Systeme de micro-nano-lithographie pour microscope électronique à balayage Le système de lithographie souhaité est un générateur de balayage qui doit permettre de contrôler la déviation du faisceau d’électrons de façon précise. Cet équipement permettra « l’écriture » électronique sur des résines électrosensibles déposées sur des substrats, de taille et forme variées (de 10x10mm à 100x100 mm). En particulier, cet équipement permettra de réaliser des motifs de dimension critique 100 à 200 nm dans des couches de résine PMMA sur substrats. Le kit devra comprendre à la fois : - le générateur de motifs pour piloter le faisceau électronique ; - le logiciel (avec licences ON et OFF-line) pour dessiner les masques, programmer les séquences d’insolation, observer et mesurer les résultats obtenus,… ; Descriptif technique du générateur : Le système de nanolithographie devra posséder au minimum les caractéristiques suivantes (liste non exhaustive): - Deux convertisseurs pour déflexion principale du faisceau permettant une vitesse d’adressage de 6 MHz, - Six convertisseurs complémentaires pour calibration de champ et alignement multi-niveaux (l’intérêt de ces convertisseurs est de corriger les champs en zoom, shift et rotation, et ainsi de conserver l’intégralité de la résolution 16 bits des convertisseurs principaux pour l’écriture), - Un convertisseur ADC 12 bits pour conversion de signal vidéo (acquisition d’images et reconnaissance de marques) Performances du logiciel : Le logiciel de contrôle devra posséder les caractéristiques suivantes : - Logiciel de contrôle sous environnement multi-utilisateurs, - Editeur de fichier GDSII hiérarchisé comprenant jusqu’à 63 niveaux, - Possibilité d’importer des fichiers DXF, ASCII, CIF, - Contrôle des paramètres du MEB et automatisation les tâches (procédures dites « step-and-repeat ») par des commandes simples telles que « drag and drop », - Module de calcul de la durée d’insolation, - Fonctionnalités de métrologie intégrées, - Le logiciel devra pouvoir être implémenté d’un module de correction des effets de proximité. Ce module sera proposé en option. Le système sera contrôlé par un logiciel fonctionnant sous Windows 7 Une documentation complète sera également fournie Cet équipement sera installé sur un Microscope LEO S-440 par le fournisseur, qui effectuera les tests de réception technique. Ces tests seront décrits dans la réponse à l’avis de publicité. Par ailleurs le fournisseur dispensera une formation complète d’au minimum 2 jours aux utilisateurs.