Optimisation des potentialités d`un transistor LDMOS pour l

UNIVERSITE DE LIMOGES
ECOLE DOCTORALE Science − Technologie − Santé
FACULTE DES SCIENCES ET TECHNIQUES
Année : 2006 Thèse N° 61-2006
Thèse
pour obtenir le grade de
DOCTEUR DE L’UNIVERSITE DE LIMOGES
Discipline : “Electronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique”
présentée et soutenue par
Dorothée MULLER
le 12 Octobre 2006
OPTIMISATION DES POTENTIALITES D’UN
TRANSISTOR LDMOS POUR L’INTEGRATION
D’AMPLIFICATEUR DE PUISSANCE RF SUR
SILICIUM
Thèse dirigée par Raymond Quéré et Raphaël Sommet
JURY :
Président :
Mr le Professeur Michel CAMPOVECCHIO (Université de Limoges)
Rapporteurs :
Mr le Professeur Eric BERGEAULT (ENST Paris)
Mr le Professeur Jean-Michel FOURNIER (ENSERG)
Examinateurs :
Mr Raphaël SOMMET HDR (Université de Limoges)
Mr le Professeur Raymond QUERE (Université de Limoges)
Mr Bertrand SZELAG (STMicroelectronics)

Remerciements
Ces travaux de thèse ont été effectués dans le cadre d’une collaboration entre
STMicroelectronics (Crolles) et le Laboratoire de Recherche XLIM de Limoges. Je remercie
Marcel Roche de m’avoir accueillie dans l’équipe R&D RF BiCMOS de STMicroelectronics
ainsi que Raymond Quéré, Directeur du laboratoire XLIM, pour avoir accepté la collaboration
universitaire CIFRE.
Je remercie également Richard Fournel, Olivier Noblanc, Bertrand Szelag, Augustin
Monroy, Bruno Rauber et Laurence Boissonnet pour m’avoir offert l’opportunité d’un après-
thèse au sein de STMicroelectronics.
Je tiens particulièrement à remercier Monsieur Bertrand Szelag, responsable de la
filière BiCMOS7RF, pour la confiance qu’il m’a témoignée en acceptant l’encadrement
industriel de mes travaux, mais surtout pour sa sympathie et ses compétences qui m’ont aidée
à mener à bien ce travail.
Je suis très honorée de la présence à mon jury de thèse, et je tiens à remercier :
Monsieur Michel Campovecchio, Professeur à l’Université de Limoges, pour
l’honneur qu’il m’a fait en acceptant de présider mon jury de thèse.
Monsieur Jean-Michel Fournier, Professeur à l’ENSERG, et Monsieur Eric
Bergeault, Professeur à l’ENST Paris pour leurs participations à mon jury de thèse en
qualité de rapporteurs et pour toutes les remarques judicieuses qu’ils ont faites.
Monsieur Raphaël Sommet, chargé de recherche au C.N.R.S pour ses
nombreuses suggestions intéressantes pendant la rédaction du manuscrit.
Je tiens à exprimer ma reconnaissance aux membres permanents de
STMicroelectronics :
Monsieur Alexandre Giry pour sa disponibilité, son implication et les
nombreux moments où son aide fut précieuse tant pour le layout, les mesures HF et

load-pull (sur les bancs du CNET et de Brive) que pour l’écriture d’articles ou de mon
manuscrit.
Sans oublier Denis Pache, Augustin Monroy, Sébastien Jouan, Jocelyne
Mourier, Germaine Troillard, Fabienne Judong, Halim Bilgem, Christine Rossato,
Benjamin Oudet, Blandine Reynard, Guillaume Bertrand, François Dieudonné, Floria
Blanchet, Caroline Arnaud, Maxime Marchetti, Dominik Golanski sans leur travail et
leur aide mes travaux de thèse n’auraient pas pu se réaliser…
Je tiens également à remercier Laurence Boissonnet pour avoir relu mon
manuscrit à la recherche des fautes d’orthographes et également toutes les personnes
de filière R&D sans lesquelles l’ambiance dans le groupe ne serait pas aussi agréable.
Que les personnes non mentionnées veuillent bien m’en excuser. Encore Merci à
Tous !
Mes remerciements s’adressent également aux secrétaires Marie-Claude Lerouge,
Hélène Rivière et Chrystele Piccaretta qui me furent d’une grande aide pour régler de
nombreux détails administratifs.
Je remercie toutes celles et ceux que j’ai côtoyé pour les moments partagés durant ces
trois années que je cite comme ça pêle-mêle : le premier thésard du groupe entré dans la danse
Carlo, Fabien, Benoît B (merci pour cette virée aux urgences, mon pouce s’en souvient
encore ☺), Greg (le petit bonhomme en mousse et le roi du débug informatique...), Stéphane
B, Marie Rouge (The maillot de Bain du BCTM04 !), Anna, Aurélie, Boris, Carine, Pierre-
Marie, Nico G, Luc, Christophe (Coin-coin !), Jorge, Fadoua, Simon, Merryl, Jérémie,
Yannick et Amy, Stéphane C et Sophie, Christine, Fabienne, Emy (pour ta présence le jour J
et les autres aussi), Marie D, Nico S, Simon, Eva et Bern’.
Et pour finir je n’oublierai pas d’avoir une pensée pour mes parents et ma sœur…
☺
☺☺
☺ Dorothée vs. PhD: GAME OVER!!!! ☺
☺☺
☺

TABLE DES MATIERES