CdC Kit lithographie

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Systeme de micro-nano-lithographie pour microscope électronique à balayage
Le système de lithographie souhaité est un générateur de balayage qui doit
permettre de contrôler la déviation du faisceau d’électrons de façon précise.
Cet équipement permettra « l’écriture » électronique sur des résines électrosensibles
déposées sur des substrats, de taille et forme variées (de 10x10mm à 100x100 mm).
En particulier, cet équipement permettra de réaliser des motifs de dimension critique
100 à 200 nm dans des couches de résine PMMA sur substrats.
Le kit devra comprendre à la fois :
- le générateur de motifs pour piloter le faisceau électronique ;
- le logiciel (avec licences ON et OFF-line) pour dessiner les masques,
programmer les séquences d’insolation, observer et mesurer les résultats
obtenus,… ;
Descriptif technique du générateur :
Le système de nanolithographie devra posséder au minimum les caractéristiques
suivantes (liste non exhaustive):
- Deux convertisseurs pour déflexion principale du faisceau permettant une
vitesse d’adressage de 6 MHz,
- Six convertisseurs complémentaires pour calibration de champ et alignement
multi-niveaux (l’intérêt de ces convertisseurs est de corriger les champs en
zoom, shift et rotation, et ainsi de conserver l’intégralité de la résolution 16 bits
des convertisseurs principaux pour l’écriture),
- Un convertisseur ADC 12 bits pour conversion de signal vidéo (acquisition
d’images et reconnaissance de marques)
Performances du logiciel :
Le logiciel de contrôle devra posséder les caractéristiques suivantes :
- Logiciel de contrôle sous environnement multi-utilisateurs,
- Editeur de fichier GDSII hiérarchisé comprenant jusqu’à 63 niveaux,
- Possibilité d’importer des fichiers DXF, ASCII, CIF,
- Contrôle des paramètres du MEB et automatisation les tâches (procédures
dites « step-and-repeat ») par des commandes simples telles que « drag and
drop »,
- Module de calcul de la durée d’insolation,
- Fonctionnalités de métrologie intégrées,
- Le logiciel devra pouvoir être implémenté d’un module de correction des effets
de proximité. Ce module sera proposé en option.
Le système sera contrôlé par un logiciel fonctionnant sous Windows 7
Une documentation complète sera également fournie
Cet équipement sera installé sur un Microscope LEO S-440 par le fournisseur, qui
effectuera les tests de réception technique. Ces tests seront décrits dans la réponse
à l’avis de publicité.
Par ailleurs le fournisseur dispensera une formation complète d’au minimum 2 jours
aux utilisateurs.
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