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IV - Les techniques d’analyse
Les techniques expérimentales
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Analyse chimique élémentaire
en volume
(globale) localisée
ponctuelle
en surface
microanalyse
« nanoanalyse »
atomique
chimie
fluorescence X
spectrométries :
- d’émission
-d’absorption
analyseurs de gaz
mm
3
au cm
3
µ
µµ
µ
m
3
nm
3
atome
en profondeur
1 à 10nm
profils de concentration
EPMA
MEB-EDS
Auger STEM
EELS
sonde atomique
STM-AFM
Auger
XPS
SIMS
HREELS
SIMS
SDL
RBS
méthodes
physiques
méthodes
chimiques
réactions
chimiques interactions
physiques
traces
ppb ppt
ICP
Abs. atomique
environnement
et liaison
chimique
Infra-rouge
Raman
RMN
Exaf
DNPA…
3
en volume
(globale) localisée
ponctuelle
en surface
microanalyse
« nanoanalyse »
atomique
chimie
fluorescence X
spectrométries :
- d’émission
-d’absorption
analyseurs de gaz
mm
3
au cm
3
µ
µµ
µ
m
3
nm
3
atome
en profondeur
1 à 10nm
profils de concentration
EPMA (WDS)
MEB-EDS
STEM
EELS
sonde atomique
STM-AFM
Auger
XPS
SIMS
HREELS
SIMS
SDL
RBS
méthodes
physiques
méthodes
chimiques
réactions
chimiques interactions
physiques
traces
ppb ppt
ICP
Abs. atomique
environnement
et liaison
chimique
Infra-rouge
Raman
RMN
Exaf
DNPA…
4
Analyse chimique globale
1) Spectrométrie de fluorescence X
Philips DX95
Philips PW2400
5
Principe de la technique :
ionisation de la cible par
un faisceau monochromatique
de rayons X
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