UNIVERSITE DE LIMOGES

UNIVERSITE DE LIMOGES
Ecole Doctorale Sciences, Technologie et Santé n°258
Faculté des Sciences et Techniques
Laboratoire Science des Procédés Céramiques et Traitements de Surface
N° XXXX
THESE
Pour obtenir le grade de
DOCTEUR DE L’UNIVERSITE DE LIMOGES
Discipline : Matériaux et Procédés
Présentée et soutenue publiquement par :
Elise NOGUÈS - DELBOS
Le 17 octobre 2007
Densification de dépôts de zircone yttriée projetés
par plasma d’arc Ar-H2 et N2-H2 pour leur utilisation dans
l’industrie des semi-conducteurs
Thèse dirigée par : Pierre Fauchais, Michel Vardelle et Pascal Granger
Rapporteurs : Jacques AMOUROUX, Professeur, Université Pierre et Marie Curie, Paris
Hanlin LIAO, Professeur, LERMPS, Belfort
Examinateurs : Pierre FAUCHAIS, Professeur, Université de Limoges, Limoges
Alain GLEIZES, Professeur, Université Paul Sabatier, Toulouse
Pascal GRANGER, Directeur Délégué, Edwards, Paris
Michel VARDELLE, Professeur, Université de Limoges, Limoges
Invités : Olivier LAM, Ingénieur Procédés, Edwards, Paris

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Cette thèse a pu avoir lieu grâce à la coopération entre :
• La société Edwards
224 boulevard John KENNEDY
91105 Corbeil – Essonnes Cedex
Siège social : Edwards SAS
125 avenue Louis ROCHE
92230 Gennevilliers
• Et le laboratoire SPCTS
Faculté des Sciences – Université de Limoges
123 avenue Albert THOMAS
87060 Limoges Cedex

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Remerciements
Qu’est ce qu’une thèse ? C’est 3 ans de recherche où l’on côtoie de nombreuses
personnes qui nous aident, nous conseillent et/ou nous soutiennent, afin de passer de l’état de
« chercheur » à un état proche de celui de « trouveur ». Dans ces lignes, je tiens à remercier
toutes ces personnes et je m’excuse par avance auprès celles que je n’aurais pas citées, de les
avoir oubliées.
Je tiens tout d’abords à remercier Monsieur Pascal Granger de m’avoir accueillie au
sein de Edwards et pour le temps qu’il m’a accordé tout au long de cette thèse. Je le remercie
également pour m’avoir donné l’opportunité de visiter les installations de Katchina Phoenix
aux Etats-Unis.
Que mes autres directeurs de thèses, Messieurs Pierre Fauchais et Michel Vardelle,
reçoivent ici l’expression de toute ma gratitude pour m’avoir accueillie dans leur laboratoire
de recherche et m’avoir suivie tout au long de cette thèse. Je remercie Monsieur Fauchais
pour le temps et les conseils qu’il m’a donnés, en particulier lors de l’exploitation des
résultats et les rédactions de rapports divers et variés. Je remercie Monsieur Vardelle pour son
dynamisme et sa présence régulière au cours de mes expérimentations : de leur définition à
leur exploitation en passant par leur réalisation. On ne pouvait pas rêver d’avoir deux
responsables autant complémentaires !
Je remercie l’ensemble des membres du jury pour avoir accepter de juger mes travaux.
Je remercie tout particulièrement Messieurs Jacques Amouroux et Hanlin Liao de m’avoir fait
l’honneur de juger ce travail en tant que rapporteurs et Monsieur Alain Gleizes pour avoir
présidé mon jury de thèse.
Je souhaite remercier ici toute l’équipe de Edwards Katchina qui m’a accueillie durant
ces 3 années. Merci tout d’abord à « l’équipe plasma » : Jérôme Orléac, Olivier Lam et
Stéphane Roignan, pour leur présence régulière au cours de mes recherches. Merci aux autres
membres des bureaux : Annabelle Mordacque, Isabelle Ponçot (en particulier pour les
attaques chimiques), Leila Le Dévéhat, Laurence Bonzon, Damien Dejardins, Romain Venet,
Frédéric Grandati (pour m’avoir accueilli au sein de Edwards Katchina),... Je tiens à remercier
Nathalie Le Bervet et Delphine Talbot (chefs d’équipe) ainsi que l’ensemble des opérateurs