée
Thèse soutenue publiquement le 24 novembre 2011,
devant le jury composé de :
M. Jean Michel FOURNIER
Professeur à Grenoble-INP, IMEP-LAHC, Président
M. Amara AMARA
Professeur à l’ISEP, Rapporteur
M. Jean Didier LEGAT
Professeur à l’UCL, Rapporteur
M. Christian PIGUET
Professeur à l’EPFL, CSEM, Membre
M. Philippe MAURINE
Maitre de conférences, Université de Montpellier 2, Membre
M. Marc BELLEVILLE
Directeur de recherche au CEA LETI, Directeur de thèse et Membre
M. Philippe FLATRESSE
Chef de projet chez STMicroelectronics, Membre
M. Alexandre VALENTIAN
Ingénieur chercheur au CEA LETI, Membre

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« A Seu João »

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Remerciements
Ces trois années de thèses ont été pour moi enrichissantes, professionnellement et
humainement. Mes remerciements vont tout d’abord, et naturellement, à mon encadrant
industriel, Philippe Flatresse. Je remercie Philippe de la confiance qu’il m’a accordée et de
m’avoir fait profiter de son expertise technique en technologie SOI. Philippe a fortement
participé à l’avancement des travaux de cette thèse.
Je remercie également mon employeur STMicroelectronics, et tout particulièrement
Robin Wilson. Robin a été mon premier contact industriel alors que j’étais étudiant à
Polytech’Montpellier ; son intérêt pour mon travail à cette époque a fortement contribué à
mon embauche. Je pense également à Sylvain Engels, membre de l’équipe et expert en
conception numérique, qui a su me livrer une multitude de conseils techniques et pour qui j’ai
une grande admiration et amitié.
Cette thèse n’aurait pas eu lieu, sans l’appui du Commissariat Energie Atomique
(CEA) et de son laboratoire d’électronique et technologie de l’information (LETI). Je
remercie mon directeur de thèse, Marc Belleville, directeur de recherche au LETI, pour ses
conseils pertinents et l’orientation claire qu’il a su donner à mes travaux. Il en va de même
pour Alexandre Valentian, ingénieur chercheur au LETI. Alexandre fut mon encadrant de
laboratoire ; son expertise en SOI et son talent de rédaction m’ont permis d’améliorer les
miens.
Mes remerciements s’adressent également à l’ensemble du jury : au Professeur Jean
Michel Fournier, pour avoir bien voulu accepter de présider celui-ci, aux Professeurs Amara
Amara et Jean Didier Legat pour avoir accepté la lourde tâche d’en être les rapporteurs ainsi
qu’aux autres membres, le Professeur Christian Piguet et le Docteur Philippe Maurine.
Philippe, qui fut l’un de mes enseignants en école d’ingénieur ; il a ma plus respectueuse
reconnaissance pour m’avoir donné goût à la microélectronique.
Au cours de ces trois années, à STMicroelectronics, j’ai eu la chance de rencontrer un
grand nombre de personnes qui m’ont toutes directement ou indirectement permis d’avancer
dans mes travaux, par leurs connaissances techniques, leurs disponibilités et leurs amitiés.
J’aimerais d’abord remercier les collègues qui me sont les plus proches à STMicroelectronics,
Alain Tournier, Carmelo D’Agostino, Thomas Le Huche, pour leur complicité et
l’atmosphère favorable au travail qu’ils ont su créer dans cette équipe. Je remercie aussi ceux
avec qui j’ai eu la chance de travailler, ainsi que les différentes personnes qui ont su