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UNIVERSITE DE LIMOGES
Ecole Doctorale Sciences Technologie Santé
Faculté des Sciences et Techniques de LIMOGES
Année : 2007 Thèse n˚20-2007
Thèse
pour obtenir le grade de
DOCTEUR DE L’UNIVERSITÉ DE LIMOGES
Discipline : Electronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique
Spécialité : "Communications Optiques et Microondes"
présentée et soutenue par
Cyrille TILHAC
le 2 Juillet 2007
“Développement d’architectures de filtres à base de
résonateurs à ondes acoustiques de volume et contribution
à l’intégration dans une technologie avancée silicium
industrielle pour des applications radio-fréquences”
Thèse dirigée par
Andreia CATHELIN (STMicroelectronics) et Valérie MADRANGEAS (XLIM)
JURY :
Andreas KAISER Directeur de recherche CNRS IEMN, Lille Président
Eric KERHERVE Professeur des universités à l’ENSEIRB Bordeaux, IMS Rapporteur
Olivier LLOPIS Directeur de recherche CNRS LAAS, Toulouse Rapporteur
Stéphane BILA Chargé de recherches CNRS XLIM, Limoges Examinateur
Dominique CROS Professeur à l’université de Limoges, XLIM Examinateur
Christian PERSON Professeur à l’ENST de Brest, LEST Examinateur
Andreia CATHELIN Ingénieur à STMicroelectronics, Crolles Examinateur
Valérie MADRANGEAS Professeur à l’université de Limoges, XLIM Examinateur

Remerciements
Ce travail a été effectué pour sa majeure partie dans la société STMicroelectronics basée
à Crolles (38) au sein de l’équipe “CCDS Advanced CMOS Design” de Didier BELOT en
partenariat avec l’Institut de Recherche en Communications Optiques et Microondes
(récemment renommé XLIM), et plus particulièrement l’équipe “Micro et Nanotechnologies pour
composants Optoélectroniques et Microondes” de Serge VERDEYME. Je tiens donc à remercier
dans un premier temps mes encadrants Valérie MADRANGEAS (XLIM) et Andreia CATHELIN
(STMicroelectronics).
J’exprime également toute ma gratitude à Monsieur Eric KERHERVE, Professeur des
Universités à l’ENSERB Bordeaux, ainsi qu’à Monsieur Olivier LLOPIS, Directeur de Recherche
CNRS au LAAS Toulouse, qui ont bien voulu assurer la fonction de rapporteur.
Je tiens également à remercier Stéphane BILA, Chargé de Recherches à XLIM Limoges,
pour avoir pris sur son temps afin de m’apporter son expertise durant mon séjour au sein du
laboratoire.
Merci aussi à tous les membres du jury que je n’ai pas encore cité Andreas KAISER,
Directeur de Recherche CNRS à l’IEMN Lille, Dominique CROS, Professeur des Universités de
Limoges, et Christian PERSON, Professeur à l’ENST Brest qui en qualité de jury m’ont permis
d’obtenir le grade de Docteur de l’Université de Limoges.
Enfin, un grand merci généralisé à toutes les personnes qui durant ces trois années m’ont
aidé et soutenu dans cette grande aventure qu’est la thèse.

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TABLE DES MATIÈRES
TABLE DES MATIÈRES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
INTRODUCTION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9