La puce, d’aujourd’hui à demain Mercredi 23 Novembre 2005 Jean-Francois Genat, CNRS/IN2P3 [email protected] Eléments Super-lourds http://www-cms.llnl.gov/e113_115/ Transactinides Eléments et semi-conducteurs II III IV Bore B 5 Carbone C V 6 Azote N Aluminium 13 Al Silicium Si 30 Gallium Ga 31 Germanium 32 Ge Cadmium 48 Cd Indium In 49 Etain Sn Zinc Zn Mercure 80 Tantale Hg Tl 81 Plomb Pb 14 VI 7 Phosphore 15 P Arsenic As Bismuth Bi Soufre S 8 16 33 Sélénium 34 Se 50 Antimoine 51 Sb 82 Oxygène O 83 Tellure Te 52 Polonium Po 84 Source: Gad Koren, Technion Image AFM AFM microscope in of the surface of an high temperature superconductor. The microscope image area is 3mm2 The highest atoms are in white and the lowest dark. The steps are 11.8 angstrom. Semi-conducteurs IV 4 électrons mis en commun par des liaisons de valence Ex: Germanium, Silicium Diagrammes d’énergie Energie Bande de conduction Niveau de Fermi Bande interdite (gap) Bande de valence Bande pleine ou vide: Bande partiellement remplie: Pas de conduction, isolant Conducteur Bandes interdites Matériau InAs Type Gap eV III V 0.36 Ge IV 0.67 Si IV 1.12 InP III V 1.34 GaAs III V 1.42 CdTe II VI 1.56 GaP III V 2.26 SiC IV IV 3.0 IV 5.5 C (Diamant) Distribution de Fermi-Dirac Probabilité d’occupation du niveau d’énergie E 1 T T=0K 0 ef F(e) = Energie 1 1 + exp[(e - ef ) / kT] Niveau de Fermi ef caractéristique du solide Distribution de Maxwell-Boltzmann La distribution de Fermi-Dirac: 1 FFD(e) = 1 + exp[(e - ef) / kT] Pour e - ef >> kT, elle est approchée par la distribution de Maxwell-Boltzmann FMB(e) = exp[- (e - ef) / kT] Semi-conducteur intrinsèque Energie Bande de conduction Eg Niveau de Fermi Bande de valence Faible quantité de porteurs “minoritaires” ni générés par l’agitation thermique: Eth ~ kT (kT/e = 25 mV @ T=300oK) ni2= B T3 exp(-Eg/kT) Semi-conducteurs dopés n Si Si Si Si Si electron As electron Si Si As Semi-conducteurs dopés p Si Si Si Si Si trou Ga trou Si Si Ga Densité intrinsèque Température °K 1000 500 300 200 1019 1017 A 300° K, 1015 Ge ni cm-3 1013 Si 1011 GaAs 109 107 Silicium Germanium GaAs ni = 1010 ni = 2.5 1013 ni = 2.1 106 Niveaux accepteurs et donneurs Energie Bande de conduction Niveau donneur type n Niveau de Fermi type n type p Niveau accepteur type p Bande de valence Introduction d’atomes “donneurs” ou “accepteurs” d’électrons Porteurs de dopage plus nombreux que dans le matériau intrinsèque Les niveaux donneurs et accepteurs dans la bande interdite dépeuplent les bandes de valence et conduction: conductivité Loi d’action de masse Rappels: La vitesse des porteurs est proportionnelle au champ électrique v = mE Loi d’Ohm locale: j=sE La conductivité est proportionnelle au dopage: s = 1/ r = k nd avec k = q m (Modèle de Drude) Dans un semi-conducteur dopé: ne,p = ni + nd,a Loi d’action de masse: Si nd,a>> ni, ne np = ni2 ne,p ~ nd,a et np,e = ni2 / nd,a Conduction électrique Energie Niveau de Fermi Bandes pleines ou vides: Bandes partiellement remplies: Isolant Conducteur Semi-conducteur: T=0oK Bande de valence pleine Bande de conduction vide T=300oK Bandes partiellement remplies Modèle de Drude Hypothèses de Drude (~1910): Sous l’effet d’un champ électrique, les électrons parcourent un trajet l, libre parcours moyen, à une vitesse moyenne vm, pendant une durée moyenne t entre deux collisions. l= vm t vm ~ 10-2 cm/s vm La vitesse moyenne vm est petite devant la vitesse instantanée (vitesse thermique) vth ½ me vth2 = 3/2 kT vth~108 cm/s La force électrostatique est: F = qE D’autre part, la relation fondamentale de la dynamique dans le cristal donne: F = me* a où me* définit la masse effective des électrons en tenant compte de leur interaction électrostatique avec le réseau cristallin. D’où a = qE/me* Modèle de Drude Entre deux collisions, l’électron aura acquis une vitesse maximum: vmax = a t = qE/me* . l/vm par définition j = neq vm, soit vm = j / neq, d’où: vmax = q2l E ne/ me*j Et comme j = s E, s = ne q2l / me*v On en déduit la mobilité: mn = vm/E = j/ neq E = s/neq Résistivité: r = 1/s = me*v / ne q2 l = 1 / neq m Mobilité: mn = vm/E = q l / me*v = s / qne = q t/m* Avec deux types de porteurs: stotal = ne q mn + np q mp Ce modèle classique prédit une conductivite trop faible, qui varie en 1/T2 au lieu de 1/T. Résistivité r Résistivité cm n,p = 1/s n,p = 1 / (q ne,p m e,p ) 104 103 Silicium 300 °K 102 10 Type p (Bore) 1 10-1 Type n (Phosphore) 10-2 10-3 Dopage n cm-3 10-4 1012 1013 1014 1015 1016 1017 1018 1019 1020 Mobilité Mobilité cm2/Vs 104 mn GaAs mn Si 103 mp Si mp GaAs 102 1014 1015 1016 1017 1018 1019 Dopage n cm-3 Modèle de Drude: mn,p = vme,p/E = q l n,p / me,p*v n,p = s n,p / qne,p = qte,p /me,p* Relations d’Einstein Dans le semi-conducteur, les contributions à la densité de courant j sont: Dérive due au champ électrique: je = s E = q m ne E Diffusion: jd = - D grad ne A l’équilibre, le courant total est nul: Soit: je + jd = 0 q m ne E - D grad ne = 0 Or, la densité ne est proportionnelle à exp(-qV/kT), dans l’approximation de Maxwell-Boltzmann où qV >> kT soit: grad ne = - ne q/kT grad V d’où, comme m = D /kT soit De = kT me, Dp = kT mp E = - grad V relations d’Einstein La jonction PN Dopages adjacents P et N d’un même cristal semi-conducteur: Energie P P Niveaux de Fermi type p N Les niveaux de Fermi s’égalisent à l’équilibre thermodynamique: Echange d’électrons et de trous (diffusion) On rappelle: j = - D grad n Relations d’Einstein: D = m kT t : Temps de vie des porteurs l: Longueur de diffusion: ne,p = n0 e,p exp (-t/t) l = Dt N type n A l’équilibre Pas de tension appliquée Bande de conduction P DE = qV0 Niveau donneur d’électrons Niveau accepteur d’électrons Niveau de Fermi - E +N Bande de valence • Electrons diffusent vers P et trous vers N, et se recombinent • Le champ électrique des ions limite la diffusion et crée un courant en sens opposé • A l’équilibre, présence d’une zone sans porteurs “deplétée”, et d’une tension V0. • Différence d’énergie potentielle des porteurs de part d’autre de la jonction DE = qV0 = kT Log (na nd /ni2) A l’équilibre Bande de conduction P Niveau donneur d’électrons Niveau accepteur d’électrons Niveau de Fermi N Bande de valence - - DE = a Log na nd = qV0 - - + + + P - + Zone déplétée N + En inverse DE = e(V0+V) P Niveau de Fermi N electrons trous - E + La tension élève la barrière de potentiel Seuls les porteurs minoritaires (d’origine thermique) traversent la barrière Faible courant inverse dans le circuit extérieur En inverse DE = e(V0+V) P Niveau de Fermi N electrons trous - - - + + + - + Zone déplétée élargie N + En direct On referme la diode sur un circuit extérieur Niveau de Fermi DE = e(V0-V) P N electrons trous - E + La tension abaisse la barrière de potentiel Le courant inverse lié à l’action du champ électrique sur les minoritaires existe toujours, créant un courant dans le circuit extérieur, car la tension est fixée aux bornes de la diode Les électrons et trous en provenance des dopages (majoritaires) traversent la barrière par diffusion et se recombinent, créant un courant beaucoup plus important En direct On referme la diode sur un circuit extérieur DE = e(V0-V) P Niveau de Fermi N electrons trous - - E - + - + + + P - + N Zone déplétée réduite + Courants dans la jonction PN Courant direct: diffusion et recombinaison des majoritaires I = Is {exp(qV/kT) - 1} Courant inverse: courant de génération des minoritaires fortement dépendant de la température (par ni): Is = Aj q Dp/tp ni2/n d + q n i W/te • Avalanche: En inverse et à partir d’un certain champ électrique, chaque électron accéléré ionise plusieurs atomes en cascade donnant lieu à une multiplication : effet d’avalanche • Effet Zener: En inverse également et pour de forts dopages N et P, (zone déplétée très mince) les électrons franchissent la barrière de potentiel par effet tunnel à partir d’une tension caractéristique Vz. Courant direct Courant direct dans une jonction PN I = Is {exp(qV/kT) - 1} V>0 Courant inverse Courant inverse dans une jonction PN : Description identique pour V<0 avec: Is = Aj q I = Is {exp(qV/kT) - 1} Dp/tp ni2/n d + q n i W/te Utilisation des jonctions PN Discret Détection Redresseurs Stabilisation Radio-fréquences Alternatif-continu Effet Zener Intégré Transistors bipolaires Transistors MOS Jonctions juxtaposées Isolement Opto- électronique LED Diodes Laser Détecteurs de rayonnement Effet photo-électrique X, g, particules