Les mesures électriques par AFM : principes de fonctionnement

COURS FORUM 2011
Les mesures électriques par AFM : principes de
fonctionnement, possibilités et limites
Brice GAUTIER
non
contact
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Sommaire
Mesures électriques en mode contact :
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Mesures électriques en mode non – contact
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contact
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Objectif :
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photodiode
pointe
laser
polari-
sation
amplificateur
acquisition
Principe :
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Conductive AFM (C-AFM)
contact
C-AFM

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Exemple d'utilisation
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SiO2, ε ~3.9
très (trop ?) fin
Courant de fuite
important
grille Diélectrique à fort
ε >3.9
Courant de fuite
plus faible
grille
HfO2,
LaAlO3 ...
Remplacement du SiO2 par des oxydes à haute permittivité : SrTiO3, HfO2,
LaAlO3...
contact
C-AFM

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applications du TUNA
épaisseur 50 nm
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épaisseur 20 nm
épaisseur 50 nm
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C-AFM
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