
CARACTÉRISATION DU
DÉGAZAGE DES MATÉRIAUX
Il est communément admis que les matériaux employés dans la fabrication de composants électroniques 
influencent fortement leur fiabilité. La stabilité de ces matériaux au cours du temps peut avoir un impact 
important sur l’efficacité des composants à moyen et long termes. De manière à répondre à ce problème, 
ORS a développé une technique permettant d’isoler et de caractériser les substances dégazées d’une 
grande variété de matériaux.
La méthode consiste à sceller le matériau au sein 
d’une ampoule de verre après avoir remplacé son 
atmosphère par de l’azote sec, de l’hélium, un 
mélange de différents gaz ou encore le vide.
L’ampoule et son contenu sont placés à l’étuve et 
exposés à un stress thermique. Sous l’effet de la 
chaleur, le matériau dégaze et les substances ainsi 
désorbées sont emprisonnées dans l’ampoule. 
L’analyse de ces substances peut être effectuée par 
un test IVA ou bien par une technique de couplage 
chromatographie / spectrométrie de masse (GC/MS).
En sélectionnant différentes conditions de temps et de 
température, il est possible de modéliser le profile de 
dégazage du matériau aussi bien pour des conditions 
standards que sur du long terme.
Même si le test de dégazage des matériaux a été imaginé pour les fabricants de composants 
microélectronique et optoélectroniques, son large champ d’application en fait un outil performant 
répondant aux besoins d’une communauté bien plus vaste.
La compréhension et la prévention des problèmes survenant au cours de la vie du produit sont d’une 
grande importance et chaque constituant requiert une attention toute particulière: efficacité des getters, 
polymérisation et contenu en eau des époxys, contenu en hydrogène des boîtiers en Kovar, produits de 
réactions chimiques ou encore traitements précédant le scellement.
Chaque étape de développement est concernée, de la Recherche à la Production en passant par 
l’analyse de défaillance et par le contrôle qualité d’une manière générale.
Le test de caractérisation du dégazage des matériaux développé par ORS est une 
analyse qualitative et quantitative des substances gazeuses désorbées d’un matériau 
suite à un vieillissement. Il fournit les concentrations volumétriques relatives de toutes les 
substances dégazées.
                      les matériaux et fournisseurs 
des différents constituants du produit afin 
de respecter les spécifications finales
Comparer
les spécifications des 
fournisseurs et les procédures de prépa- 
ration des matériaux avant assemblage
Valider
   la stabilité des matériaux 
après des tests tels que burn-in, cyclage 
thermique et tests environnementaux 
afin d’en modéliser le comportement in 
situ.
Caractériser
Investiguer
OP
1 - préparation des échantillons
      suivant directives client :
      nettoyage, coupe, …
2 - scellement de l’échantillon dans l’ampoule
      sous atmosphère controlée (N , He,mélange)
2 
      ou sous vide
4 - caractérisation des substances
       désorbées via un test IVA
3 - passage à l’étuve (différents temps
      & températures) provoque le
      dégazage dans l’enceinte de l’ampoule
L  = 25 mm
max
l  = 12 mm
max
m/z
intensité
Kovar
                       les origines possible de la 
défaillance par l’analyse individuelle de 
chaque matériaux utilisé dans la fabrication 
du composant afin d’en déterminer leur 
contribution respective