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N° d'ordre : 3064
THESE
présentée à
L'UNIVERSITE BORDEAUX 1
Ecole Doctorale de Science Physique et de l'Ingénieur
par Imad ABBADI
pour obtenir le grade de
DOCTEUR
Spécialité : Laser et Matière dense
____________________
Développement d’une méthode originale d’imagerie en
milieu diffusant et absorbant:
Application à l’imagerie face arrière de circuits intégrés.
____________________
MM. A. Cornet Professeur IISN, Université de Louvain la Neuve Rapporteur
J. Altet Chercheur, Université de Barcelone Rapporteur
Devant la commission formée de :
MM. W. Claeys Professeur, CPMOH-Université Bordeaux 1
F.Salin Directeur de recherche CNRS, Directeur général de Femlight
S. Dilhaire Maître de conférence, CPMOH-Université Bordeaux 1
G. Jonusauskas Chercheur, CPMOH-Université Bordeaux 1
-2005-
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Remerciements
Il est d’usage de commencer la description de tout travail conséquent par des
remerciements. Toutefois, il parait difficile de remercier en seulement quelques lignes et
comme je le voudrais toutes les personnes qui, de près ou de loin, ont contribué à la
réalisation de cette thèse.
Les travaux présentés dans ce mémoire ont été effectués au sein du groupe
“Caractéristation Optiques de composants et systèmes électroniques- COX”, équipe
appartenant au CPMOH (Centre Physique Moléculaires Optiques et Hertezienne) dans le
cadre d’une collaboration avec le Laboratoire du Centre d'Etude Lasers Intenses et
Applications ( CELIA).
Je tiens donc à remercier Messieurs Fabrice Vallée et Jean-Marie Turlet, directeurs
successifs du CPMOH et Monsieur Jean-Claude Gauthier directeur du CELIA, pour la
confiance qu’ils m’ont témoignée en m’accueillant dans leurs laboratoires.
Je remercie vivement Messieurs Alain Cornet et Josep Altet d’avoir accepter d’être les
rapporteurs de ce travail.
Je suis sensible à l’honneur que Messieurs Gediminas Jonusaukas et Willy Claeys m’ont
fait en tant qu’examinateurs et membres du jury.
Contrairement à une idée répandue, un travail de thèse n’est pas un travail solitaire mais
un travail d’équipe. Son aboutissement reflète aussi un haut niveau d’encadrement.
Ainsi, je tiens à exprimer toute ma reconnaissance à Monsieur François Salin et Monsieur
Stephan Dilhaire qui ont assuré la direction scientifique de ce travail.
Merci François pour ta disponibilité, tes conseils avisés tant scientifiques que
personnelles, durant ces trois années.
J’exprime ma gratitude à Monsieur willy Claeys, la voix de la sagesse, directeur du
groupe COX, pour m’avoir accepté dans son groupe et de m’avoir accorder sa confiance.
D’autres personnes ont aussi plus ponctuellement participé à ces travaux.
Je remercie Jean-Michel Rampnoux et Sebastien Jorez pour toutes les discussions que
nous avons eu durant ces trois années.
Je tiens aussi à remercier tout particulièrement Laurent Canioni et Stéphane Santran pour
leurs compétences scientifiques et pour leur bonne humeur.
Une thèse ne serait rien sans une équipe de techniciens compétente.
Je remercie Beaucoup William et Philippe de la cellule électronique du Laboratoire sans
qui les circuits resteraient typons sur papier.
Merci aussi à Eddie et Douar de la cellule canique pour la fabrication des pièces du
banc de mesure.
Je Profite de cet instant pour remercier Richard Perrier qui s’est occupé de toute
l’informatique.
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Je tiens à adresser mes sincères remerciements à tous les membres du Laboratoire
Mécanique Physique “LMP” en la personne de Clément Rossignol et son “jeune” thésard
Mathieu Perton.
Je n’oublie pas de remercier mes collègues et compatriotes Mohamed-Amine et Younes
pour leur amitié durant ces trois années, pour les parties de foot que nous avons partagées et
pour les aventures inoubliables dans les montagnes d’Aussois ainsi que dans l’arène de
Pomploune/Iruña poursuivi par les taureaux sévillans.
Mes sincères remerciements vont également à tous les membres de l’équipe COX,
l’adorable et sympathique Hélène Michel, Stéphane Grauby et Luis-David Patino Lopez.
Merci à la jeune génération et l’avenir du groupe Gilles et Sophie.
Et comme dit la chanson: les derniers sont les premiers dans notre réalité.
Je ne saurai conclure sans remercier les personnes les plus chères:
mes parents, ma sœur et mon frère pour tout ce qu’ils m’ont apporté tant au niveau de mes
études qu’au niveau de la vie de tous les jours.
Most of all, I am indebted to my family, especially my betrothed & future wife Natalja,
for their love and their tolerance of irregular humour, and occasional inattention to family
matters.
Imad
Table de Matières
Table de Matières
INTRODUCTION.................................................................................................................... 9
CHAPITRE 1
PHENOMENES PHYSIQUES ET METHODOLOGIE D'ANALYSE
page 11
A. INTRODUCTION.............................................................................................................. 11
B. PHENOMENES THERMIQUES ........................................................................................... 12
1. Loi d’Ohm ................................................................................................................ 12
2. L’effet joule .............................................................................................................. 12
C. EFFETS THERMOELECTRIQUES....................................................................................... 13
1. Effet SEEBECK (1821)............................................................................................. 13
2. Effet PELTIER (1834) .............................................................................................. 15
3. Effet THOMSON ...................................................................................................... 16
D. CONSEQUENCES DES EFFETS THERMOELECTRIQUES ...................................................... 17
1. Modifications des propriétés optiques ..................................................................... 17
2. Déformation ............................................................................................................. 18
E. HISTORIQUE DES METHODES DANALYSE OPTIQUE UTILISEES ....................................... 18
1. Méthode optique d’analyse ...................................................................................... 18
2. Spectroscopie ........................................................................................................... 19
3. Interférométrie : ....................................................................................................... 21
4. Réflectométrie........................................................................................................... 22
5. Autres techniques d’imagerie................................................................................... 24
F. CONCLUSION................................................................................................................. 27
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