présentation

Phototraçage massivement parallèle.
Kevin Heggarty, Estibaliz Gonzalez, Christian Seigel
Département d'Optique GET/ENST Bretagne
Philippe Grosso, Isabelle Hardy
Centre Commun Lannionais d'Optique

Phototraçage – définitions et applications
• Le phototraçage est l'écriture par faisceau lumineux de motifs dans
des matériaux photosensibles (film argentique, photorésine ...).
• Généralement il réalise physiquement un schéma préparé par CAO
• Exemples:
• traceur de masques de circuits imprimés
• imprimante laser
• fabrication de masques photolithographiques pour :
• micro-éléctronique
• optique intégré
• optique diffractive

Phototraçage mono-faisceau
• Traditionnellement un seul faisceau d'écriture (laser ou électron)
• Balayage substrat et/ou faisceau pour tracer sur de grandes surfaces.
• Conflit résolution (focalisation faisceau) vs surface/vitesse de tracer

Phototraçage massivement parallèle - principe.
• Utilisation d’un micro-écran (LCD).
• Imager l'écran sur substrat
photosensible.
• Afficher une série d'images sur le
LCD en coordination avec déplacement
XY du substrat.
• Ecran ~1000x1000 pixels à 60Hz =
60Mpixels/s.
• Possibilité d'utiliser niveaux de gris
pour écriture de profils multi-niveau.

Prototype «DRAWMAP»
• écran LCD 600x800 pixels
• platines XY : précision 40nm
• surface d'écriture maximale
15x15cm
• lentille de reduction 5:1
• résolution limite 0,8 microns
• champ image 22x22mm