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Introduction
Le contrˆole de la rugosit´e des surfaces est un point capital dans divers domaines, no-
tamment en m´etrologie de masse o`u les ´etalons doivent avoir leur masse la plus stable
possible. Par suite d’op´erations de comparaisons ou d’´etudes de surface et en d´epit des
pr´ecautions prises lorsqu’on manipule les masses, un nettoyage peut parfois s’av´erer n´e-
cessaire. En effet,il ne faut pas laisser se d´eposer des poussi`eres ou autres particules sur la
surface, ce qui entrainerait un exc`es de masse ind´esirable. Malheureusement, plus l’´etalon
est rugueux, plus il sera facile de retirer des atomes de la surface et cr´eer ainsi un d´efaut
de masse. Il est donc devenu n´ec´essaire de contrˆoler le param`etre rugosit´e dans la fabri-
cation de ces ´etalons. Des ´etudes ant´erieures avaient permis de comparer les valeurs de
rugosit´ede surfacedonn´ees par lerugosim`etreoptiquepuis par le SNOM(Scanning Near-
field Optical Microscope) [3]. Cependant la valeur de la rugosit´e d’une surface d´epend de
l’´echelle `a laquelle on l’´etudie. Les instrumentations n’ayant pas acc`es aux mˆemes fr´e-
quences spatiales, les diff´erentes valeurs de rugosit´e ne sont pas rigoureusement compa-
rables. Pour pouvoir comparer la rugosit´e d’une surface dans les hautes fr´equences spa-
tiales, accessibles au SNOM, il ´etait n´ecessaire de diminuer la longueur d’onde d’´etude
du rugosim`etre optique. L’utilisation d’un rayonnement X a ´et´e d´ecid´e car cette gamme
de longueur d’onde pourrait donner acc`es aux fr´equences spatiales voulues. Le but de
ce rapport est donc de comparer les valeurs de rugosit´e d´etermin´ees par ces diff´erentes
techniques mais cette fois dans des domaines de fr´equences spatiales aussi proches que
possible, ce qui pourrait justifier l’utilisation de telle ou telle technique. Les mesures sur
les rugosim`etres optique et `a rayons X ont ´ete effectu´ees au Conservatoire National des
Arts et M´etiers de Paris et les mesures avec le SNOM ont elles ´et´e men´ees au Laboratoire
de Physique de l’Universit´e de Bourgogne, avec le groupe “Optique de Champ Proche”.