OP CARACTÉRISATION DU DÉGAZAGE DES MATÉRIAUX Le test de caractérisation du dégazage des matériaux développé par ORS est une analyse qualitative et quantitative des substances gazeuses désorbées d’un matériau suite à un vieillissement. Il fournit les concentrations volumétriques relatives de toutes les substances dégazées. Il est communément admis que les matériaux employés dans la fabrication de composants électroniques influencent fortement leur fiabilité. La stabilité de ces matériaux au cours du temps peut avoir un impact important sur l’efficacité des composants à moyen et long termes. De manière à répondre à ce problème, ORS a développé une technique permettant d’isoler et de caractériser les substances dégazées d’une grande variété de matériaux. La méthode consiste à sceller le matériau au sein d’une ampoule de verre après avoir remplacé son atmosphère par de l’azote sec, de l’hélium, un mélange de différents gaz ou encore le vide. L’ampoule et son contenu sont placés à l’étuve et exposés à un stress thermique. Sous l’effet de la chaleur, le matériau dégaze et les substances ainsi désorbées sont emprisonnées dans l’ampoule. L’analyse de ces substances peut être effectuée par un test IVA ou bien par une technique de couplage chromatographie / spectrométrie de masse (GC/MS). En sélectionnant différentes conditions de temps et de température, il est possible de modéliser le profile de dégazage du matériau aussi bien pour des conditions standards que sur du long terme. Lmax = 25 mm lmax = 12 mm 1 - préparation des échantillons suivant directives client : nettoyage, coupe, … 2 - scellement de l’échantillon dans l’ampoule sous atmosphère controlée (N2, He, mélange) ou sous vide intensité m/z 3 - passage à l’étuve (différents temps & températures) provoque le dégazage dans l’enceinte de l’ampoule 4 - caractérisation des substances désorbées via un test IVA Même si le test de dégazage des matériaux a été imaginé pour les fabricants de composants microélectronique et optoélectroniques, son large champ d’application en fait un outil performant répondant aux besoins d’une communauté bien plus vaste. La compréhension et la prévention des problèmes survenant au cours de la vie du produit sont d’une grande importance et chaque constituant requiert une attention toute particulière: efficacité des getters, polymérisation et contenu en eau des époxys, contenu en hydrogène des boîtiers en Kovar, produits de réactions chimiques ou encore traitements précédant le scellement. Chaque étape de développement est concernée, de la Recherche à la Production en passant par l’analyse de défaillance et par le contrôle qualité d’une manière générale. Valider Comparer les spécifications des fournisseurs et les procédures de préparation des matériaux avant assemblage les matériaux et fournisseurs des différents constituants du produit afin de respecter les spécifications finales Investiguer Caractériser Kova r les origines possible de la défaillance par l’analyse individuelle de chaque matériaux utilisé dans la fabrication du composant afin d’en déterminer leur contribution respective la stabilité des matériaux après des tests tels que burn-in, cyclage thermique et tests environnementaux afin d’en modéliser le comportement in situ.