Analyse de fronts d`onde avec un interféromètre de type Zygo

04/05/2010
04/05/2010 zygo zygo 1 1
Analyse de fronts d’onde avec un
interféromètre de type Zygo
Analyse de fronts d’onde avec un
interféromètre de type Zygo
Lionel Jacubowiez
Lionel Jacubowiez
Responsable des Travaux Pratiques de
Responsable des Travaux Pratiques de
SupOptique
SupOptique

04/05/2010
04/05/2010 zygo zygo 2 2
Zygo
Instrument de contrôle optique industriel
aux Travaux pratiques (depuis 92)
Zygo
Instrument de contrôle optique industriel
aux Travaux pratiques (depuis 92)

04/05/2010
04/05/2010 zygo zygo 3 3
Contrôle interférométrique
Contrôle interférométrique
Surface à
Surface à
mesurer
mesurer
Plan de référence
Plan de référence
Laser
Laser HeNe HeNe
+
+
Objectif de microscope
Objectif de microscope
et trou d’épuration
et trou d’épuration
Interférogramme
Interférogramme

04/05/2010
04/05/2010 zygo zygo 4 4
Contrôle interférométrique
d’un système optique
Contrôle interférométrique
d’un système optique
Système
Système
optique à
optique à
étudier
étudier
Plan de référence
Plan de référence
Laser
Laser HeNe HeNe
+
+
Objectif de microscope
Objectif de microscope
et trou d’épuration
et trou d’épuration
Interférogramme
Interférogramme
Miroir de référence
Miroir de référence

04/05/2010
04/05/2010 zygo zygo 5 5
Contrôle interférométrique
Contrôle interférométrique
Défaut de front d’onde :
Défaut de front d’onde :
λ
λ/ /2 entre deux franges 2 entre deux franges
Défaut de front d’onde
Défaut de front d’onde
mesuré avec et sans tilt
mesuré avec et sans tilt