chap 3. Quelques outils des nanos

Les outils de la nanotechnologie:
Chap. 3 : les outils des nanos
Polytech-Lyon / Matériaux 5ème année (2013-2014) (1)
Polytech-Lyon 5ème année

Suivant les techniques de réalisation des
systèmes en nanotechnologie on distingue
généralement deux voies :
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Polytech-Lyon / Matériaux 5ème année (2013-2014) (2)
Polytech-Lyon 5ème année Nano-électronique
-la voie « top-down »
- la voie « bottom-up »

Voies top-down ou descendantes.
On part d’une structure existantes (par exemple un circuit imprimé ) et on va chercher à le
miniaturiser de plus en plus, chaque composant diminuant de taille graduellement et atteignant
des dimensions nanométriques.
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Polytech-Lyon 5ème année Nano-électronique
Voies bottom-up ou ascendantes.
On part d’objets nanométriques qu’on va essayer d’assembler, ou d’auto-assembler, pour former des
matériaux, des structures, de plus en plus complexes et dont l’échelle augmente vers le « macro ».
- L’utilisation de ces termes est souvent galvaudé ou fourre-tout.
- Les nanotechnologies utilisent souvent des voies hybrides empruntant le meilleur des 2 voies.

La voie top-down est tirée par l’industrie
micro- nano électronique qui progresse
extrêmement rapidement (loi de Moore)
Son outil de prédilection pour la définition et la réalisation
des étapes est la photo-lithographie.
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Polytech-Lyon 5ème année Nano-électronique

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Polytech-Lyon 5ème année bottom-up
Les voies bottom-up.
•Quelques outils de base : matériaux piézo-électriques.
•Microscopes à champ de forces (AFM)
•Emission de champ
•Effet tunnel
•Voir les atomes
•Sonde atomique
•Le FIB (Focused ion beam)