spintronique IMager le champ magnÉtique dE plots multicouches Contact : Éric Gautier - SPINTEC - [email protected] Au laboratoire Spintec, en collaboration avec le laboratoire des Microscopies Avancées du SP2M, nous avons mis au point une technique de préparation d’échantillon pour une observation par holographie électronique. Grâce à cela, nous pouvons cartographier le champ magnétique au sein d’un échantillon constitué de plots magnétiques bi-couches développés pour le stockage magnétique multiniveaux. L’échantillon est un substrat prégravé, c’està-dire une matrice de plots préparés sur un substrat silicium par les techniques classiques de la microélectronique, et sur lesquels sont déposés des matériaux magnétiques pour le stockage de l’information. Dans notre approche, chaque plot contient deux informations : la valeur moyenne du champ magnétique au dessus du plot et le gradient de champ entre les deux bords du plot. C’est ainsi qu’on obtient 4 configurations magnétiques distinctes (2 bits.) Holographie électronique L’holographie électronique est une méthode d’imagerie, dans un microscope électronique en transmission, qui utilise la différence de phase entre deux parties du faisceau d’électrons. L’une traverse l’échantillon pour former l’onde image, tandis que l’autre partie forme l’onde de référence. La figure d’interférences entre ces deux ondes donne l’hologramme, c’est à dire le déphasage spatial induit par le champ magnétique du à l’échantillon. Il est alors possible de calculer par intégration la répartition spatiale de ce champ magnétique. Le but ici est de mesurer par holographie électronique (encart) la répartition spatiale du champ magnétique autour de ces plots, tel que le capte une tête de lecture. Pour cela, l’échantillon doit être très mince, de l’ordre de 100 nm typiquement. Les plots ayant des dimensions de 180 × 80 nm espacés de 80 nm, il est donc nécessaire de réduire l’échantillon à une “lamelle” constituée d’une simple rangée de plots. Ces lamelles sont obtenues par FIB (encart). L’échantillon est tout d’abord aminci par la face arrière jusqu’à atteindre une épaisseur de 5 µm environ. À cette épaisseur et avec une tension de 30 kV, il est alors possible d’observer le réseau de plots par transparence électronique. Le substrat peut alors être usiné par le faisceau de gallium par la face arrière. Ceci évite d’avoir à utiliser des couches de protection qui pourraient affecter l’observation du champ magnétique aux abords des plots. Une fois l’échantillon réduit à une simple rangée, celui-ci est collé sur un porte échantillon et observé par holographie électronique appliquée perpendiculairement au plan de la lamelle (Figs. 1 et 2.) FIB (Focused Ion Beam) Le FIB est un instrument qui ressemble à un microscope électronique à balayage, mais qui utilise un faiseau d’ions focalisés (généralement du gallium) au lieu d’un faisceau d’électrons. Les ions pulvérisent les atomes de la cible; le FIB est donc un outil de microfabrication et non d’observation. Il est notamment utilisé pour la préparation d’échantillons pour la microscopie électronique par transmission qui nécessite des échantillons très minces. Dans l’appareillage acquis en commun par la PTA, la PFNC et le CMTC, une colonne électronique permet également l’imagerie in situ. calculer la répartition spatiale du champ magnétique au sein de l’échantillon. Les mesures obtenues sont en parfaite adéquation avec les prédictions théoriques (Fig. 3.) L’hologramme obtenu permet ensuite de Fig. 1 : Étapes de fabrication de l’échantillon et observation par holographie. Fig. 2 : Préparation de l’échantillon : lamelles de (a) une ligne de plots, (b) six lignes et (c) dix lignes. (d) Lamelle collée sur porte-échantillon. Fig. 3 : Images d’interférence (a) mesurées et (b) obtenues par simulation, de plots dont la configuration magnétique est présentée en (c), qui montre également la répartition du champ magnétique autour des plots. LA FEUILLE ROUGE - N° 572 Avril 2010 Comité de rédaction : E. Molva, J. Planès (DIR), P. Dalmas de Réotier (SPSMS), L. Dubois (SCIB), N. Luchier (SBT), S. Lyonnard (SPRAM), G. Prenat (SPINTEC), P. Warin (SP2M) - Mise en page : M. Benini (DIR) tél. 04 38 78 36 33 Institut Nanosciences et Cryogénie Commissariat à l’Énergie Atomique - Direction des Sciences de la Matière - Centre de Grenoble - inac.cea.fr/feuille_rouge