Etude d’un gaz 2D de trous confinés dans du diamant δ-dopé au bore Proposition de stage M2 Recherche et poursuite en thèse Institut Néel UPR 2940 – CNRS – 25 rue des Martyrs – Polygone scientifique Encadrants: Julien Pernot Courriel du responsable scientifique : [email protected] Le diamant est un semi-conducteur exceptionnel en raison de sa très grande mobilité de porteurs (électrons et trous), sa très forte conductivité thermique et sa capacité à tenir des champs électrique intenses. Toutes ces propriétés font de ce matériau un très bon candidat pour des applications où la haute puissance et la haute fréquence sont nécessaires simultanément. C’est le cas de transistor à effet de champ (δ-FET) que nous proposons d’étudier lors de cette thèse. Cette thématique de recherche est soutenue par une ANR qui a commencé en janvier 2009 et qui nécessite un renfort en personnel de type étudiant en thèse. Le travail de la thèse se situe dans les domaines de la simulation, de l'élaboration et de la caractérisation de matériaux diamant très dopés au bore sur une très fine épaisseur (δdopée), ne dépassant pas quelques nm, et peu dopé sur le reste de la structure. Les objectifs se déclinent selon les axes suivants : étude des conditions de fabrication des couches homoépitaxiées de diamant peu dopé et très dopées (δ-dopée) au bore ; étude théorique par simulation numérique au niveau microscopique par résolution des équations de SchrödingerPoisson couplées dans la couche δ-dopée et vérification expérimentale de ses propriétés de transport ; simulation par éléments finis de diverses architectures et réalisation de transistor à effet de champ (δ-FET), permettant d’associer grande vitesse de commutation et hautes tensions afin de dépasser les limites aujourd’hui atteintes dans le domaine des interrupteurs commandés pour l’électronique de puissance ; technologie de réalisation du δ-FET et des composants associés (motifs de tests et diodes Schottky). Le principe de fonctionnement du δ-FET est d’enterrer sous une relativement fine couche de diamant faiblement dopé au Bore (quelques 1014 B/cm3 sur quelques dizaines de nm) ou sous une couche d’oxyde diélectrique (Al2O3 comme premier choix), une très fine couche de diamant très fortement dopé au Bore (4×1020 B/cm3 sur quelques nanomètres). La quantification des états d’énergie des trous au niveau de la couche δ-dopée et la création d’un gaz de trous 2D permettra d’augmenter notablement la mobilité des trous et ainsi d’obtenir une conductance en état « ON » très élevée. L’état « OFF » sera alors atteint en dépeuplant le gaz 2D au moyen la grille située sur la surface. Différentes architectures visant à augmenter la tension maximale à l’état « OFF » seront étudiées, en particulier celles dans lesquelles le canal est constitué par une couche δ-dopée interrompue par une (ou des) zone(s) peu dopée(s), afin de trouver le meilleur compromis entre la plus haute transconductance et la plus forte tenue en tension drain-source. Le(a) doctorant(e) recruté(e) devra utiliser les différents outils de l’Institut Néel et des partenaires de l’Institut Néel dans le cadre du projet en cours DELTADIAM (ESRF, LISTCEA, IEMN) afin de réaliser les différentes étapes de cette étude. Dans un premier temps, il collaborera avec le personnel impliqué dans le projet DELTADIAM au sujet du polissage du diamant, de sa croissance et de sa gravure afin d’obtenir une surface de substrat de grande qualité (absence de couche endommagée) et très plate (typiquement la rugosité de départ pour l’épitaxie devra être inférieure à l’épaisseur de la couche δ-dopée) et de faire croître les couches δ-dopées dans des conditions optimales. L’accent sera ensuite mis d’une par sur la technologie permettant d’obtenir les contacts métalliques nécessaires (drain, source, puis grille dans un second temps, en collaboration avec les services de nanofabrication de l’Institut Néel) pour les δ-FET et diodes Schottky ainsi que les structures d’isolation adéquates, et d’autre part sur la simulation des propriétés de transport de la couche δ-dopée au niveau microscopique. Les effets physiques mis en jeu dans ce type de structure seront étudiés par mesures de transport (effet Hall à faible et fort champ magnétique, mesures capacitives et de conduction dans différents régimes). Finalement, une ou deux architectures optimales seront déterminées par simulation des propriétés électriques de transport des charges dans la structure soumise aux tensions de commande et de charge, en portant une attention particulière à l’état bloqué ; la technologie de réalisation sera mise en œuvre en collaboration avec les services de nanofabrication de l’Institut Néel ou de l’IEMN si nécessaire et des tests des propriétés électriques seront effectués si possible en collaboration avec les laboratoires de Génie Electrique grenoblois (G2ELAB) et lyonnais (AMPERE). Compétences: Le candidat devra avoir suivi des cours de physique des semi-conducteurs. Des notions sur les techniques de croissance, plasma et caractérisation de matériaux seraient des plus.