Fondé en 1987, STMicroelectronics est aujourd’hui le premier fabricant européen de semi-conducteurs avec plus de 53 000 collaborateurs et est présent dans 36 pays. Nos composants sont au cœur de tous les systèmes électroniques de télécommunication, informatique, automobile, grand public, cartes à puces… Nous recherchons : Intitulé Descriptif Stage - Corrélation des écarts d’énergie de liaison mesurés par XPS pour les empilements HKMG aux tensions de seuil des transistors Les dernières technologies microélectroniques embarquent des transistors dont les isolants de grille sont des isolants à forte constante diélectrique (high-k en anglais) associés à des grilles métalliques (on utilise l’abréviation HKMG pour high-k – metal gate). Si cet empilement permet de garder une quantité de charges suffisante dans le canal, il est plus difficile de contrôler les tensions de seuil des transistors à cause de la présence de charges et de dipôle dans ces couches ou aux interfaces. Deux études préliminaires ont établi qu’il existe une corrélation entre les énergies de liaisons des éléments mesurées par XPS d’un empilement HKMG et la tension de seuil d’un transistor utilisant ce même empilement. Des charges sont présentes dans les couches isolantes des empilements HKMG, conduisant à un décalage du potentiel électrostatique au sein de ces couches. Ceci induit une modification du travail de sortie effectif de l’électrode métallique du transistor. Et en XPS ces charges induisent une variation de l’énergie cinétique des électrons extraits des couches se trouvant sous ces charges (voir schéma ci-dessous). L’objectif de ce stage est de simuler de manière quantitative l’impact électrostatique induit par ces charges et dipôles et de comparer cet impact aux décalages des raies XPS ainsi qu’aux mesures électriques des tensions de seuil des transistors. Niveau d’étude requis Ingénieur 3ème année ou Master Recherche Compétences requises Matériaux Caractérisation physico-chimique Caractérisation électrique Dates et lieu de la thèse 2015 STMicroelectronics Crolles Contact Mickael Gros-Jean, [email protected] Denis Rideau, [email protected]