ESYCOM_GPM_ClubSFO_24mars2006_diffus - FR

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ESIEE / CNAM / UMLV
EA2552
• Groupe photonique et Microonde (C.Rumelhard/C.Algani)
• ESYCOM-CNAM (AL.Billabert…)
• ESYCOM-ESIEE (JL.Polleux…)
JL. Polleux – [email protected]
ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
1
ESYCOM
• CNAM (Paris IIIème)
• ESIEE
• UMLV
ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
2
ESYCOM – EA 2552
- créé en 2000 -
• Trois équipes (CNAM / ESIEE / UMLV)
• Quatre thèmes
• 1 Salle blanche MEMS 300m2
• 3 plate-formes de caractérisation
• 34 chercheurs/enseignants
• 8 ingénieurs
• 23 doctorants
ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
3
Thèmes
ESYCOM : 4 thèmes
Thème 1 : Électromagnétisme et applications
Thème 2 : Radiocommunications numériques
Thème 3 : Microsystèmes et micro-technologies
Thème 4 : Photonique et microondes
ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
4
Plate-formes
ESYCOM : 3 plate-formes de caractérisation
Plate-forme Antennes, propagation et CEM
Plate-forme radio-communications numériques
Plate-forme optique-microondes
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5
Des moyens de caractérisation microonde et
optique-microonde
…Des moyens de caractérisations spécifiques
• Banc de mesure fréquentielle millimétrique @940nm
à battement de lasers
• Caractérisation spectrale de MEMS optique – CARMIO-IdF
• Mesure VNA optique-microonde 40GHz @850nm
InP @ 0.94 µm ESYCOM
Physical simulation SiGe @ 0.85 µm
20
20
15
15
InP @ 1.55 µm LEST Brest
10
GOM or rHPT in dB
10
5
5
0
0
C.Rumelhard,
JL.Polleux,
MWP2003
-5
-5
-10
- 10
SiGe @ 0.94 µm ESYCOM
-15
- 15
-20
- 20
8
10
0.1
ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
9
10
1
10
10
10
F in GHz
6
Groupe Photonique et Microonde
GPM : 3 axes
• Composants, microsystèmes photoniques
et microondes
• Conception de circuits monolithiques microondes
et optique-microondes
• Simulations systèmes et liaisons optique-microondes
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7
• Composants, microsystèmes photoniques
et microondes
• Conception de circuits monolithiques microondes
et optique-microondes
 Thème du PTH SiGe :

Simulation physique, 2001

Réalisation, première mondiale, 2003
• Simulations systèmes et liaisons optique-microondes
Aujourd'hui: Amélioration des performances par effet UTC et introduction
de cavités optiques résonnantes, (2006-…)


Thème des Cavités résonantes latérales

Filtrage optique accordable, multiplexage
Conception d’un déphaseur accordable (160°) par l’utilisation d’une double
cavité à réseaux de Bragg (réalisation en cours)


Photodétecteurs rapides (hybride/monolithique)
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8
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9
Description of Si/SiGe HPTs
Designed by ESYCOM and Ulm University , realized by Atmel Heilbronn
Window in
the emitter
Optical beam
Emitter
Base
Emitter
n-Si
p-SiGe
Ge % n-Si
Collector
10µm
Si Sub-Collector
J.L. Polleux, F. Moutier, A.L. Billabert, C. Rumelhard, E. Sönmez, H. Schumacher, “A Strained SiGe
layer Heterojunction Bipolar Phototransistor for Short-Range Opto-Microwave Applications”, IEEE
International Topical Meeting on Microwave Photonics, MWP2003, Budapest, Hungary, Sept. 2003
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10
Lateral cavity system
Bragg reflector Si/air
• Vertical Bragg reflectors, DRIE on Si
substrate – Structure realized in
ESYCOM/ESIEE
• Lateral cavity with insertion of a
photodiode
• Lateral cavity with insertion of a
SiGe phototransistor
Si/air
Si
SiO2/air Si/Ge
Thèse Amar Bdeoui – soutenance le 27 avril 2006
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Déphaseur optique accordable (160°)
par l’utilisation d’une double cavité à réseaux de Bragg
Light out
Coupled double cavity
Wrib
SiO2
Substrat : Si
Light in
ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
12
0
-1
-2
-3
-4
-5
-6
-7
-8
-9
-10
-11
-12
-13
-14
-15
-16
-17
-18
avant déplacement DBR
-19
après déplacement DBR
-20
-21
-22
-23
-24
-25
1542 1543 1544 1545 1546 1547 1548 1549 1550 1551 1552 1553 1554 1555 1556 1557 1558
300
Transmittance-Phase en degrès
Transmittance (dB)
Déphaseur optique accordable (120°)
par l’utilisation d’une double cavité à réseaux de Bragg
250
avant déplacement DBR
aprés déplacement DBR
200
X: 1550
Y: 146.5
150
ΔΨ 123
100
50
X: 1550
Y: 23.29
0
-50
-100
15421543154415451546154715481549 15501551155215531554155515561557 1558
Longueur d'onde (nm)
Longueur d'onde (nm)
Application: Modulateurs Mach Zehnder en photonique intégrée
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• Composants, microsystèmes photoniques
et microondes
• Conception de circuits monolithiques microondes
et optique-microondes
• Simulations systèmes et liaisons optique-microondes
 Circuits MMIC microondes

Circuits 3T-PTH pour détection optique-microonde
Mélangeur à réjection de fréquence basse RF et OL à 30GHz – PH25UMS
(brevet)

 Amplificateur
distribué très large bande contrôlée en tension – PH25UMS (brevet)
Conception d’un générateur de signaux impulsionnels et filtre ULB
(3.1-10.6GHz) – PH25UMS

Conception
d’un récepteur intégré millimétrique (140GHz) – collaboration avec
ESYCOM - LISIF - IAF-Frieburg
Conception de l’accès du signal modulant d’une diode EML pour applications de
communications optiques à très haut débit (40Gbits/s) – collaboration ESYCOM LISIF - III-V Lab

ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
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• Composants, microsystèmes photoniques
et microondes
• Conception de circuits monolithiques microondes
et optique-microondes
• Simulations systèmes et liaisons optique-microondes

Simulations systèmes et liaisons optique-microondes

Définitions nouvelles de gain et de bruit optique-microondes

Simulations de liaisons optiques

Simulations de systèmes ULB sur fibre optique : projet RNRT-BILBAO
Bilbao : mars 2006
ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
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
Simulations systèmes et liaisons optique-microondes

Définitions nouvelles de gain et de bruit optique-microondes

Simulations de liaisons optiques

Simulations de systèmes ULB sur fibre optique : projet RNRT-BILBAO
Microwave optical links
Direct modulation
Intensity Modulation
Direct Detection
Optical fiber
laser
photo-détector
l = 1,55 ou 1,3 ou 0,8 µm
ampli driver
Low noise
ampli
RF
RF
Blocs équivalents microondes (ADS)
laser
Iopt, 1
fibre
R0
Iopt, 2
photodiode
ou PTH
R0
ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
Zl
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Activités 2006
• Points forts :
• Démarrage du projet RNRT Bilbao en mars 2006
• Dépôt du projet (2ème phase) FET-Open OPTIM-UP en mars 2006
• Participation à la 10ème école Syscom en mars 2006 « Conception de
circuits intégrés radiofréquences, applications »
• Participation à l’école « nano-photonique sur Silicium » en juillet
2006
• Contribution à l’organisation de MWP’2006
• Collaborations :
–
–
–
–
–
–
LISIF – UPMC
IAF – Frieburg
UMS
ATMEL, IEF, UULM, FT, Mitsubishi, IMEP…
THALES TAS, III-V Lab, Photonics Lab
Partenaires du réseau Nefertiti
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Evolutions 2006
ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
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Historique et Evolution 2006
GIS MNT
EA 2552
Durée
labellisation
4
EA 2552
2
suite
Pôle
local
0
1996 1998 2000 2002 2004 2006 2008 2010
ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
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G.I.S. Micro Nano Technologies
ou G.I.S. M.N.T.
• GIS MNT : Groupement d’Intérêt Scientifique
construit en lien avec activités autour des salles
blanches de l’ESIEE
• Le Groupement :
- CNRS
- ESIEE-CCIP
- UMLV
- CNAM
- Polytechnicum MLV
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G.I.S. Micro Nano Technologies
ou G.I.S. M.N.T.
Recherche MEMS Télécom & Capteurs
ESYCOM EA 2552
CNAM – ESIEE - UMLV
Recherche Micro-fluidique et Bio-MEMS
MAHDI JE 2405
CNAM - ESIEE
Recherche Nano-matériaux
LPMDI – UMR 8108
UMLV
Master of Science MEMS
(ESIEE- NTU Singapour)
Master Electronique
Salles
Blanches
ESIEE
(UMLV-CNAM-ESIEE)
Master Mécanique
(UMLV)
Thèses de doctorat
Filière ingénieurs (CNAM et ESIEE)
Formations et Projets
académiques exogènes
Appui aux entreprises :
Développement et transfert industriel
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G.I.S. Micro Nano Technologies
ou G.I.S. M.N.T.
• Réunion de lancement le 30 janvier 2006 à l’ESIEE
• Responsable : Tarik BOUROUINA
• Un service technique : 8 permanents
• 300 m2 salle-blanche MEMS - classe 100 à 1000
• Equipements complets MEMS (DRIE – 1:107, AFM, …)
• Prototypage, processing, hébergement d’industriels…
• Longue tradition de partenariat – CCIP
ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
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Groupement d’Intérêt Scientifique
« Micro Nano Technologies »
ou G.I.S. M.N.T.
Tarik BOUROUINA
ESYCOM - Groupe Photonique et Microonde
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23
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