Etude de points mémoires non-volatiles haute densité pour les
N◦d’ordre 2009-ISAL-0116 Année 2009
Thèse
Etude de points mémoires non-volatiles haute densité
pour les technologies CMOS avancées 45nm et 32nm
présentée devant
L’Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
pour obtenir le grade de docteur
Ecole Doctorale EEA
Spécialité : Génie Électrique
par
Elodie Ebrard
Soutenue le 14/12/2009 devant la commission d’examen
Jury
Gérard Ghibaudo DR, IMEP-LAHC, Grenoble Président
Rachid Bouchakour PR, IM2NP, Marseille Rapporteur
Olivier Bonnaud PR, Université de Rennes Rapporteur
Philippe Candelier ING STMicroelectronics, Crolles Examinateur
Bruno Allard PR, Laboratoire Ampère INSA, Lyon Directeur de thèse
Patrice Waltz ING STMicroelectronics, Crolles Invité
Cette thèse est accessible à l'adresse : http://theses.insa-lyon.fr/publication/2009ISAL0116/these.pdf
© [E. Ebrard], [2009], INSA de Lyon, tous droits réservés
Cette thèse est accessible à l'adresse : http://theses.insa-lyon.fr/publication/2009ISAL0116/these.pdf
© [E. Ebrard], [2009], INSA de Lyon, tous droits réservés
INSA Direction de la Recherche
INSA Direction de la Recherche INSA Direction de la Recherche
INSA Direction de la Recherche -
--
- Ecoles Doctorales
Ecoles Doctorales Ecoles Doctorales
Ecoles Doctorales –
––
– Quadriennal
Quadriennal Quadriennal
Quadriennal 2007
20072007
2007-
--
-2010
20102010
2010
SIGLE ECOLE DOCTORALE NOM ET COORDONNEES DU RESPONSABLE
CHIMIE
CHIMIE DE LYON
http://sakura.cpe.fr/ED206
M. Jean Marc LANCELIN
Insa : R. GOURDON
M. Jean Marc LANCELIN
Université Claude Bernard Lyon 1
Bât CPE
43 bd du 11 novembre 1918
69622 VILLEURBANNE Cedex
Tél : 04.72.43 13 95 Fax :
E.E.A.
ELECTRONIQUE,
ELECTROTECHNIQUE, AUTOMATIQUE
http://www.insa-lyon.fr/eea
M. Alain NICOLAS
Insa : C. PLOSSU
ede2a@insa-lyon.fr
Secrétariat : M. LABOUNE
AM. 64.43 – Fax : 64.54
M. Alain NICOLAS
Ecole Centrale de Lyon
Bâtiment H9
36 avenue Guy de Collongue
69134 ECULLY
Tél : 04.72.18 60 97 Fax : 04 78 43 37 17
Secrétariat : M.C. HAVGOUDOUKIAN
E2M2
EVOLUTION, ECOSYSTEME,
MICROBIOLOGIE, MODELISATION
http://biomserv.univ-lyon1.fr/E2M2
M. Jean-Pierre FLANDROIS
Insa : H. CHARLES
M. Jean-Pierre FLANDROIS
CNRS UMR 5558
Université Claude Bernard Lyon 1
Bât G. Mendel
43 bd du 11 novembre 1918
69622 VILLEURBANNE Cédex
Tél : 04.26 23 59 50 Fax 04 26 23 59 49
06 07 53 89 13
EDISS
INTERDISCIPLINAIRE SCIENCES-
SANTE
Sec : Safia Boudjema
M. Didier REVEL
Insa : M. LAGARDE
M. Didier REVEL
Hôpital Cardiologique de Lyon
Bâtiment Central
28 Avenue Doyen Lépine
69500 BRON
Tél : 04.72.68 49 09 Fax :04 72 35 49 16
[email protected]ni-lyon1.fr
INFOMATHS
INFORMATIQUE ET
MATHEMATIQUES
http://infomaths.univ-lyon1.fr
M. Alain MILLE
Secrétariat : C. DAYEYAN
M. Alain MILLE
Université Claude Bernard Lyon 1
LIRIS - INFOMATHS
Bâtiment Nautibus
43 bd du 11 novembre 1918
69622 VILLEURBANNE Cedex
Tél : 04.72. 44 82 94 Fax 04 72 43 13 10
infomaths@bat710.univ-lyon1.fr - [email protected]
Matériaux
MATERIAUX DE LYON
M. Jean Marc PELLETIER
Secrétariat : C. BERNAVON
83.85
M. Jean Marc PELLETIER
INSA de Lyon
MATEIS
Bâtiment Blaise Pascal
7 avenue Jean Capelle
69621 VILLEURBANNE Cédex
Tél : 04.72.43 83 18 Fax 04 72 43 85 28
Jean-marc.Pelletier@insa-lyon.fr
MEGA
MECANIQUE, ENERGETIQUE, GENIE
CIVIL, ACOUSTIQUE
M. Jean Louis GUYADER
Secrétariat : M. LABOUNE
PM : 71.70 –Fax : 87.12
M. Jean Louis GUYADER
INSA de Lyon
Laboratoire de Vibrations et Acoustique
Bâtiment Antoine de Saint Exupéry
25 bis avenue Jean Capelle
69621 VILLEURBANNE Cedex
Tél :04.72.18.71.70 Fax : 04 72 43 72 37
ScSo
ScSo*
M. OBADIA Lionel
Insa : J.Y. TOUSSAINT
M. OBADIA Lionel
Université Lyon 2
86 rue Pasteur
69365 LYON Cedex 07
Tél : 04.78.69.72.76 Fax : 04.37.28.04.48
Lionel.Obadia@univ-lyon2.fr
*ScSo : Histoire, Geographie, Aménagement, Urbanisme, Archéologie, Science politique, Sociologie, Anthropologie
Cette thèse est accessible à l'adresse : http://theses.insa-lyon.fr/publication/2009ISAL0116/these.pdf
© [E. Ebrard], [2009], INSA de Lyon, tous droits réservés
Cette thèse est accessible à l'adresse : http://theses.insa-lyon.fr/publication/2009ISAL0116/these.pdf
© [E. Ebrard], [2009], INSA de Lyon, tous droits réservés
L’illogisme ne repose que sur l’absolu.
Aursus Andécurian
Cette thèse est accessible à l'adresse : http://theses.insa-lyon.fr/publication/2009ISAL0116/these.pdf
© [E. Ebrard], [2009], INSA de Lyon, tous droits réservés
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
33
34
35
36
37
38
39
40
41
42
43
44
45
46
47
48
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
59
60
61
62
63
64
65
66
67
68
69
70
71
72
73
74
75
76
77
78
79
80
81
82
83
84
85
86
87
88
89
90
91
92
93
94
95
96
97
98
99
100
101
102
103
104
105
106
107
108
109
110
111
112
113
114
115
116
117
118
119
120
121
122
123
124
125
126
127
128
129
130
131
132
133
134
135
136
137
138
139
140
141
142
143
144
145
146
147
148
149
150
151
152
153
154
155
156
157
158
159
160
161
162
163
164
165
166
167
168
169
170
171
172
173
174
175
176
177
178
179
180
181
182
183
184
185
186
187
1
/
187
100%
