Vers la réalisation de composants haute tension, forte puissance sur

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En vue de l'obtention du
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Délivré par l’Institut National Polytechnique de Toulouse
Discipline ou spécialité : Micro-électronique
JURY
Christian BRYLINSKI Rapporteur Professeur, Université Lyon I
Dominique PLANSON Rapporteur Professeur,INSA Lyon
Jocelyn ACHARD Examinateur Professeur, Université Paris XIII
Philippe BERGONZO Examinateur Docteur HDR, CEA-LIST, Saclay
Karine ISOIRD Examinateur Maître de conférences, Université Toulouse III
Frédéric MORANCHO Examinateur Professeur, Université Toulouse III
Julien PERNOT Examinateur Maître de conférences, Université Grenoble I
Henri SCHNEIDER Directeur de thèse Maître de conférences HDR, INP Toulouse
Ecole doctorale : GEET
Unité de recherche : LAAS-CNRS
Directeur de Thèse : Henri SCHNEIDER
Présentée par Gabriel CIVRAC
Soutenance prévue le 5 novembre 2009
Titre : Vers la réalisation de composants haute tension, forte puissance sur
diamant CVD. Développement des technologies associées.

REMERCIEMENTS
Je remercie Malik Ghallab et Raja Chatila, directeurs successifs du LAAS-CNRS, Yvon
Chéron et Maurice Fadel, directeurs successifs du LEEI, ainsi que Christian Laurent, directeur du
LAPLACE, de m’avoir accueilli au sein de leurs laboratoires respectifs durant ces années de
thèse. Je remercie également Jean-Louis Sanchez et Marise Bafleur, responsables successifs du
groupe ISGE (LAAS-CNRS), ainsi que Philippe Ladoux, responsable du groupe CS (LAPLACE).
Je souhaite adresser mes profonds remerciements à Henri Schneider, qui a dirigé cette
thèse. Merci de m’avoir fait confiance, de m’avoir encadré comme tu l’as fait, d’avoir su donner
de ton temps lorsque c’était nécessaire et merci pour tout le reste…
Mes remerciements vont aussi à Karine Isoird pour les échanges scientifiques intéressants
que nous avons pu avoir durant ces quelques années et pour l’aide apportée dans la rédaction de
ce document.
Je voudrais remercier Frédéric Morancho d’avoir accepté de présider le jury de ma
soutenance de thèse. Merci à Christian Brylinski et Dominique Planson de m’avoir fait l’honneur
d’être les rapporteurs de ces travaux de recherche. Je remercie également Jocelyn Achard,
Philippe Bergonzo et Julien Pernot d’avoir accepté d’examiner ces travaux.
Je souhaite remercier Sodjan Koné et Hui Ding avec lesquels j’ai pu travailler durant
plusieurs années et sans lesquels cette étude ne serait pas aussi complète. Je remercie aussi
Zhongda Zhang, Mustafa Zerarka, Fabien Thion et Hélène Bordeneuve pour le coup de main
qu’ils m’ont donné en fin de thèse. Je vous souhaite bon courage à tous pour la suite….
Ces travaux n’auraient pas pu être réalisés sans l’aide des membres de l’équipe TEAM. Je
les remercie tous pour le travail qu’ils réalisent, en particulier Laurent, Fabien, Véronique,
Sébastien, Ludovic, Djaffar, Pascal, Bernard, Laurent, Monique, David, Pierre-François, David,
Jean-Baptiste, Monique, Eric, Guy, Jean-Christophe, Laurent, Franck, Hugues, Christina et ceux
que j’aurais oubliés. Pour les mêmes raisons, je souhaite remercier les membres de l’équipe 2I,
notamment Christian Ganibal, Nicolas Mauran et Sandrine Assié-Souleille.
Un grand merci à Emmanuel Scheid qui a réalisé les dépôts PECVD de silicium, à Thierry
Camps pour les discussions que nous avons pu avoir sur la fabrication de contacts métal/semi-
conducteur, ainsi qu’à Claude Amand qui a réalisé les caractérisations SIMS.
Merci aux personnes du LIMHP, de l’institut Néel, du GEMAC, du CEA-LETI, du LGP
avec lesquels j’ai eu l’occasion de travailler durant cette thèse.
Ces années éreintantes de travail ont été rendues tout à fait supportables grâce à la
présence de nombreux collègues du LAAS. Je remercie particulièrement les habitants légitimes et

squatteurs du bureau 9B, à savoir (par ordre alphabétique) Cyril, Fabienne, Fabrice, Guillaume,
Pamela, Pier Francesco, Pierre, Thibault pour les cafés philosophiques, quiz endiablés et apéros
mémorables. Je souhaite aussi remercier mes colocataires de bureau (par ordre d’apparition)
Florence, Julie, Stéphane, Elias, Jean-François et Aloña pour la bonne humeur qu’ils ont su
cultiver au sein du bureau G6. Je souhaite de plus remercier Mathieu, Habib, l’ensemble des
doctorants du groupe ISGE et tous les autres. En espérant vous revoir tous bientôt.
Enfin je souhaite remercier Aurore, Cyril, Muriel et François pour le soutien logistique de
début de thèse.
Ces remerciements étant rédigés dans l’urgence (pour changer…), il est possible (voire
probable) que j’aie oublié de remercier un certain nombre de personnes (honte à moi). Je vous
prie, par avance, de m’excuser.

A mes parents
A ma famille
A Aude