LaAlO3 amorphe déposé par Évaporation par Jets Moléculaires sur

Année : 2011 N° d’ordre : 2011-ISAL-0051
INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES
APPLIQUÉES DE LYON
THÈSE
Présentée publiquement en vue de l’obtention du grade de :
DOCTEUR DE L'INSTITUT NATIONAL DES
SCIENCES APPLIQUÉES DE LYON
École Doctorale : Électronique, Électrotechnique, Automatique
Spécialité : Dispositifs de l'Électronique Intégrée
Par :
Sylvain PELLOQUIN
LaAlO3 amorphe déposé par Épitaxie par Jets
Moléculaires sur silicium comme alternative
pour la grille high-κ des transistors CMOS
Thèse préparée au sein de l’INL – Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
& École Centrale de Lyon
Soutenue le 9 décembre 2011 devant la commission d’examen :
M. Gilles REIMBOLD HDR, CEA-Leti, Grenoble Rapporteur
M. Christophe VALLÉE Prof., UJF-LTM, Grenoble Rapporteur
M. Bernard CHENEVIER DR, LMGP-CNRS, Grenoble Examinateur
M. Mickaël GROS-JEAN Ingénieur R&D, STMicroelec., Crolles Examinateur
M. Guy HOLLINGER DR, INL-CNRS, Écully Directeur de thèse
Mme Carole PLOSSU Prof., INL-INSA, Villeurbanne Directeur de thèse
M. Clément MERCKLING CR, IMEC, Leuven Invité
M. Nicolas BABOUX MCf, INL-INSA, Villeurbanne Invité
M. Guillaume SAINT-GIRONS HDR, INL-CNRS, Écully Invité
Cette thèse est accessible à l'adresse : http://theses.insa-lyon.fr/publication/2011ISAL0051/these.pdf
© [S. Pelloquin], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés

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Année : 2011 N° d’ordre : 2011-ISAL-0005
INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES
APPLIQUÉES DE LYON
THÈSE
Présentée publiquement en vue de l’obtention du grade de :
DOCTEUR DE L'INSTITUT NATIONAL DES
SCIENCES APPLIQUÉES DE LYON
École Doctorale : Électronique, Électrotechnique, Automatique
Spécialité : Dispositifs de l'Électronique Intégrée
Par :
Sylvain PELLOQUIN
LaAlO3 amorphe déposé par Épitaxie par Jets
Moléculaires sur silicium comme alternative
pour la grille high-κ des transistors CMOS
Thèse préparée au sein de l’INL – Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
& École Centrale de Lyon
Soutenue le 9 décembre 2011 devant la commission d’examen :
M. Gilles REIMBOLD HDR, CEA-Leti, Grenoble Rapporteur
M. Christophe VALLÉE Prof., UJF-LTM, Grenoble Rapporteur
M. Bernard CHENEVIER DR, LMGP-CNRS, Grenoble Examinateur
M. Mickaël GROS-JEAN Ingénieur R&D, STMicroelec., Crolles Examinateur
M. Guy HOLLINGER DR, INL-CNRS, Écully Directeur de thèse
Mme Carole PLOSSU Prof., INL-INSA, Villeurbanne Directeur de thèse
M. Clément MERCKLING CR, IMEC, Leuven Invité
M. Nicolas BABOUX MCf, INL-INSA, Villeurbanne Invité
M. Guillaume SAINT-GIRONS HDR, INL-CNRS, Écully Invité
Cette thèse est accessible à l'adresse : http://theses.insa-lyon.fr/publication/2011ISAL0051/these.pdf
© [S. Pelloquin], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés

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INSA Direction de la Recherche - Ecoles Doctorales – Quinquennal 2011-2015
SIGLE
ECOLE DOCTORALE
NOM ET COORDONNEES DU RESPONSABLE
CHIMIE
CHIMIE DE LYON
http://www.edchimie-lyon.fr
Insa : R. GOURDON
M. Jean Marc LANCELIN
Université de Lyon – Collège Doctoral
Bât ESCPE
43 bd du 11 novembre 1918
69622 VILLEURBANNE Cedex
Tél : [phone]
[e-mail]
E.E.A.
ELECTRONIQUE,
ELECTROTECHNIQUE, AUTOMATIQUE
http://edeea.ec-lyon.fr
Secrétariat : M.C. HAVGOUDOUKIAN
[email protected]r
M. Gérard SCORLETTI
Ecole Centrale de Lyon
36 avenue Guy de Collongue
69134 ECULLY
Tél : [phone] Fax : [phone]
Gerard.scorl[email protected]
E2M2
EVOLUTION, ECOSYSTEME,
MICROBIOLOGIE, MODELISATION
http://e2m2.universite-lyon.fr
Insa : H. CHARLES
Mme Gudrun BORNETTE
CNRS UMR 5023 LEHNA
Université Claude Bernard Lyon 1
Bât Forel
43 bd du 11 novembre 1918
69622 VILLEURBANNE Cédex
Tél : [phone]
[e-mail]
EDISS
INTERDISCIPLINAIRE SCIENCES-
SANTE
http://ww2.ibcp.fr/ediss
Sec : Safia AIT CHALAL
Insa : M. LAGARDE
M. Didier REVEL
Hôpital Louis Pradel
Bâtiment Central
28 Avenue Doyen Lépine
69677 BRON
Tél : [phone] Fax :[phone]
[e-mail]
INFOMATHS
INFORMATIQUE ET
MATHEMATIQUES
http://infomaths.univ-lyon1.fr
M. Johannes KELLENDONK
Université Claude Bernard Lyon 1
LIRIS - INFOMATHS
Bâtiment Nautibus
43 bd du 11 novembre 1918
69622 VILLEURBANNE Cedex
Tél : [phone] Fax [phone]
[e-mail]
Matériaux
MATERIAUX DE LYON
M. Jean-Yves BUFFIERE
Secrétaire : Mériem LABOUNE
INSA de Lyon
École Doctorale Matériaux
Mériem LABOUNE
Bâtiment Antoine de Saint-Exupéry
25bis Avenue Jean Capelle
69621 VILLEURBANNE
Tel : [phone]
Fax : [phone]
[e-mail]
MEGA
MECANIQUE, ENERGETIQUE, GENIE
CIVIL, ACOUSTIQUE (ED n°162)
M. Philippe BOISSE
Secrétaire : Mériem LABOUNE
Adresse :
INSA de Lyon
École Doctorale MEGA
Mériem LABOUNE
Bâtiment Antoine de Saint-Exupéry
25bis Avenue Jean Capelle
69621 VILLEURBANNE
Tel : [phone]
Fax : [phone]
[email protected]r
Site web : http://www.ed-mega.com
ScSo
ScSo*
M. OBADIA Lionel
Sec : Viviane POLSINELLI
Insa : J.Y. TOUSSAINT
M. OBADIA Lionel
Université Lyon 2
86 rue Pasteur
69365 LYON Cedex 07
Tél : [phone] Fax : [phone]
[e-mail]
*ScSo : Histoire, Geographie, Aménagement, Urbanisme, Archéologie, Science politique, Sociologie, Anthropologie
Cette thèse est accessible à l'adresse : http://theses.insa-lyon.fr/publication/2011ISAL0051/these.pdf
© [S. Pelloquin], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés