Mesures couplées de diffraction, fluorescence et absorption des

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Mesures couplées de
diffraction, fluorescence et absorption des rayons X
à l'échelle milli- et micrométrique
Stéphan Rouzière, Denis Petermann, Philippe Joly, Eric Jourdanneau
Brahim Kasmi, Gilles Guillier, Pierre-Antoine Albouy, Pascale Launois
Journées Techno '12 - 8 juin
Réalisations instrumentales
2009
●
Dimension micrométrique du faisceau RX
-microfaisceau-
●
Couplage des techniques : µ-diffraction + µ-fluorescence -mesures simultanées-
●
Mesures par cartographie -échelle micrométrique-
S. Rouzière, E. Jourdanneau, B. Kasmi, P. Joly, D. Petermann, P-A. Albouy, J. of Applied Crystallography 43 (2010),
pp.1131-1133. « A laboratory X-ray microbeam for combined X-ray diffraction and fluorescence measurements ».
2010
●
●
●
Dimension millimétrique du faisceau RX
-macrofaisceau-
Couplage des techniques : diffraction + absorption + fluorescence X
-mesures simultanéesMesures par cartographie
-échelle millimétrique-
Brevet déposé : "Dispositif de mesure d’un degré de désalignement et procédé d’utilisation dudit dispositif"
Auteurs : P. Launois, D. Petermann, M. Huard, J. Cambedouzou, G. Guillier, Ph. Joly
déposé par le CNRS en décembre 2010 ; demande d'extension internationale : 12/2011
Journées Techno '12 - 8 juin
Principe des mesures
Diffraction
Mesure mono-énergie avec dispersion angulaire
Organisation structurale
(identification de phases, cristallinité, orientation préférentielle ...)
Fluorescence X
Mesures simultanées pour
des informations complémentaires
Mesure dispersive en énergie
Composition élémentaire
Absorption des rayons X
Mesure de transmission (I /I0 ~ e-μρx)
Densité du matériau
Journées Techno '12 - 8 juin
Microfaisceau RX au laboratoire
Pourquoi ?
→ Échelle de mesure
~1mm
Mesures macroscopiques
RX « standard »
100µm
10µm
1µm
Mesures locales :
Synchrotron,
Microscopies,...
Comment ?
Brillance de la source + optique focalisante + pinholes (Ø10, 30, 50, 100µm)
source Ø100µm
générateur X à anode tournante
foyer image
optique miroir «multicouches»
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Dispositif « microfaisceau »
Obturateur rapide
Détecteur SDD / fluorescence
Optique RX
Echantillon
RX
Caméra DI-CCD
Platine de
rotation 2θ
Caméra webcam
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Pinhole
Platines de translation Y,Z
µ-diffraction / µ-fluorescence – pilotage
Onglets de fonctionnalités
Diffraction
Bloc de commandes
Bloc de paramètres
Visualisation
Positionnement
Etat du matériel
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Sauvegarde
µ-diffraction / µ-fluorescence – pilotage
Fluorescence
Bloc de commandes
Bloc de paramètres
Calibration en
énergie
Positionnement
Etat du matériel
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µ-diffraction / µ-fluorescence – pilotage
Visualisation de l'échantillon
Bloc de commandes
Positionnement
Etat du matériel
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µ-diffraction / µ-fluorescence – pilotage
Pilotage en ligne de commande
=> Modularité de la configuration de l'acquisition :
- choix du couplage des mesures et de la sauvegarde
- définition de trajectoires de déplacement pour
cartographie
- écriture de scripts par l'utilisateur
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Ex. 1 : élastomère chargé d'argile
Exploration
sur l’épaisseur de l’échantillon
pas = 20µm
Faisceau X
Ø 15µm
Élastomère sous traction
Corrélation d'orientation à l'échelle locale
entre l'argile exfoliée et les cristallites de l'élastomère
1mn/image
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Ex.2 : tapis de nanotubes de carbone alignés
brut
recuit
composite
µ-diffraction
µ-fluorescence
distribution du fer
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pas de mesure
= 20µm
degré d'alignement le long du tapis
Caractérisation automatisée de membranes
de nanotubes de carbone de grande taille
ANR NanoInnov « Nawa4 »
Procédé d'élaboration
Tapis de nanotubes obtenus par dépôt chimique catalytique en phase vapeur
(Catalytic Chemical Vapor Deposition) + recuit pour élimination du fer
(sur substrat silicium de diamètre 300 mm).
Imprégnation polymère
Amincissement et ouverture (Chemical Mechanical Polishing)
Cartographie de l’orientation des nanotubes
Cartographie du fer → nanotubes vides
Cartographie de l’absorption → homogénéité de l’imprégnation
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Schéma du dispositif « macrofaisceau »
Platines de translation
Cadre supportant
la membrane étudiée
Caméra CCD
Obturateur rapide
SDD
Photodiode
intégrée au puits
Platine de rotation ω
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Dispositif « macrofaisceau »
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Dispositif « macrofaisceau » : pilotage
Onglets de fonctionnalités
Positionnement
Configuration
cartographies
Mesure de
transmission
Mesures pas à pas automatiques
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Dispositif « macrofaisceau »: pilotage
Mesures pas à pas automatiques + analyse automatique
=> cartographie d’orientation
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Cartographie d'orientation des nanotubes de carbone dans une membrane
Membrane de 100 µm d’épaisseur et de 15 mm de côté
10°
HWHM
10s / point de mesure
5°
Précision de la mesure < 1°
Homogénéité de l’orientation des nanotubes sur des grandes surfaces
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Cartographie d'absorption dans une membrane
Membrane de 100 µm d’épaisseur et de 15 mm de côté
Transmission
Permet de déceler les variations de densité des nanotubes,
du composite ou les variations d’épaisseur de membrane
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Cartographie de fluorescence dans une membrane
Membrane de 100 µm d’épaisseur et de 15 mm de côté
Densité de fer
Permet de déceler des quantités résiduelles de fer (après recuit)
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Résumé
● Couplage de techniques : diffraction / fluorescence / absorption
→ informations complémentaires
● Mesures locales / microfaisceau
● Cartographies des mesures
Diffraction
Fluorescence Absorption
● 3ème dispositif : fluorescence X → détection des éléments lourds
cartographie de fluorescence
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