Plate-forme Caractérisation CIM PACA

Plate-forme Caractérisation CIM PACA
Caractérisation des matériaux – Analyse de défaillance
Présentation et description des moyens disponibles
Avril 2014

•Présentation de la plate-forme
•Liste des équipements disponibles sur la plate-forme
•Fiches descriptives des équipements
Sommaire

•La plate-forme Caractérisation CIM PACA est localisée sur la Z.I. de ROUSSET (13790) dans les
Bouches-du-Rhône (France)
•Elle assure des prestations de service dans les domaines de:
–la caractérisation physico-chimique des matériaux
– l’analyse de défaillance des composants
•Ces prestations sont proposées:
–à ses Membres cotisants (Air Liquide Balazs – Aix Marseille Université – Atmel – Biophy
Research – IBS – Nexcis – Presto Engineering Europe – Probion Analysis – STMicroelectronics –
Tera Environnement)
–aux entités tierces non-membres sur demande (prestations extérieures)
•Les équipements de la plate-forme sont opérés par des spécialistes issus des Membres, ce qui
permet de réaliser des prestations complètes (avec fourniture d’un rapport d’analyse détaillé)
•La plate-forme bénéficie d’un agrément au titre du Crédit Impôt Recherche (CIR): en conséquence,
les travaux de R&D peuvent être pris en compte dans le cadre du crédit d’impôt recherche
•Pour plus d’informations, contacter:
Vincent GOUBIER – Directeur
Bureau: [phone] – Mobile: [phone]
E-mail: [e-mail]
Internet: www.pf-caracterisation.org
Présentation

Liste des équipements
Analyse chimique
Métrologie
Ultrapropreté
Analyse
physique Analyse de
défaillance
•D-SIMS Cameca IMS 7f
•ToF-SIMS ION-TOF 5
•Micro Auger PHI 700
•XPS Kratos Axis Nova
•Ellipsomètre/GXR Sopra GES5-GXR
•Profilomètre mécanique Alpha-Step IQ
•Profilomètre optique 3D Sensofar Neox
•AFM Veeco Dimension 3100 + modules
électriques SCM / SSRM / Extended-TUNA
•Micro Raman (LabRAM HR800 couplé à
un PSIA X100)
•VPD/ICP-MS IAS Expert / PerkinElmer
NexION 300S
•ATD/GC/MS PerkinElmer
•Wafer Outgassing System WOS 2000
PerkinElmer
•PTR/MS
•Banc de contamination organique
(banc de perméation + réacteur)
•Banc de contamination inorganique
Caractérisation
électrique
•FIB dual beam FEI Strata 400S
•FIB dual beam FEI Helios NanoLab 450S
•TEM FEI Titan 80-300
•TEM UHR FEI Titan 80-300 avec Cs corrigé
•SEM Hitachi S-4800
•Amincisseur ionique NanoMill 1040
•Testeur électrique Diamond D10
•Microscope à émission de lumière &
test par faisceaux lasers Meridian WaferScan
•Microscope à émission de lumière
dynamique EmiScope IIIt
•Station de nanoprobing Multiprobe
•Système nanoprobing sur SEM Kleindiek
•Thermographie infrarouge HR ELITE
•Décapsulation laser SESAME 1000
•Banc de test faible courant Cascade avec
instrumentation Agilent
•Banc de test d’électromigration Aetrium
•Wafer tester Semilab WT-2000

IMS 7f
D-SIMS
•La Spectroscopie de Masse d'Ions Secondaires (SIMS) est une technique d'analyse physico-chimique de
l'extrême surface à très grande sensibilité. Elle est basée sur la détection des ions secondaires produits sous
l'effet d'un bombardement d'ions primaires incidents qui érodent simultanément l’échantillon.
•Elle permet de faire des analyses élémentaires en profondeur en profil (du nm au micron en profondeur) sur des
solides avec une très grande sensibilité (du ppm au ppb selon les éléments). Il est possible notamment
d’analyser des distributions de dopants dans le silicium. C'est une méthode destructive.
•Concernant la résolution latérale, la taille minimale d'analyse est de l’ordre de 10*10 µm et dépend de la
concentration cherchée
•Principales caractéristiques:
– Petit échantillon (taille de l’ordre de 7mm*7mm)
–Haute résolution en masse (sépare 30SiH de P)
–Possibilité de travailler sur des zones localisées (< 50µm2 avec réduction de sensibilité)
–Bon vide ultime (spec 7e-10 mbar)
– Jusqu’à 500eV d’impact en O2+ (shallow B)
– Jusqu’à 3kV d’impact en Cs- ( As,P)
– Jusqu’à 500eV d’impact en Cs+
–Possibilité de fuite à oxygène pour réduire le transitoire de surface