TP SPICE

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Département Micro-électronique et
télécommunications
Deuxième année – 2003/2004
TP Spice
CGD
CGB
RS
B
CBS
S
S’
D’
rDS
RD
CBD
gmBSVBS
D
gmVGS
CGS
G
B
Pascal MASSON
Ecole Polytechnique Universitaire de Marseille
Laboratoire Matériaux et Micro-électronique de Provence (L2MP)
2
Table des matières
La programmation.............................................................................................. 5
Description du transistor MOS ......................................................................... 9
Prise en main du logiciel ................................................................................. 15
Simulation d’un inverseur CMOS ................................................................... 17
3
4
La programmation
I. Les différents niveaux de programmation
Il existe quatre méthodes pour décrire un circuit électronique avec un simulateur :
1) Avec le dessin des différents niveaux de masques destinés à la fabrication des
composants (TMOS, diodes, résistance…)
2) Avec la netlist qui décrit les composants et les connexions entre eux.
3) Avec le dessin du schéma électrique (placement des composants et connexions entre
eux avec des fils).
4) Avec la description d’une fonction. Le logiciel génère seul le schéma électrique avec
comme paramètres d’optimisation la surface de silicium utilisée, le temps de
propagation…
On remarquera que la méthode 1) est très proche du composant puisqu’il décrit sa forme ainsi
que la forme des connexions entre les composants.
Les méthodes 2) et 3) sont très proches avec une plus grande rapidité d’exécution du circuit
pour le point 4).
La méthode 4) ne nécessite pas de notions très poussées en électronique ou en physique mais
de solides compétences en programmation.
Donc en allant de la méthode 1) à la méthode 4) on accélère le temps de réalisation d’un
circuit et en allant de la méthode 4) à la méthode 3) on s’approche de la description des
composants élémentaires. Lors de la conception d’un circuit intégré, les quatre méthodes de
description peuvent être utilisées. Dans le cadre de l’initiation au logiciel SPICE, nous allons
utiliser les méthodes 2) et 3).
II. La programmation par netlist
Dans ce paragraphe, nous décrivons la génération d’un circuit électrique à partir de la netlist.
Il est bon de signaler qu’en fonction de la version du logiciel utilisée (plus ou moins récente) les
instructions décrites ici peuvent être légèrement différentes. Il est donc préférable d’assimiler ici
la philosophie générale de la création d’une netlist.
5
II.1. Structure du programme
On peut distinguer les instructions suivantes dans une feuille de programme :
-
Le titre : la première ligne du programme est obligatoirement prise pour le titre que l’on
peut faire précéder par *
-
Les instructions de description des éléments du circuit : elles doivent être complétées par
i) des instructions • model si la description fait appel à des semi-conducteurs, ii) les sousprogrammes éventuellement appelés (pseudo-éléments)
-
Les commandes : y distinguer les instructions • model, • de simulation, • de sortie
-
L’instruction de fin de programme : • end
II.2. Règles générales d’écriture d’un composant
Chaque instruction est terminée par un retour chariot. Une instruction peut être écrit sur
plusieurs lignes, les lignes supplémentaires débutant par un + dans le premier emplacement.
L’ordre des instructions entre titre et fin de programme est indifférent. Un commentaire
commence par un *. Les séparateurs peuvent être le blanc, la virgule, le signe d’égalité et les
parenthèses. Une commande commence nécessairement par un point.
La description d’un composant doit respecter les règles suivantes :
Le nom que l’on donne à un élément commence par une lettre pré-définie : R résistance, C
condensateur, L bobine, V source de tension, I source de courant, D diode, M MOSFET…
Le nom comporte au maximum 8 caractères alphanumériques ou numériques.
Les nœuds. Ce sont des nombres entiers ≥ 0 qui décrivent l’emplacement du composant
dans le circuit. La masse est nécessairement 0.
Les nombres s’écrivent selon l’échelle usuelle 0.0012, en notation scientifique 1.2E-4, avec
un facteur multiplicatif 120U
Les facteurs d’échelle (multiplicatifs) sont : T = 1012 (tera), G = 109 (giga), MEG = 106
(mega), K = 103 (kilo), M = 10−3 (milli), U = 10−6 (micro), N = 10−9 (nano), P = 10−12 (pico), F
= 10−15 (femto).
Les unités sont implicites et correspondent (en générale) au Système International (SI).
II.3. Les générateurs de signaux
La déclaration d’une source de tension, par exemple, s’écrit :
Vxxxxx
N+
N−
valeur
N+ est le nœud supérieur à 0 et N− le nœud inférieur à 0. Le courant est considéré supérieur
à 0 si il traverse la source du pôle + vers le pôle −.
Si la valeur de la source ne dépend pas du temps (exemple : alimentation), sa valeur peut être
précédée du sigle DC.
6
L’analyse AC (alternative) utilise ACMAG (amplitude) et ACPHASE (phase). Une telle source
peut, pour l’analyse en régime transitoire, être caractérisée par les cinq fonctions suivantes :
Pulse (PULSE), Exponential (EXP), Sinusoidal (SIN), Piece-wise linear (PWL), Single Frequency
F-M (SFFM).
Dans le cadre de cette initiation au logiciel SPICE, nous n’utiliserons que les fonctions
PULSE et SIN :
-
PULSE : la fonction s’écrit PULSE(V1 V2 TD TR TF PW PER) où les différents termes
sont décrits à la figure (II.1).
-
SIN : La fonction s’écrit SIN(VO VA FREQ TD THETA). De 0 à TD la signal vaut VO et
après TD il vaut VO + VA sin[2πFREQ(t − TD)] exp[−(t − TD) THETA].
V
TD
TR
PW
TF
V2
Figure II.1
V1
t
PER
Remarque : pour connaître le courant traversant une branche, on peut y placer une source de
tension de f.e.m. nulle ce qui ne modifie pas le circuit.
II.4. Description du transistor MOS
A technologie donnée, les transistors d’un circuit intégré ont certaines caractéristiques
identiques telles que le dopage du substrat, l’épaisseur d’isolant, la longueur de diffusion sous la
grille… Ces transistors peuvent cependant avoir des dimensions différentes. On distinguera donc
le modèle qui décrit la technologie employée et la description des transistors (nom, taille,
emplacement…)
L’instruction utilisée pour décrire un transistor en particulier dans le circuit est :
Mxxxxx ND NG NS NB Mnom <L=valeur> <W=valeur> <AD=valeur> <AS=valeur>
+<PD=valeur> <PS=valeur> <NRD=valeur> <NRS=valeur> <OFF> <IC=VDS,VGS,VBS>
ND, NG, NS et NB correspondent aux nœuds des quatre entrées du transistor. OFF précise
une condition initiale sur le composant pour l’analyse DC. IC=… précise les conditions initiales
pour une simulation transitoire. Si les termes entre crochets ne sont pas indiqués, le logiciel
leurs donne des valeurs par défaut.
La description d’un modèle de transistor (technologie et niveau de modélisation) se fait de la
façon suivante :
• MODEL Mnom NMOS (ou PMOS) Level=1 (ou plus) <NSUB=valeur>
+ <LAMBDA=valeur> <GAMMA=valeur> <VTO=valeur> <UO=valeur>
7
II.5. Exemple de netlist
Nous présentons ici la netlist qui correspond au circuit de la figure (II.2).
* Mosfet à canal n
vgs 1 0 DC
vds 3 0 DC
vfictif 3 2 0
Mn 2 1 0 0 Mmosn L=0.25U W=0.25U
• model Mmosn NMOS level=1 tox=4n NSUB=7E17 VT0=0.6
• DC vds 0 2.5 0.05 vgs 0 2.5 0.25
• plot DC I(vfictif)
• end
On peut aussi préciser les points suivants :
vfictif permet d’obtenir le courant de drain avec le bon signe,
Dans le terme Mn, n correspond au nom du transistor
Dans le terme Mmosn, mosn est le nom que l’on a donné en référence au model utilisé
pour ce transistor (• model…)
Dans l’analyse DC, la tension vds va varier de 0 à 2.5 V avec un pas de 0.05 V et la
tension vgs va varier de 0 à 2 V avec un pas de 0.25 V
2
ID
3
Vfictif
1
Figure II.2.
VD
VG
0
8
Description du transistor MOS
I. Modélisation du transistors MOS
Les simulateurs de circuits intégrés sont basés sur des descriptions plus ou moins complexes
du comportement électrique des composants. On va ainsi du level1, modélisation très simple, au
MM11 qui est une modélisation très proche du comportement physique des composants avec
accès aux potentiels internes.
On ne s’intéresse, dans ce TP, qu’au modèle de niveau 1 dont nous allons rappeler les
équations relatives au fonctionnement du transistor MOS de type N.
I.1. La modélisation statique
En régime ohmique ou quadratique le courant de drain a pour expression :
V 

I DS = W µ 0C ox  VGS − VT − DS  (1 + λVDS )
L
2 

(I.1)
où λ correspond au coefficient de modulation de la longueur du canal, µ0 est la mobilité des
porteurs, Cox’ est la capacité de l’isolant par unité de surface et VT représente la tension de seuil :
VT = VFB + 2Φ F +
2qN A εSi
C ox '
− VBS + 2Φ F
(I.2)
où NA est le dopage du substrat, VFB est la tension de bandes plates et ΦF le potentiel de volume
du substrat donné par :
N 
Φ F = kT ln A 
q
 ni 
(I.3)
En régime de saturation c’est-à-dire lorsque la tension de drain devient supérieure à
VDSsat = VGS − VT le courant de drain sature (sauf pour λ ≠ 0) et l’équation (I.3) s’écrit dans ce
cas :
I DS = W µ 0C ox [VGS − VT ]2 (1 + λVDS )
2L
(I.4)
En régime bloqué, i.e. pour VGS < VT, on néglige le courant sous le seuil (régime d’inversion
faible) ce qui permet d’approximer le courant de drain à 0.
I.2. Les petits plus
En raison de la diffusion des dopants de la source et du drain sous l’oxyde de grille lors de la
fabrication du transistor, la longueur réelle du transistor n’est pas L (longueur de la grille) mais
plus petite d’un facteur ∆L qui représente la longueur perdue par cette diffusion. Il en résulte
que dans les équations (I.1) et (I.4) le paramètre L doit être remplacé par L − ∆L.
On peut aussi, comme le montre la figure (I.1), prendre en compte le courant des diodes de
drain et de source (polarisées en inverse) ainsi que la présence des résistances d’accès au canal,
9
RS et RD. On pourra noter que la présence de ces deux résistances réduit la tension réellement
appliquée au canal.
D’
RD
IDS
VDS
Figure I.1.
B
RS
S’
I.3. La modélisation en petit signal
En petit signal, le courant de drain est toujours une fonction des tensions appliquées VGS, VDS
et VBS et la variation du courant peut s’écrire :
 ∂I

 ∂I

 ∂I

dI DS =  DS 
dVGS +  DS 
dVDS +  DS 
dVBS
V
V
V
∂
∂
∂
 DS  VGS , VBS
 BS  VDS , VGS
 GS  VDS , VBS
(I.5)
que l’on écrit plus simplement :
i D = g m VGS + y DS VDS + g mBS VBS
(I.6)
D
rDS
gmVGS
gmBSVBS
Figure I.2.
S
Le schéma équivalent du transistor MOS en petit signal est donné à la figure (I.2). Dans ce
régime, les diverses capacités parasites du transistor MOS peuvent avoir une influence non
négligeable et il est donc nécessaire de les prendre en compte. Comme le montre la figure (I.3),
en plus des capacités de désertion des jonctions drain (CBD) et de source (CBS) on compte aussi les
capacités grille-source (CGS), grille-drain (CGD) et grille-substrat (CGB).
10
CGD
CBS
CGB
RS
B
rDS
CGS
S
S’
D’
RD
CBD
gmBSVBS
D
gmVGS
G
Figure I.3.
B
La capacité CGS est en fait la somme de deux capacités, la première correspond à la capacité
de la structure MOS (capacité MOS) et la deuxième à la zone de recouvrement entre la grille et
la source (diffusion des dopants sous l’oxyde de grille) de longueur ∆L et de largeur W (c.f. figure
(I.4)). On note CGS0 la capacité de recouvrement par unité de longueur (largeur de grille) et la
capacité totale, ici en régime de saturation, s’écrit :
ε
C GS = 2 WL ox + WC GS0
3
t ox
(I.7)
avec :
ε
C GSO = ∆L ox
t ox
(I.8)
La capacité CGD est uniquement associée à la diffusion des dopants du drain sous l’isolant de
grille et on note CGD0 la capacité de recouvrement par unité de longueur (largeur de grille). Si la
structure est parfaitement symétrique, les capacités CGS0 et CGD0 sont identiques.
La capacité CGB est due au fait que la grille doit dépasser les zones diffusées de source et de
drain. On notera CGB0 la capacité de recouvrement par unité de longueur (longueur de grille).
C GB = 2LC GB0
(I.9)
CGS0
CGB0
Source
CGD0
Drain
W
L
∆L/2
11
Figure I.4.
II. Les notations et paramètres utilisés par SPICE
Les conventions d’écriture des modèles utilisés par le logiciel SPICE sont différentes de celles
vues en cours (c.f. chapitre I de cette note). Par exemple la tension de seuil hors application
d’une tension de substrat est notée VT0, soit avec l’équation (I.3) :
VT0 = VFB + 2Φ F +
2qN A εSi
C ox '
2Φ F
(II.1)
Par ailleurs le dopage du substrat s’écrit NSUB et dans un souci de simplification on pose :
GAMMA =
2qNSUBε Si
C ox '
(II.2)
et :
PHI = 2Φ F
(II.3)
La tension de seuil qui prend en compte l’effet substrat, VTE, s’écrit alors :
[
VTE = VT 0 + GAMMA PHI − VBS − PHI
]
(II.4)
La longueur de diffusion des dopants de source et de drain sous l’isolant de grille est notée LD
avec ∆L = 2LD. La mobilité µ0 des porteurs devient UO, l’épaisseur d’isolant tox devient TOX et
le paramètre de modulation de la largeur du canal s’écrit LAMBDA = λ. On pose finalement :
W
β = KP
2 L − 2LD
(II.5)
avec :
KP = UO TOX
ε 0 ε ox
(II.6)
Tous les paramètres (et leurs définitions) utilisés par SPICE sont réunis au tableau (II.1).
12
No.
Name
1
2
3
4
5
6
7
8
9
1
11
12
13
LEVEL
VT0
KP
GAMMA
PHI
LAMBDA
RD
RS
CBD
CBS
IS
PB
CGS0
14
CGD0
15
CGB0
16
17
RSH
CJ
18
19
MJ
CJSW
20
21
MJSW
JS
22
23
24
25
26
TOX
NSUB
NSS
NFS
TPG
27
28
29
30
31
XJ
LD
UO
UCRIT
UEXP
32
33
34
UTRA
VMAX
NFFF
35
XQC
36
37
38
KF
AF
FC
39
40
41
42
DELTA
THETA
ETA
KAPPA
Parameter
Units
Model index
−
Zero-bias threshold voltage
V
Transconductance parameter
A/V2
Bulk threshold parameter
V0.5
Surface potential
V
Channel-length modulation (MOS1 and 2 only)
1/V
Drain ohmic resistance
Ohm
Source ohmic resistance
Ohm
Zero-bias B-D junction capacitance
F
Zero-bias B-S junction capacitance
F
Bulk junction saturation current
A
Bulk junction potential
V
Gate-source overlap capacitance per meter channel
F/m
width
Gate-drain overlap capacitance per meter channel
F/m
width
Gate-bulk overlap capacitance per meter channel
F/m
length
Drain and source diffusion sheet resistance
Ohm/sq.
Zero-bias bulk junction bottom capacitance per
F/m2
square meter of junction area
Bulk junction bottom grading coefficient
−
Zero-bias bulk junction sidewall capacitance per
F/m
meter of junction perimeter
Bulk junction sidewall grading coefficient
−
Bulk junction saturation current per square meter of
A/m2
junction area
Oxide thickness
m
Substrate doping
1/cm3
Surface state density
1/cm2
Fast surface state density
1/cm2
Type of gate material: +1 opposite to substrate, −1
−
same as substrate, 0 Al gate
Metallurgique junction depth
m
Lateral diffusion
m
Surface mobility
cm2/V/s
Critical field for mobility degradation (MOS2 only)
V/cm
Critical field exponent in mobility degradation
−
(MOS2 only)
Transverse field coefficient for mobility (MOS2 only)
−
Maximum drift velocity of carriers
m/s
Total channel charge (fixed and mobile) coefficient
−
(MOS2 only)
Coefficient of channel charge share attributed to
−
drain
Fliker noise coefficient
−
Fliker noise exponent
−
Coefficient for forward-bias depletion capacitance
−
formula
Width effect on threshold voltage (MOS2 and 3)
−
Mobility modulation (MOS3 only)
1/V
Static feedback (MOS3 only)
−
Saturation field factor (MOS3 only)
−
Tableau II.1
13
Default
Ex.
0
2E−5
0
0.6
0
0
0
0
0
1E−14
0.8
0
1
3.1E−5
0.37
0.65
0.02
1
1
20FF
20FF
1E−15
0.87
4E−11
0
4E−11
0
2E−10
0
0
10
2E−4
0.5
0
0.5
1E−9
0.33
−
1E−8
1E−7
0
0
0
1
1E−7
4E15
1E10
1E10
0
0
600
1E4
0
1U
0.8U
700
1E4
0.1
0
0
1
0.3
5E4
5
0
0.4
0
1
0.5
1E−26
1.2
0
0
0
0.2
1
0.1
1
0.5
14
Prise en main du logiciel
Exercice I : Simulation du courant à travers une résistance
I.1. Ouvrir une nouvelle feuille de programme avec le logiciel AIM-Spice et réaliser le circuit de
la figure (I.1) à l’aide de la netlist en respectant la numérotation des nœuds.
I.2. Simuler la courbe IR(t) pour une rampe de tension (Ve ∈ [0, 5V]). Introduire une source de
tension nulle dans le circuit pour rendre le courant IR positif.
I.3. Simuler la courbe IR(t) pour une tension de type sinusoïdale et de type trapézoïdale.
IR
1
Figure I.1. R = 1 KΩ.
R
Ve
0
Exercice II : Simulation d’un circuit RC
II.1. Ouvrir une nouvelle feuille de programme avec le logiciel AIM-Spice et réaliser le circuit de
la figure (II.1) à l’aide de la netlist en respectant la numérotation des nœuds.
II.2. Visualiser le courant de charge et de décharge du condensateur ainsi que la tension à ses
bornes, VC, pour un signal carré (à différentes fréquences).
II.3. Visualiser et comparer les tensions VC à la tension Ve (amplitude déphasage) pour un signal
sinusoïdal et plusieurs fréquences. Tracer alors la courbe de transfert, VC(f).
IR
1
2
R
Ve
Figure II.1. R = 1 KΩ, C = 1 µF.
C
0
15
16
Simulation d’un inverseur CMOS
Exercice I : Caractéristiques d’un transistor de type N et P
I.1. Ouvrir une nouvelle feuille de programme du simulateur AIM-Spice et réaliser le circuit de
la figure (I.1) à l’aide de la netlist en respectant la numérotation des nœuds.
I.2. Simuler les courbes ID(VG) et ID(VG) pour VG et VD ∈ [0, 2.5V].
I.3. Faire le même programme et les mêmes simulations avec le logiciel PSpice.
2
3
Vfictif
ID
Figure I.1. W = 0.25 µm, L = 0.25 µm,
tox = 4 nm, µ0 = 300 cm2V−1s−1,
Nsub = 7×1017 cm−3, VT = 0.6 V,
lambda = 0.1 V−1.
1
VD
VG
0
Exercice II : Simulation d’un inverseur NMOS avec résistance
II.1. Ouvrir une nouvelle feuille de programme avec le logiciel PSpice et réaliser le circuit de la
figure (II.1).
II.2. Visualiser la fonction de transfert Vs(Ve) pour différentes résistances R. Commenter vos
résultats notamment sur l’allure de la courbe et les inconvénients de ce type d’inverseur. Donner
une méthode permettant de déterminer cette courbe (sans le simulateur).
VDD = 2.5 V
R
ID
Ve
VS
Figure II.1. W = 0.25 µm, L = 0.25 µm,
tox = 4 nm, µ0 = 300 cm2V−1s−1, Nsub = 7×1017 cm−3,
VT = 0.6 V, lambda = 0.1 V−1, R = 1 KΩ.
VG
17
Exercice III : Simulation d’un inverseur NMOS avec deux transistors
III.1. A la figure (III.1) on donne la photographie d’un inverseur NMOS avec deux transistors
que les étudiants de troisième année (option micro-électronique) réalisent au CIME de Grenoble
durant le stage technologique. Donner le schéma électrique équivalent de cet inverseur et
expliquer la forme particulière du transistor du bas.
Figure III.1. Photographie d’un inverseur
NMOS à deux transistors. tox = 47 nm,
µ0 = 590 cm2V−1s−1, Nsub = 6×1016 cm−3,
VT = 1 V, lambda = 0.1 V−1.
III.2. Le transistor du haut a pour géométrie W = L = 20 µm. Estimer la géométrie du transistor
du bas. Donner alors la fonction de transfert de cet inverseur. Comparer votre résultat avec celui
obtenu par mesure.
Figure III.2. Mesure de la
fonction
de
transfert
de
l’inverseur NMOS.
Exercice IV : Simulation d’un inverseur CMOS
IV.1. Ouvrir une nouvelle feuille de programme et réaliser le circuit de la figure (IV.1).
IV.2. Visualiser la fonction de transfert Vs(Ve) et commenter son allure par rapport à celle
obtenue à l’exercice précédant. Déterminer par le calcul la géométrie du transistor de type P
permettant d’équilibrer l’inverseur. Vérifier votre résultat avec le simulateur.
18
VDD = 2.5 V
PMOS
Ve
VS
VG
Figure IV.1. W = 0.25 µm, L = 0.25 µm,
tox = 4 nm, µ0N = 300 cm2V−1s−1, µ0P = 80 cm2V−1s−1,
Nsub = 7×1017 cm−3 VT = 0.6 V, lambda = 0.1 V−1.
NMOS
Exercice V : L’inverseur CMOS en régime transitoire
V.1. Ouvrir une nouvelle feuille de programme et réaliser le circuit de la figure V.1.
V.2. Avec une tension Ve de type trapézoïdale mettre en évidence le temps de chargement de la
capacité (ou temps de retard). Le temps de montée (ou de descente) du signal d’entrée peut être
au minimum de 0.1 ns.
VDD = 2.5 V
PMOS
Ve
VS
VG
C
NMOS
19
Figure V.1. W = 0.25 µm, L = 0.25 µm,
tox = 4 nm, µ0N = 300 cm2V−1s−1,
µ0P = 300 cm2V−1s−1, Nsub = 7×1017 cm−3,
VT = 0.6 V, lambda = 0.1 V−1, C = 15 pF.
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