2008 2007 Simulation pour les nanotechnologies : de la physique quantique au transistor François Triozon © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 1 Résumé Théorie semi-classique du transport électronique Fondements, illustrations Succès pour la simulation des transistors Théorie quantique du transport 2007 Bref historique Exemples illustratifs Développements actuels Exemple : transport dans les nanotubes de carbone Difficultés théoriques © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 2 Partie I Théorie semi-classique du transport électronique 2007 © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 3 Pourquoi « semi-classique » ? La nature ondulatoire des électrons domine les propriétés des molécules et des solides Pourtant, le transport électronique est souvent bien décrit par des modèles particulaires dits « semi-classiques » 2007 Les paramètres de ces modèles particulaires contiennent (cachent) l’aspect ondulatoire © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 4 Semi-conducteurs et métaux Electrons dans un solide cristallin : 2007 états stationnaires = ondes de Bloch relations de dispersion En(k) (= ħwn(k)) → bandes d’énergies permises propagation balistique + diffusion sur défauts du cristal statistique de Fermi-Dirac © CEA 2008. Tous droits réservés. 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B 2000 états vides bande interdite 1.1 eV états occupés 2007 vecteur d’onde k Bande complète → semi-conducteur ou isolant © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 7 Remarques Electrons dans un cristal = problème à N corps Ici on se limite aux liquides de Fermi. Les états excités du système de N électrons se comportent comme des fermions admettant des relations de dispersion En(k) : quasiparticules (électrons et trous) Pourquoi une bande totalement remplie ne conduit-elle pas ? Comme nous allons le voir, c’est un phénomène ondulatoire. 2007 © CEA 2008. Tous droits réservés. 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Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 9 Relations de dispersion 2007 1ère zone de Brillouin états identiques largeur 2p/a a = distance interatomique dynamique de l’électron © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 10 Paquets d’ondes et vitesse de groupe « Vitesse » d’un électron dans l’état de Bloch 2 méthodes : 2007 ? opérateur courant paquet d’ondes Fourier W >> distance interatomique Dk << 1ère zone de Brillouin Vitesse de groupe : © CEA 2008. Tous droits réservés. 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Triozon 12 Effet d’un champ électrique E (eV) 0 b -2 eV a a kx 2007 b Bande complète compensation entre e- accélérés et ralentis pas de courant © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 13 Effet d’une impureté ionisée -e 2007 (E. Sarrazin, CEA/LETI) Théorème d’Ehrenfest → mouvement classique du centre du paquet d’ondes © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 14 Aspect probabiliste Vision plus correcte : diffusion quantique impureté 2007 Pour améliorer la description semi-classique, on ajoute un caractère probabiliste aux collisions. Les probabilités de diffusion peuvent être : • ajustées sur des expériences • calculées dans un modèle quantique (règle d’or de Fermi) © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 15 Formulation de la théorie semi-classique Relations de dispersion ou masses effectives vitesse, réponse à un champ électrique Sections efficaces de collision sur défauts et phonons Collisions indépendantes (pas de cohérence de phase) 2007 Equation de Boltzmann pour la fonction de distribution f(n,k,r) des électrons : © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 16 Exemple : transistor MOSFET Metal-Oxyde-Semiconductor Field Effect Transistor Grille oxyde < 1 nm Source 2007 Drain LG = qq. dizaines de nm BOX (S. Martinie, CEA/LETI) Impuretés, défauts … Electron © CEA 2008. Tous droits réservés. 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Triozon 18 Diagramme de bandes « Source » silicium dopé N canal controlé par l’électrode de « grille » silicium pur ou dopé P « Drain » silicium dopé N e- 2007 bande interdite 1.1 eV © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 19 Simulation (logiciel commercial) 0.4 VGS = 0.05 V 0.2 e- VGS = 0.7 V 0 V (Volt) potentiel -eV(x) en eV 2007 VDS = 0.05 V -0.2 transport diffusif (impuretés, phonons) -0.4 -0.6 VDS = 0.7 V -0.8 0 0.02 0.04 0.06 0.08 (S. Martinie, CEA/LETI) 0.1 0.12 0.14 0.16 x (m) © CEA 2008. Tous droits réservés. 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Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 21 Aperçu de la simulation pour l’électronique TCAD : Technology Computer-Aided Design Transport électronique dans le dispositif unique (transistor, diode) Procédés (implantation de dopants, lithographie, …) Simulation de circuits : quelques transistors plusieurs milliers Electromagnétisme (couplages parasites) 2007 Forte compétence au CEA-LETI. Lien avec les dispositifs réalisés en salle blanche. Longueur des transistors étudiés : < 20 nm la théorie semi-classique atteint ses limites © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 22 Partie II Théorie quantique du transport électronique 2007 © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 23 Pour décrire quels phénomènes ? Transport dans des matériaux non massifs : interfaces entre matériaux (exemple : électrode/canal) dimensions nanométriques Cohérence quantique : basse température et/ou dimensions nanométriques 2007 Mêmes phénomènes quantiques que précédemment, mais on ne peut plus les cacher dans quelques paramètres. Ces phénomènes dépendent fortement du système : matériaux, géométrie, … © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 24 Bref historique 2007 Effet tunnel à travers une couche mince isolante (années 60) Conductance d’un système 1D connecté à des réservoirs formule de Landauer, quantum de conductance (1957) Fonctions de Green hors-équilibre (Keldysh, 1965) appliquées au transport : Caroli et al., J. Phys. C 1971 Conductance « multi-canaux » de Landauer-Büttiker : M. Büttiker et al., Phys. Rev. B 1985 Idée : système petit et/ou quantiquement cohérent connecté à des réservoirs (électrodes de mesure) Intérêt fondamental. Physique « mésoscopique ». © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 25 Canal 1D idéal connecté à des réservoirs V S D contacts « transparents » Energie S D=-eV D 2007 Courant ? limité par le principe de Pauli compensation du courant © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 26 E(k) Calcul du courant Densité d’états de vitesse > 0 par unité de longueur et d’énergie : avec (vitesse) -p/a S D k p/a Densité par unité de longueur, dans l’intervalle d’énergie [D,S] : 2007 D’où le courant : Quantum de conductance © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 27 Où a lieu la dissipation ? Canal idéal (balistique) l’électron n’y cède pas d’énergie E eS D trou 2007 La dissipation a lieu dans les réservoirs © CEA 2008. Tous droits réservés. 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Triozon 29 Illustration Gaz d’électrons confiné sur une bande de largeur nanométrique. Analogue à un guide d’ondes. 1 énergie 1 ou plusieurs modes transverses 2007 E(k) A cette énergie : 3 modes de vitesse positive k © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 30 Barrière tunnel 2007 © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. 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Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 36 Interactions 2007 Il existe un formalisme plus général (fonctions de Green hors-équilibre, « NEGF ») qui permet en principe de traiter les interactions dans le canal : électron-phonon électron-électron Introduit par Caroli et al., J. Phys. C 1971 pour calculer les courants tunnel. C’est une méthode perturbative. Nombreuses variantes selon le système étudié. © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 37 Partie III Développements actuels 2007 © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 38 Nanotubes de carbone : introduction (5,5) E Nombre de canaux : k 2007 métallique © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 39 Nanotubes de carbone : introduction (8,0) Nombre de canaux : E 2007 k semi-conducteur © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 40 Simulation d’un transistor FET à nanotube nanotube semi-conducteur grille coaxiale source e- drain 2007 Equation de Poisson potentiel électrostatique V(r) → modification du hamiltonien → calcul de la densité de charge r(r) (Schrödinger méthode Green) Une fois l’autocohérence atteinte, on calcule le courant © CEA 2008. Tous droits réservés. 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Triozon 42 Exemple : FET à contacts Schottky VDS = 0.5 V FB VG = 0.6 V électrons 2007 Remarque : forte dispersion des données expérimentales : la hauteur de barrière dépend du contact et de son environnement (cf. expériences DRECAM) Forum Théorie 2008 - F. Triozon © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA 43 Quelques difficultés théoriques 2007 Besoin d’hamiltoniens réalistes pour les interfaces (contacts métal/nanotube), les dopants, les défauts… apport des calculs de structure électronique ab initio (fonctionnelle de la densité : DFT) Transistor fort champ électrique modification non triviale de la structure électronique Couplage électron-phonon calculs lourds Système hors-équilibre la DFT n’est pas fiable. Recherches théoriques sur la « Time-Dependent DFT » appliquée au transport © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. 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Lien avec travaux expérimentaux du DRECAM © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 46 Couplage électron-phonon Les phonons optiques ouvrent un gap dans les nanotubes métalliques forte influence sur la conductance non traitable par une méthode perturbative lourd ! 2007 L. Foa Torres et S. Roche, PRL 2006 (DSM/INAC) © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. 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Blaise) Dynamique moléculaire : diffusion de dopants (INAC/L_Sim), croissance de nanotubes (DRECAM) Chimie quantique Etats excités, spectroscopie, propriétés optiques des nano-objets © CEA 2008. Tous droits réservés. Toute reproduction totale ou partielle sur quelque support que ce soit ou utilisation du contenu de ce document est interdite sans l’autorisation écrite préalable du CEA All rights reserved. Any reproduction in whole or in part on any medium or use of the information contained herein is prohibited without the prior written consent of CEA Forum Théorie 2008 - F. Triozon 49 Conclusion Les logiciels de simulation actuels deviennent limités pour l’électronique aux petites dimensions 2007 Diversité des nouveaux matériaux + complexité de la physique les logiciels pour la nano-électronique sont difficiles à mettre au point Les données expérimentales deviennent nombreuses bons tests pour les modèles. Il faut faire de la science. © CEA 2008. Tous droits réservés. 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