TP1 : Diodes P + N Objectif Il s'agit de réaliser une diode p+n en technologie microélectronique. L'occasion est donnée de voir les principes de la photolithographie, de l'oxydation humide, du dopage par diffusion et du dépôt de métal par évaporation. Les tests en cours de process permettent d'extraire les résistances par carré ainsi que les épaisseurs d'oxyde et d'aluminium par des méthodes électriques ou optiques utilisées classiquement dans les centres de production. Pratique Le process débute par la photolithogravure d'oxyde de masquage sur des plaques préalablement oxydées. Les précédentes étapes de nettoyage RCA et d'oxydation humide seront faites en parallèle avec les autres étapes du process. Le TP se termine par la caractérisation électrique de la diode à l'aide d'un testeur sous pointes et d'un analyseur de caractéristiques. Durée : 2 jours Jour 1 : photolithogravure oxyde et prédépôt Bore (matin) ; gravure I verre de bore, oxydation basse température, nettoyage RCA, gravure II verre de bore (aprèsmidi) Jour 2 : dépôt aluminium, photolithogravure Al (matin) ; recuit Forming Gas, oxydation humide, test électrique Mesures pendant le process : Ellipsométrie : SiO2 de masquage, verre de Bore. Rcarré : zone p+, aluminium Mesures électriques : tension de seuil, tension de claquage, résistance zone n, coefficient d'idéalité, effet de l'éclairement Compétences requises Connaissances en technologie microélectronique et en physique des dispositifs Pr. Tayeb MOHAMMED-BRAHIM, UNIVERSITÉ DE RENNES 1 Campus de Beaulieu (case 1103) 263 avenue du Général Leclerc CS 74205 35042 RENNES CEDEX TÉL. 33 (0)2 23 23 60 69 FAX 33 (0)2 23 23 56 57 [email protected] www.ietr.org 1