Plateformes Technologiques / Technology Facilities
The SPATIAL facility also includes various measurement
benches dedicated to static, dynamical and operational
characterization of MOEMS or small optical systems,
with the possibility of working in severe environment
(vacuum and 30K cryogenic conditions).
POLARIS
Cette plateforme rassemble des moyens de production (jusqu’à
2,5m) et de métrologie optique (interféromètres, tunnel et
tours optiques) dédiés à la réalisation d’optiques asphériques
de haute qualité, ainsi qu’un ensemble de moyens de
calibration optique (interférométrie, spectrophotométrie) de
haut niveau, de l’ultraviolet à l’infrarouge, en environnement
contrôlé (ISO5 à ISO8).
Salles propres
Enfin, une partie de l’ensemble de 600m² de salles propres
(ISO5 à ISO8) équipées de tables optiques isolées et des
outillages standards pour le travail en environnement
classé, est également à disposition des laboratoires et
industriels.
POLARIS
The POLARIS facility gathers a series of optical
manufacturing and polishing machines (up to 2,5m
diameter) and metrology facility (interferometer, optical
towers and tunnel) to develop high quality aspherical
optics, together with a group of high-level equipment for
optical calibration (interferometry, spectrophotometry),
from ultraviolet to near infrared, and in a controlled
environment (ISO5 to ISO8).
Clean rooms
Finally, a part of the 600m2 of clean rooms (ISO5, ISO7
and ISO8), equipped with optical tables and dedicated
tools, is also available to laboratories and industries.
La plateforme SPATIAL comporte également une suite de
moyens de caractérisation de composants MOEMS, en
conditions statique, dynamique et opérationnelle, avec
possibilité de travailler en environnement sévère (vide et
cryogénie 30K).
© LAM/CNRS_photothèque
Banc de caractérisation MOEMS /
MOEMS characterization bench - ©LAM/CNRS_photothèque
Micro-fentes
programmables
MOEMS
programmable slits
© LAM / EPFL
Polissage actif d’un miroir parabolique de 1,2 m /
Active polishing of a 1.2 m parabolic mirror
POLARIS
Chiffres clés / Key figures
• Diamètre de polissage / Polishing diameter: jusqu’à / up to 2.5 m
• Tunnel et tours optiques / Optical tunnel and towers:
25 m long - 9 m haut / high
• Métrologie optique / Optical metrology: 70 nm - 3 µm
© LAM/CNRS_photothèque
© LAM/CNRS_photothèque
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