Conception technologique et modélisations de réseaux de

N° d’ordre : 3229
THESE
Présentée à
L’UNIVERSITE DES SCIENCES ET TECHNOLOGIES DE LILLE
Pour obtenir le titre de
DOCTEUR DE L’UNIVERSITE
Discipline : Electronique
Par
Rachid BOUTOUDJ
Conception technologique et modélisations de réseaux
de micropointes à émission par effet de champ
sur matériau GaAs
Soutenue le 29 novembre 2002 devant la Commission d’Examen :
Membres du Jury :
Mr. C. DRUON Professeur à l’Université de Lille I Président
Melle F. DUCROQUET Chargée de Recherches au CNRS (INSA-Lyon) Rapporteur
Mr J. BOUGDIRA Professeur à l’Université de Nancy I Rapporteur
Mr P. WALLER Ingénieur à l’Agence Spatiale Européenne (Pays-Bas) Examinateur
Mr L. BUCHAILLOT Chargé de Recherches CNRS Examinateur
Mr. A. VANOVERSCHELDE Professeur à l’Université de Lille I Directeur de thèse
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Thèse de Rachid Boutoudj, Lille 1, 2002

A mes parents,
mes sœurs et frères.
Avec toute mon affection.
A tous mes amis du Nord
de la France et de Kabylie.
Pour leur soutien.
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« Les gens sont comme des vitraux. Ils brillent tant qu’il fait soleil,
mais, quand vient l’obscurité, leur beauté n’apparaît que s’ils sont
éclairés de l’intérieur. » Elisabeth Kubler-Ross.
« Vous savez, je suis né dans un petit village perdu dans la montagne
où les joies de nos cœurs et l’élan de nos esprits sont à la mesure
de nos horizons qui rencontrent tout de suite le ciel.
Seules peut-être nos misères y sont infinies, mais qu’est ce que
les misères du corps auprès de celles de l’esprit. »
Extrait du roman « Le sommeil du juste » de M.Mammeri
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Remerciements
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Remerciements
L’ensemble du travail présenté dans ce mémoire a été effectué au Département
Hyperfréquences et Semiconducteurs de l’Institut d’Electronique, de Microélectronique et de
Nanotechnologie (IEMN) dirigé par Monsieur le Professeur A. Cappy.
Monsieur le Professeur C. Druon, me fait l’honneur de présider la commission
d’examen et de juger ce travail ; qu’il trouve ici l’expression de ma profonde reconnaissance.
Monsieur le Professeur A. Vanoverschelde m’a proposé ce sujet de recherches en
m’accueillant au sein de son équipe « Microcathode froides » et en a assuré la direction. Je lui
exprime ma profonde gratitude pour sa grande générosité et ses multiples encouragements. Ce
travail n’aurait pu aboutir sans sa forte contribution et ses qualités scientifiques et humaines.
Mademoiselle F. Ducroquet, chargée de recherches au CNRS et Monsieur J. Bougdira,
Professeur au LPMI de l’Université de Nancy I, me font l’honneur de juger ce travail. Qu’ils
en soient ici remerciés.
Mes remerciements s’adressent également à Monsieur P. Waller, Ingénieur
Hyperfréquence à l’Agence Spatiale Européenne et à Monsieur L. Buchaillot, Chargée de
Recherches au CNRS et responsable de l’équipe Microsystèmes Silicium qui me font
l’honneur de juger ce travail en tant qu’examinateurs.
Ce travail n’aurait pu aboutir sans la contribution et la disponibilité des membres de
la centrale de Technologie. Je remercie plus particulièrement, C. Legrand, A. Leroy, C.
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Remerciements
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Boyaval, M. Muller, M. François, J-C Pesant ainsi que le personnel de l’épitaxie.
J’adresse également ma reconnaissance à Monsieur P. Armant pour sa grande disponibilité et
son dévouement et à Madame J. Louchard pour avoir assuré la reproduction de ce mémoire.
Je remercie infiniment P. Fall pour les nombreuses et fructueuses discussions que nous avons
eues et pour avoir été un fidèle compagnon tout au long de nos déambulations dans le monde
mystérieux des micropointes.
L’accomplissement de ma thèse à l’IEMN aura été un parcours inoubliable surtout sur le plan
humain où j’ai pu côtoyer d’agréables personnes notamment au sein de l’’équipe de Football.
Je voudrais remercier vivement toutes les personnes du cercle de l’équipe de Foot (S. Bollaert
A. Ebongué, T. Heim, M. Roger, Y Hernandez, C. Lethien., A. Elmoussati, Y. Guhel, T.
Heim, M. Zegaoui., D Lauvernier, O. Rasson, J. Harari). J’adresse également mes
remerciements à toutes les personnes suivantes du laboratoire avec qui j’ai pu passer
d’agréables moments : M. Boudrissa, M. Werquin, N. Vellas, L. Breuil, K. Ziouche, V.
Thomy, J. Carlier, M. Boutchich et V. Agache.
Je remercie également toutes les personnes du laboratoire qui de près ou de loin ont pu
contribuer à l’aboutissement de ce travail (T. Heim, E. Paleczny, O. Yaradou, D. Bernard, S.
Sylvestre, M. Zaknoune)
Plus particulièrement je tiens à saluer chaleureusement toutes les personnes suivantes de mon
entourage qui ont toujours su être à mes côtés tout au long de mes études universitaires :
Ma famille : Pour m’avoir encouragé à aller à la rencontre de mon étoile et pour n’avoir
jamais douté de moi. Que mes parents, mes frères et sœurs trouvent ici l’expression de mon
indéfectible profond amour.
Milou et Myriam : Leur bonté est exceptionnelle. Ils m’ont ouvert la porte de leur demeure
et celle de leur cœur dés mes premiers pas en France. Quelques modestes lignes ne suffiront
pas à les remercier car ils m’ont donné l’inestimable. Je leur fais part de ma plus profonde
gratitude.
Sidonie et Nicolas Davril : Leur rencontre m’a ouvert bien des portes et m’a
considérablement enrichi. Ils répandent autour d’eux un parfum d’amour, d’amitié et de
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