TP Microscope Électronique à Balayage du 9 Mai 2011
Dans ce rapport, on effectuera une analyse du microscope électronique à balayage afin de
comprendre son fonctionnement général ; nous expliquerons l'utilité des différentes fonctions
principales. Les différents limites du MEB seront abordées. Enfin, nous terminerons par une
analyse de quelques échantillons observés au cours du TP.
Introduction
Les plus puissants microscopes optiques peuvent distinguer des détails d'environ 0,1 µm3. Si
l’on veut observer des détails plus fins, il faut diminuer la longueur d’onde qui éclaire les
cibles. Dans le cas des microscopes électroniques, on n’utilise pas des photons, mais des
électrons, dont les longueurs d’ondes associées sont beaucoup plus faibles.
I. Composition du MEB
Un microscope électronique à balayage est composé :
•D’un canon à électrons et d’une colonne électronique, dont la fonction est de produire
une sonde électronique fine sur l’échantillon
•D’une platine porte-objet permettant de déplacer l’échantillon dans les trois directions
•De détecteurs permettant de capter et d’analyser les rayonnements émis par
l’échantillon
L’appareil doit nécessairement être équipé d’un système de pompes à vide. On utilise une
pompe à diffusion afin d'effectuer un vidage secondaire.
II. Principe de fonctionnement du MEB
Un faisceau d'électrons (produit par un canon à électrons) est projeté et se déplace sur
l'échantillon à analyser. L'interaction entre la sonde et l'échantillon génère des électrons
appelés « secondaires » (Ceux-ci sont dotés d'une énergie basse). Ces derniers sont alors
accélérés vers un détecteur qui à pour rôle d'amplifier le signal électrique reçu (A chaque
point, l'intensité est convertit en un signal électrique). Les différentes particules sont analysées
par différents détecteurs qui permettent de reconstruire une image en trois dimensions de la surface.
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