Thèse sur les microgénérateurs piézoélectriques pour microsystèmes autonomes

HAL Id: tel-00721949
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Submitted on 31 Jul 2012
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Conception et caractérisation de microgénérateurs
piézoélectriques pour microsystèmes autonomes
Maxime Defosseux
To cite this version:
Maxime Defosseux. Conception et caractérisation de microgénérateurs piézoélectriques pour microsys-
tèmes autonomes. Autre. Université de Grenoble, 2011. Français. �NNT : 2011GRENT090�. �tel-
00721949�

THÈSE
Pour obtenir le grade de
DOCTEUR DE L’UNIVERSITÉ DE GRENOBLE
Spécialité : MICRO&NANO ELECTRONIQUE
Arrêté ministériel : 7 août 2006
Présentée par
Maxime DEFOSSEUX
Thèse dirigée par Skandar BASROUR
préparée au sein du Laboratoire TIMA
dans l'École Doctorale Electronique, Electrotechnique,
Automatique et Traitement du Signal
Conception et caractérisation
de microgénérateurs
piézoélectriques pour
microsystèmes autonomes
Thèse soutenue publiquement le 4 octobre 2011,
devant le jury composé de :
M. Daniel GUYOMAR
Professeur à l’INSA Lyon, Président
M. Alain GIANI
Professeur à l’université Montpellier 2, Rapporteur
M. Elie LEFEUVRE
Professeur à l’université Paris 11, Rapporteur
M. Skandar BASROUR
Professeur à l’UJF, Grenoble, Directeur de thèse
M. Philippe BASSET
Professeur Associé à ESIEE Paris, Noisy-Le-Grand, Membre
M. Danick BRIAND
Chercheur, EPFL, Suisse, Membre
M. Emmanuel DEFAY
Directeur de recherche, CEA LETI, Grenoble, Membre

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Remerciements
Même si je ne pourrai pas remercier toutes les personnes qui ont pu à un moment ou
un autre m’aider durant ma thèse, je tiens à en remercier certaines en particulier. Pour
commencer, je remercie la personne qui m’a suivi et aidé au jour le jour durant 3 années :
mon directeur de thèse le professeur Skandar Basrour. Je le remercie pour sa disponibilité, la
pertinence de ses remarques et son enthousiasme permanent. J’ai fortement apprécié mes trois
années de thèse sous sa direction.
Ensuite, je tiens à remercier les deux rapporteurs de mon jury, les professeurs Alain
Giani et Elie Lefeuvre pour avoir accepté de relire dans le détail mon manuscrit. Je remercie
les examinateurs Philippe Basset, Danick Briand et Emmanuel Defaÿ pour m’avoir fait le
plaisir de se déplacer de Paris, d’Angleterre ou de Suisse pour ma soutenance, et enfin le
professeur Daniel Guyomar pour avoir accepté de présider le jury. Pour Emmanuel Defaÿ,
merci de plus pour nous avoir fait confiance et permis de réaliser le projet grâce à des plaques
d’AlN de bonne qualité.
Mes plus sincères remerciements vont à Marjolaine Allain : pendant plus d’une année,
elle a été ingénieur de recherche dans l’équipe MNS et a énormément développé le procédé de
fabrication pour les générateurs piézoélectriques. J’ai apprécié travailler avec Marjolaine pour
son implication dans le projet, son sérieux et son expertise en fabrication.
Concernant l’aide technique, mes remerciements vont au personnel technique du
CIME, et en particulier à Loïc, Alexandre, Irène, Delphine et Stéphane pour leur aide sur les
caractérisations, simulations ou la fabrication, le tout dans la bonne humeur. Je remercie aussi
le personnel de la PTA et de l’institut Néel pour la partie fabrication.
Je remercie Dominique Borrione, directrice du laboratoire TIMA, pour m’avoir permis
d’effectuer une thèse dans ce laboratoire dans de très bonnes conditions. En parlant du TIMA,
je remercie tous les membres du laboratoire avec qui j’ai pu avoir des échanges pendant ma
thèse, et en particulier les occupants du deuxième étage (Agnès, Libor, Hela, Louis, Hamid,
Wenbin, les 2 Yoan, Stéphane, Mikael, Josué, Zhijian, Mathieu et j’en oublie...) pour tous les
moments que j’ai passé avec eux !
Dans un registre plus personnel, je tiens à remercier mes parents, qui m’ont toujours
soutenu et aidé dans tous mes projets tout en me laissant faire mes propres choix, même
différents des leurs. Merci aussi à ma sœur Axelle, toujours là quand j’ai besoin d’elle et pour
les bons moments !
Pour finir, même si ils ne sont pas intervenus à proprement parler dans ma thèse, ils
ont été des personnages importants de mes trois années de vie de thèse passées à Grenoble :
merci à tous mes amis de Grenoble, qu’ils viennent du monde du parapente, de l’escalade, du
ski ou des soirées, pour toutes les sorties et les activités que l’on a pu faire ensemble. Merci
également aux pilotes et à l’encadrement de l’équipe de ligue Rhône Alpes de parapente, dont
j’ai été fier de faire partie, avec qui j’ai passé beaucoup de temps en l’air et sur les décollages,
et qui ont très bien compris mon départ de cette équipe pour la fin de ma thèse !
A tout ceux que j’ai cité, et à ceux que j’ai pu oublier, à très bientôt j’espère et bonne lecture !

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