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D´ EVELOPPEMENT, INT´ EGRATION ET
MOD´ ELISATION DE COMPOSANTS PASSIFS
INT´
EGR´ ES EN COUCHES MINCES DANS UNE
FILI` ERE CMOS
Siamak Salimy
To cite this version:
Siamak Salimy. D´ EVELOPPEMENT, INT´ EGRATION ET MOD´ ELISATION DE COM-
POSANTS PASSIFS INT´ EGR´ ES EN COUCHES MINCES DANS UNE FILI` ERE CMOS .
´
Electronique. UNIVERSITE DE NANTES, 2010. Fran¸cais. <NNT : ED503-084>.<tel-
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Public Domain

UNIVERSITE DE NANTES
ÉCOLE DOCTORALE
« SCIENCES ET TECHNOLOGIES DE L’INFORMATION
ET DE MATHEMATIQUES »
Année 2010
Thèse de Doctorat
Spécialité Electronique
présentée et soutenue publiquement par
SIAMAK SALIMY
le 9 mars 2010
à l’Ecole polytechnique de l’université de Nantes
DÉVELOPPEMENT, INTÉGRATION ET MODÉLISATION
DE COMPOSANTS PASSIFS INTÉGRÉS EN COUCHES MINCES
DANS UNE FILIÈRE CMOS
Jury
Président Robert PLANA, Professeur des universités, LAAS, Toulouse
Rapporteur Eric KERHERVE, Professeur des universités, IMS, Université de Bordeaux
Rapporteur Christophe VALLEE, Maître de Conférences/HDR, LTM, Polytech’Grenoble
Examinateurs Jean-Michel FOURNIER, Professeur des universités, IMEP-LAH Grenoble
Ahmed RHALLABI, Professeur, IMN, Université de Nantes
Antoine GOULLET, Professeur des universités, IMN, Polytech’Nantes
Serge TOUTAIN, Professeur des universités, IREENA, Polytech’Nantes
Patrice GAMAND, Directeur de Recherche/HDR, NXP, Caen
Invité Jean-Claude SAUBAT, Ingénieur MHS, Nantes
Directeur de thèse/Encadrement :
Serge TOUTAIN, Professeur, Polytech’Nantes/IREENA
Ahmed RHALLABI, Professeur, Université de Nantes/IMN
Antoine GOULLET, Professeur, Polytech’Nantes/IMN
Institut de Recherche en Electrotechnique et Electronique de Nantes Atlantique (IREENA EA 1770)
Ecole polytechnique de l’université de Nantes, La Chantrerie, Rue C. Pauc, BP 50609, 44306 NANTES CEDEX 3
Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN UMR 6502)
2 rue de la Houssinière, BP 32229, 44322 NANTES CEDEX 3
N° ED 503-084

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Remerciements
En premier lieu, j’exprime ma sincère reconnaissance à mon co-directeur de thèse,
Monsieur Serge TOUTAIN, Professeur des universités à l’école polytechnique de l’université
de Nantes. Je le remercie de m’avoir suivi et toujours soutenu depuis mon master jusqu’à
aujourd’hui et de m’avoir transmis, sans jamais perdre patience, une partie de ses grandes
connaissances.
Je remercie également mon co-directeur de thèse M. Antoine GOULLET, Professeur des
universités à l’école polytechnique de l’université de Nantes, avec qui ce fut un réel plaisir de
travailler durant cette thèse. Son enthousiasme, sa bonne humeur mais aussi ses remarques
pertinentes m’ont poussé à faire en sorte que mon travail soit à la hauteur.
Je tiens également à remercier mon co-directeur de thèse M. Ahmed RHALLABI,
Professeur à l’université de Nantes, pour ses précieux conseils et pour m’avoir fait bénéficier
de ses nombreuses idées pour développer une démarche scientifique originale.
Un grand merci à mon encadrant au sein de l’entreprise, M. Jean-Claude SAUBAT, Expert
technique chez MHS Electronics, pour son soutien durant ces trois années de thèse. Dans un
contexte parfois difficile, ses qualités humaines, son aide, ses conseils, et ses compétences
techniques m’ont énormément apporté.
J’adresse de vifs remerciements à M. Eric KHERERVE, Professeur à l’université de
Bordeaux, et, M. Christophe VALLEE, Maître de conférences/HDR à Polytech’ Grenoble
pour avoir accepté d’examiner ce travail de thèse en tant que rapporteur.
Mes remerciements vont aussi aux autres membres du jury qui ont accepté d’examiner ce
travail. M. Robert PLANA, Professeur à l’université de Toulouse et directeur scientifique au
ministère de l’enseignement supérieur et de la recherche pour avoir accepté de présider le jury
de thèse.
Je remercie également M. Patrice GAMAND, directeur de recherche/HDR à NXP Caen et
M. Jean-Michel FOURNIER, Professeur à l’université Joseph Fourrier d’avoir examiné mon
travail.
Merci à ma collègue et amie Fatiha CHALLALI qui a effectué une thèse complémentaire à
mon travail durant ces trois années. Je la remercie pour son aide et ses efforts constants pour
faire avancer rapidement le développement des couches minces afin que je puisse les
exploiter. Malgré toutes les difficultés rencontrées, ce travail n’aurait pu aboutir sans sa
précieuse contribution, sa rigueur scientifique, et son esprit d’équipe.
Je remercie vivement M. Dominique AVERTY, Maître de Conférences à l’université de
Nantes, son aide et sa disponibilité dans la réalisation de dispositifs de tests qui ont permis à
ce travail de voir le jour.
Je tiens également à remercier très sincèrement Mme Marie-Paule BESLAND, chercheur
CNRS/HDR à l’IMN pour son soutien durant toutes les phases du projet, et pour sa
contribution dans les développements effectués.
Merci aussi à M. Jean-Pierre LANDESMAN, Professeur à l’école polytechnique de
Nantes, qui a été un véritable moteur dans la mise en place du projet et dans son avancement.