Caractérisation de photodiodes UTC Sara Bretin, Maximilien Billet, Philipp Latzel, Fabio Pavanello, Emilien Peytavit, Jean-François Lampin, Mohammed Zaknoune et Guillaume Ducournau Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) Avenue Henri Poincaré 59652 Villeneuve d’Ascq cedex E-mail : [email protected] [email protected] Résumé Les photodiodes à transport unipolaire (UTC :UniTravelling-Carrier) sont des évolutions des photodiodes PIN. Les performances aux fréquences TeraHertz de ces dernières sont limitées par le temps de transit des trous dont la masse effective est plus élevée que celle des électrons. La principale amélioration tient à la dissociation de la zone absorbante de la zone de collection. Les phénomènes de photo-génération résultent de l'utilisation d'une couche absorbante en InGaAs, dopée p afin de ne pas être limité par la dynamique des trous et d'épaisseur réduite afin de réduire le temps de diffusion des électrons dans la couche absorbante. Cette dissociation absorption/collection permet de réduire la taille de la zone absorbante afin d'optimiser le temps de transit des trous et de garder une taille suffisante de collecteur pour assurer un court temps de charge et décharge de la structure chargée par un circuit externe. La vitesse de transit des charges est une caractéristique essentielle aux fréquences TéraHertz. D'un autre côté, le rendement optoélectronique de cette photodiode dépend directement de l'épaisseur de la zone absorbante. Ainsi, plusieurs topologies de photodiodes UTC ont été proposées afin d'en améliorer les performances. Par exemple, à l'IEMN, l'utilisation d'électrodes nanostructurées est mise en œuvre afin d'améliorer le rendement quantique. D'autre part, la création d'un effet de cavité via l’utilisation d’une couche d’or et des électrodes comme miroirs optiques dans la structure de l'UTC permet d'avoir une augmentation de la photoréponse en A/W du dispositif sans augmenter l'épaisseur de la zone absorbante. Les photodiodes UTC sont des dispositifs optoélectroniques pouvant être utilisés pour la détection ou la génération d’ondes hyperfréquences et THz par phénomène de photomélange [1]. La structure de photodiode UTC a été développée par le laboratoire NTT au Japon en 1997 [2]. La différence majeure entre les photodiodes UTC et les photodiodes PIN (Positive Intrinsic Negative) est la séparation de la zone absorbante de la zone de collection permettant de diminuer le temps de transit des charges et ainsi augmenter les fréquences de coupure du dispositif. La photoréponse de la structure est définie en fonction du rapport du photocourant généré sur la puissance optique incidente. Des mesures de photoréponse de différentes structures de photodiodes UTC sont présentées pour un régime d'illumination continue. L'effet de la géométrie de l’électrode nanostructurée ainsi que l'influence de la mise en cavité sont détaillées. 2. Les photodiodes UTC caractérisées La structure initialement conçue par T. Ishibashi a connu de nombreuses évolutions afin d’améliorer l’efficacité de la photodiode. L'utilisation d'une électrode nanostructurée formée d'un arrangement périodique d'or permet d'optimiser la puissance transmise dans la couche active de semiconducteur (InGaAs) [3]. Cette électrode nanostructurée est définie en fonction de sa période et de la largeur des plots (cf. figure 1). La réduction de la taille des électrodes, et en conséquence de la taille des structures, permet de diminuer les pertes dues aux résistances et capacités parasites. Différentes topologies de photodiodes UTC sont testées sous un régime d’illumination continue afin d'évaluer les performances en sensibilité spectrale. 1. Introduction Les ondes THz sont des ondes électromagnétiques dont la fréquence est comprise entre celles des microondes et des rayons infrarouges (100GHz-30THz). Figure 1. Electrode supérieure nanostructurée. Les deux types de structures caractérisées possèdent une zone absorbante en InGaAs permettant la génération de paires électrons trous. Le collecteur est en InP afin de collecter les électrons générés dans la zone absorbante et de les accélérer vers l’électrode inférieure. Il est également possible de placer la photodiode en cavité, en exploitant les électrodes comme des miroirs optiques. L'électrode face avant est alors comme dans le cas précédent nanostructurée, ce qui permet de contrôler ses propriétés optiques via le choix de sa géométrie (période, ouverture et hauteur) [4]. La mise en cavité permet d'optimiser l'absorption optique, et donc la photoréponse puisque la lumière est réfléchie entre les deux électrodes ce qui augmente le trajet parcouru par l'onde dans la couche absorbante. Ces dispositifs permettent d'obtenir des résonances à la longueur d'onde souhaitée, soit 1550 nm, quand l'épaisseur de la cavité et les paramètres géométriques de l'électrode nanostructurée sont bien choisis. qu'une fois par le signal optique alors que le faisceau est réfléchi sur le miroir dans le cas de la structure en cavité. La photoréponse de la structure en cavité est plus élevée que la structure sans cavité. Pour un dispositif de dimensions identiques (par exemple 100 µm²), l'ajout du miroir face arrière augmente la photoréponse d'un facteur 5.5 pour une longueur d'onde d'illumination de 1550 nm ce qui montre l’intérêt de cette structure (cf. figure 3). 3. Caractérisation expérimentale La mesure de la photoréponse est effectuée sous illumination continue pour des photodiodes UTC non polarisées. Les dispositifs sont éclairés par un laser à cavité étendue accordable entre 1510 nm et 1640 nm dont la sortie est injectée dans une fibre optique. Le faisceau est ensuite polarisé TE (transverse électrique), mode pour lequel le champ magnétique est parallèle au vecteur du réseau formé par l'électrode périodique (cf. figure 1) grâce à une lame demi-onde et un polariseur (cf. figure 2). Deux fibres optiques, qui différent par le diamètre du mode optique de sortie (10.5 µm et 3 µm), sont utilisées pour réaliser l'éclairement. Figure 3. Mesure de la photoréponse des photodiodes UTC de 100 µm² sous une illumination continue en fonction de la longueur d’onde pour une tension de polarisation nulle. 4.2. Dimensions de l’UTC et photoréponse Les photodiodes UTC ont des applications principalement dans le domaine des hyperfréquences et THz, fréquences pour lesquelles l’électrode nanostructurée présente un bon compromis sur les résistances et capacités parasites. Deux dimensions de structures UTC avec les mêmes épitaxies ont été mesurées. Sur la figure 4, la résonance est élargie sur les plus petites structures. Le facteur de qualité évolue de 24.2 pour les UTC de 100 µm² à 28.5 pour celles de 36 µm². L'atténuation de cette réponse, pour les photodiodes UTC de 36 µm², s'explique par le diamètre du mode du faisceau incident supérieur à la surface de l'UTC. Figure 2. Montage de caractérisation des photodiodes UTC avec contrôle de la polarisation sous illumination continue. 4. Les réponses obtenues Les mesures de photoréponses sont réalisées sous éclairement continu pour des longueurs d'ondes variant entre 1510 nm et 1640 nm en incidence normale. La tension de polarisation est nulle. 4.1. Photodiodes UTC avec et sans cavité résonante. Les deux types de structures, avec et sans cavité ont été mesurées en utilisant une fibre lentillée monomode dont le diamètre de mode optique est de 10,5 µm. La zone absorbante de la structure sans cavité n'est traversée Figure 4. Mesure de la photoréponse des photodiodes UTC de 100 µm² et 36 µm² de surface sous illumination continue en fonction de la longueur d’onde pour des rapports cycliques d’électrode nanostructurée de 0.5. 4.3. Réponses en fonction de la surface des UTC 5. Conclusions et perspectives Les surfaces des composants inférieures à 100 µm² ne reçoivent pas la quantité totale de photons émis en sortie de la fibre lentillée monomode. La puissance incidente réelle sur le composant diminue et en conséquence la photoréponse de la photodiode UTC. L'utilisation d'une fibre lentillée dont le diamètre du faisceau est de 3 µm sur des structures de 16 µm² permet de comparer les photoréponses en fonction de la surface des photodiodes. Dans le tableau 1, les structures éclairées avec des diamètres de mode adaptés à leur surface présentent une amplitude crête à crête de photoréponse équivalente. La plus importante amplitude de variation est obtenue sur la structure de 100 µm² pour un diamètre de mode de 3 µm de diamètre (cf. tableau 1). Sur les structures caractérisées, l'amplitude de photoréponse des photodiodes UTC avec cavité est plus importante que pour la topologie sans cavité. Le besoin de limiter la surface des photodiodes mène à des structures plus petites pour lesquelles la photoréponse diminue en raison de l’inadaptation du diamètre de mode de la fibre incidente. Pour deux structures de même rapport cyclique d’électrode nanostructurée, avec des surfaces différentes, mais un diamètre de mode de faisceau optique incident adapté à la surface de l'UTC, l’amplitude des photoréponses est équivalente. L'objectif est maintenant de caractériser ces photodiodes aux fréquences TéraHertz. Surface du composant (µm²) Nombre de période Diamètre de mode (µm) Amplitude de photoréponse (A/W) 100 10 10 0.25 100 10 3 0.42 16 4 10 0.017 Ce projet est soutenu par la Direction Générale de l’Armement (DGA), la région Nord-Pas-de-Calais, l'Agence Nationale de la Recherche (ANR) par le contrat Com'toniq, l'Equipex "flux", le CPER "Photonics for Society" et l’Université Lille1. Les auteurs souhaitent remercier le réseau Renatech des centrales de technologies du CNRS. 16 4 3 0.24 Table 1. Amplitudes des photoréponses des photodiodes UTC en fonction de leur surface et du diamètre de mode du faisceau optique incident en illumination continue. Les deux photodiodes aux photoréponses équivalentes en figure 5 présentent une variation du facteur de qualité. Celles de 16 µm² présentent un facteur de qualité de 28.5 alors qu’il est de 19.5 pour celles à 100 µm². Cela peut s’expliquer par un faisceau comportant des vecteurs d’ondes divergents influençant le comportement de la cavité et la longueur d’onde de résonance du dispositif. Remerciements Références [1] G. Ducournau, "Ultrawide-Bandwidth Single-Channel 0.4THz Wireless Link Combining Broadband Quasi-Optic Photomixer and Coherent Detection", ieee transactions on terahertz science and technology, vol. 4, no. 3, may 2014). [2] T. Ishibashi et al. "PIN photodiode with improved frequency response and saturation output" (1998). [3] F. Pavanello "Uni travelling carrier photodiodes and metal mesh filters based on sub-wavelength apertures for THz applications". Thèse soutenue à l’université Lille 1, 2013. http://www.theses.fr/2013LIL10172 [4] P. Latzel. "High efficiency THz photomixers based on indium metallic wafer bonding". Thèse soutenue à l’université Lille 1, 2014. http://www.theses.fr/2014LIL10025 Figure 5. Mesures de la photoréponse des photodiodes UTC à rapport cyclique d’électrode nanostructurée de 0.5 µm/1 µm sous illumination continue en fonction de la longueur d’onde avec un diamètre de mode du faisceau incident adapté à la surface de la structure.