Détecteurs bolométriques THz Patrick Agnèse, François Simoens, Valerie Nguyen, Eric Mottin CEA-LETI 17 rue des Martyrs 38054 Grenoble cedex 9 Abstract - Until 1999, nowhere in the world could imagery systems based on bolometry for the detection of millimetric wave ambient temperature in atmospheric windows having central frequencies of 35, 94, 140, 220 GHz, or even 350 GHz and more, be produced. As part of a working thesis at Leti, an antenna bolometer concept operating in the millimetric field was investigated, using SOI substrates to produce temperature probes. The work resulted in the production of mono-elements in atmospheric transmission windows. This led to the innovative approach to construct the THz bolometer based on a standard silicon technology with the quarter wave cavity built from a specific dielectric. Etat de l’art dans le domaine de la détection millimétrique Il n’existait pas dans le monde jusqu’en 1999 de réalisation de systèmes d’imagerie basés sur la bolomètrie pour la détection à température ambiante d’onde millimétrique dans les fenêtres atmosphériques de fréquences centrales 35, 94, 140, 220 GHz, voire 350 GHz. La détection directe comprend la réception du signal par une antenne et son amplification dans la même bande passante. L’amplification du signal est assurée par plusieurs étages de transistors. La technologie des transistors HEMT (transistor à haute mobilité électronique) sur InP a les meilleures performances en terme de bande passante (fréquence de coupure de 200 GHz pour une longueur de grille de 0.1 µm) et de bruit avec un facteur de bruit inférieur à 1.4 dB à 94 GHz (le facteur de bruit d’un amplificateur représente la dégradation du rapport signal sur bruit f=(S/B)entrée/(S/B)sortie exprimé en dB). Les transistors HEMT mettent à profit les propriétés de haute mobilité d’un gaz bidimensionnel d’électrons formé à l’interface d’une hétéro jonction. Ces détecteurs nécessitent près de 40 à 50 dB de gain sur le signal récolté par l’antenne, ce qui impose 4 étages d’amplification pour l’InP. La nécessité de plusieurs étages a contribué au développement de l’intégration, de l’hybridation et finalement à l’apparition de circuits intégrés spécifiques : les MMIC (MilliMeter Integrated Circuit). Ils permettent une diminution des pertes par couplage et une miniaturisation laissant envisager l’intégration dans un plan focal. La détection hétérodyne consiste à multiplier le signal d’entrée par un signal de fréquence pure. Cette multiplication est effectuée par un dispositif non linéaire appelé mélangeur qui multiplie le signal avec celui de l’oscillateur local obtenu avec une diode ‘’gunn’’. Le signal résultant est alors le signal d’entrée translaté en fréquence de la fréquence de l’OL (figure 5). L’amplification autour d’une fréquence plus basse est donc facilitée. La détection hétérodyne en millimétrique est très utilisée en interférométrie (radio-astronomie) car elle conserve l’information de phase. Figure 1: Synoptique du détecteur hétérodyne Les principaux défauts des détecteurs hétérodynes sont leur encombrement et leur consommation excessive car ils nécessitent plusieurs dispositifs : deux contraintes qui en font de piètres candidats pour une caméra millimétrique. TRW est sûrement actuellement l’entreprise américaine la plus avancée dans la réalisation de systèmes d’imagerie millimétrique passive. Elle travaille sous contrat avec la NASA qui demandait une caméra millimétrique passive d’aide au pilotage ayant pour cahier des charges une cadence de 17 Hz, une NEDT (Noise Equivalent Différence Température : écart de température minimum détectable) inférieure à 4 K et une couverture de champ de 15°*10. TRW utilise une technologie basée sur les détecteurs à détection directe MMIC en GaAs (bientôt en InP pour pouvoir atteindre la bande de 140 GHz). Une seule puce fait 2 mm par 7 mm et possède 7 étages d’amplification faible bruit (facteur de bruit inférieur à 5.5 dB) pour un gain total supérieur à 40 dB. La réception du signal se fait avec une antenne planaire Vivaldi sur chaque puce. 1 Figure 2 : module de 4 récepteurs Le plan focal est constitué de 1040 pixels : Soit 26 plaques de 40 détecteurs alignés. Ceci implique tout de même une consommation de l’ordre de 700 W. Un miroir de renvoi assure la fonction de micro-balayage (2*2) et permet ainsi d’obtenir une image sur 4160 canaux. Cette image est ensuite traitée par des processeurs parallèles se chargeant d’utiliser les résultats du double étalonnage et de l’algorithme de super-résolution. Les algorithmes de super-résolution permettent par un traitement de l’image obtenue d’atténuer les défauts de résolution spatiale : trame verticale d’un balayage, microbalayage, vibration de la caméra. La cadence image alors obtenue est de 17 Hz. L’étalonnage est assuré par une source de bruit externe qui fournit un signal à deux niveaux à l’ensemble du plan focal à une cadence réglable. Figure 3 : plan focal La caméra opère à 89 GHz avec une bande passante de 10 GHz pour éviter les émissions radar à 94 GHz. Elle possède un champ de 15° par 10° obtenu avec une lentille, de 46 cm de diamètre, traitée antireflet. La NEDT vaut 0.9 K pour un temps d’intégration de 10 ms correspondant à la cadence de 17 Hz affichée. Figure 4 : caméra TRW Solutions apportées par le LETI en détection millimétrique Matrice monolithique millimétriques de bolomètres Dans la continuité du développement présenté en 1.2.1, nous avons poussé dès 1998 le concept jusqu’au longueur d’onde millimétrique. Ce nouveau concept a fait l’objet d’un dépôt de brevet par le CEA : Détecteur bolométrique à antenne, n°E.N. 98 16648, 1998. Pour l’application en détection millimétrique il est préférable de découpler topologiquement la fonction absorption de la fonction bolométrique car le pas de la matrice devient important (quelque mm). Aussi une antenne planaire permettant de collecter les courants de surface induits par le champ électromagnétique est disposée sur le substrat en silicium et une charge électrique est disposée sur un bolomètre de manière à ce que le courant se dissipe par effet joule dans la résistance de charge et donc induit l’effet bolométrique recherché. Les figures ciaprès présentent en coupe et de face l’antenne associée au bolomètre : 2 qui ne sert que de support au thermomètre réalisé ici par une diode PN sur silicium monocristallin. Par construction le bolomètre peut être à antenne bipolaire ou quadripolaire donc la détection peut être sélective en polarisation de l’onde incidente ou pas. L’émission d’un corps noir aux températures ambiantes étant à large spectre de l’infra-rouge thermique au millimétrique et d’autant plus importante à courte longueur d’onde, bien que l’antenne devienne réflectrice en IR une absorption à ces longueurs d’onde peut apparaître au niveau du micro-bolomètre. Aussi la structure suivante: Figure 6 : Figure 5 : Bolomètre à antenne La super-résolution spatiale pour un pas pixel de lambda/2 et le haut facteur de remplissage optique sont donc assurés pour une disposition en matrice de n x n pixels réalisés collectivement. L'antenne bipolaire ou quadripolaire en métal conducteur (Au) augmentée d’un réflecteur en face arrière et d’une cavité d’épaisseur /4 permet l’absorption proche de l’unité dans une large gamme en fréquence ou longueur d’onde. D’autres approches de détection utilisent soit des cônes de Winston associés à des sphères intégrantes pour augmenter l’efficacité en absorption mais en contre-partie l’ouverture du cône doit être de quelques , soit des antennes de type Vivaldi mais qui ont une bande passante en fréquence de l’onde incidente relativement faible comparativement aux fenêtres atmosphériques. Dans notre cas la limitation intervient à haute fréquence car le courant parcourt la charge dissipative constituée d’un fil en métal (qui suspend le micro-bolomètre et qui constitue aussi la résistance thermique de ce dernier) éloigné de toute masse électrique, néanmoins par le choix du métal celui-ci peut-être limitatif à haute fréquence. La dissipation joule intervient tout au long du fil permettant d’élever en température la pastille centrale autorise la mesure différentielle s'affranchissant de l'absorption du flux parasite d'origine thermique et des fluctuations de température du substrat. Enfin l’antenne n’est pas nécessairement du type “bowtie antenna”, mais plus sélective en longueur d’onde si nécessaire. Parmi les avantages on citera la réalisation collective en filière technologique silicium de matrice 2D de complexité importante, l’obtention d’image super-résolue spatialement ne nécessitant pas au niveau caméra de micro-balayage. Soit un système mécanique induisant un sur-coût et un risque système plus important qu’ un chopper optique qui s’avéra nécessaire pour la détection par bolomètre. La large bande d’absorption autorise la détection multispectrale ou la détection dans les deux fenêtres atmosphériques ce qui correspond à un gain en terme de signal à bruit. Un plan focal de complexité 32x32 à lecture intégrée n’excèdera pas en puissance électrique plus de quelques 100mW. Enfin l’homogénéité des bolomètres d’une matrice laisse penser que la calibration d’un tel plan focal ne soit pas un réel problème. Les principales limitations, en terme de complexité proviennent de la taille car en effet si même la filière de réalisation technologique est en 8” (plaque de silicium de 200mm de diamètre), plus la taille d’une matrice sera grande et moins il y aura de matrices par plaque ce qui contraint le rendement de fabrication et augment le coût unitaire. 3 Figure 7: Une limitation en terme de performance vient de ce que la charge d’antenne étant dimensionnée pour une absorption maximale, cette résistance constituant aussi la résistance thermique du bolomètre on limite la réponse thermique et donc on peut être limité par le bruit des éléments en aval de la chaîne de conversion (thermomètre en particulier ou le bruit de fluctuation thermique de la résistance thermique elle-même dit bruit phonique). Réalisations et résultats Réalisations, mesures et simulations de bolomètres à antennes Résultats obtenus en détection millimétrique à température ambiante A l’occasion d’un travail de thèse orienté sur la faisabilité en particulier technologique qui apparaissait comme un point dur, nous avions décidé la réalisation d’un lot d’essai afin d’obtenir des matrices pour les quatre longueurs d’onde correspondant aux fenêtres de transmission atmosphérique : 1=8570 µm (matrice M35), 2=3190 µm (matrice M94), 3=2140 µm (matrice M140) et 4=1365 µm (matrice M220) qui correspondent aux fréquences : 1=35 GHz, 2=94 GHz, 3=140 GHz et 4=220 GHz. Une tranche comporte des matrices de 8*8 détecteurs sauf pour M35 qui ne comporte que 2*2 détecteurs et M94 qui n’en comporte que 4*4 pour des raisons d’encombrement sur la tranche en filière 4”. D’autre part en filière 4” et du fait de l’assemblage des motifs qui ne sont pas photo répétables les masques ne purent être réalisés qu’à l’échelle 1X induisant une règle de dessin (finesse des traits de dessin en CAO) à 3µm, ce qui pour le microbolomètre et la diode thermométrique n’est pas optimale. On présente ci-après le dessin de la nappe KOBE : La topologie du pixel retenue pour ce premier jeu de masques était à double micro-bolomètres centraux, l’un aveugle au flux millimétrique, l’autre relié à une antenne bipolaire. On avait disposé des barrettes de tests de diodes thermométriques de différentes topologies ou types en vu d’optimiser cet élément fondamental du bolomètre notamment sur l’aspect du bruit à basse fréquence, mais le travail de caractérisation n’a pu se faire sur ces barrettes à l’occasion de la thèse. Sans entrer dans le détail du processus technologique élaboré et qui a permis de révéler certains problèmes à certaines étapes, ce qui nous permet à présent de savoir optimiser l’empilement technologique, nous présentons quelques photographies de micro-bolomètres obtenus en fin de technologie : Figure 8 thermomètres à diodes suspendus et leurs électrodes Figure 9 : photographie d’une matrice de micro bolomètres à antennes Les mesures de réponse des bolomètres sont effectuées sous le flux d’un corps noir de 1000 K. La température de ce dernier a été prise suffisamment importante pour faciliter les mesures. Le montage consiste donc en un corps noir qui éclaire à travers un chopper et un diaphragme qui est choisi de manière à obtenir une ouverture à F/1 et d’un filtre. On présente ci-après la photographie de l’expérience. A partir d’une estimation de la bande spectrale en absorption pour les bolomètres testés de 80 à 180 GHz on obtient une réponse de près de 10A/W. Et on mesure pour une fréquence de chopper de 300Hz (rendue nécessaire du fait d’un excès de bruit 1/f sur les diodes thermométriques testées) une puissance détectable équivalente au bruit pour un signal à bruit de 1 (NEP) égale à 2.5*10^-13 W/Hz^1/2 donnant un 4 NEDT de ~3 K/Hz^1/2. On obtient, pour un temps d’intégration de 40ms (fréquence image de 25Hz), un NEDTrms=15K. L’amélioration de la performance (une décade) passera par l’optimisation de la diode pour réduire son bruit 1/f et l’augmentation de son courant de polarisation puisque la réponse thermométrique est proportionnelle à ce courant, enfin l’augmentation de la résistance thermique par optimisation de toutes les poutres métalliques d’antenne et d’électrodes. Figure 10 : Photographie de l’expérience de réponse au corps noir de bolomètre MM Optimisation envisagée et simulations On analyse la performance en terme de NEDT sur une scène en bande millimétrique d’un bolomètre supposé de coefficient d’absorption unitaire dans une bande en fréquence optique de 40GHz autour d’une fréquence centrale à priori dans la gamme de 70GHz à 375GHz. Considérons un bolomètre au pas égal à /2 adapté à la fréquence centrale, une ouverture optique F/1, exprimons le flux détecté en fonction de cette fréquence centrale pour un fond de scène à la température de Ts=300K, P(Ts), représentons également le contraste de scène exprimé par dP(Ts)/dTs : 26.575695 Flux et contraste par bolomètre Figure 10 : Le contraste de scène est relativement constant : 0.34pW/K, ce contraste est évidemment quatre fois supérieur si les bolomètres sont au pas de ou si l’ouverture optique est deux fois supérieure, auquel cas, puisque le flux de scène est de l’ordre de 30pW comparativement à la dissipation joule du thermomètre de l’ordre de 0.1 à 1 µW, les puissances équivalentes au bruit d’origine optique, phonique, thermométrique, ne sont pas affectées et donc augmentant le contraste de scène on réduira d’autant le Nedt. Si on calcule les différentes contributions au NEP (pW/Hz1/2) due soit aux fluctuations de fond de scène (température Ts) en millimétrique limitée à l’ouverture (NEP), soit aux fluctuations de fond (température de l’environnement du bolomètre Tf) en millimétrique dans 2 stéradian (NEPf), soit aux fluctuations du rayonnement infrarouge supposé détecté sur 10% de la surface du bolomètre (50µm x 50µm indépendant de la taille d’antenne), cette hypothèse est somme toute pessimiste car le seul élément absorbant en infrarouge est le métal de résistance donnée constituant la charge or un ‘fil’ de quelque µm de large d’une centaine de µm de long relativement isolé (structure 2D au pas de plus d’un mm) risque d’avoir un coefficient d’absorption bien inférieur au rapport de surfaces. Soit donc cette contribution (NEPb) au niveau du bolomètre central aux antennes (température Tb), on obtient : Pour Ts=300K, Tf=Tb=300K & 150K 0.087234 0.1 100 nep n nepf n P n dP 10 0.01 nepb n nepb2 n 3 1 10 nepb1 n n 1 4 4.644291 10 1 10 4 0.337961 0.1 0 70 50 100 150 200 250 300 350 400 freq 10 n 9 P(pW)=fct(fréquence) dP/dTscene 400 70 0 100 200 freq 10 n 300 9 400 400 NEP(pW/Hz^1/2)=fct(frequence) NEPf(pW/Hz^1/2) NEPb(Tb=300K) NEPb(Tb=200K) NEPb(Tb=150K) 5 Figure 11 : 0.087234 Dans le tableau ci-après en régime pulsé, la charge d’antenne=6000Ω et on suppose pouvoir adapter une structure d’antenne à cette charge (*), la diode est pulsée avec un rapport cyclique ½ et à une fréquence 4 fois la bande passante thermique du microbolomètre. (*) En fait, il s’agit plus qu’une supposition, la structure faisant l’objet d’un dépôt de brevet actuellement. 0.1 nep n nepf n 0.01 nepb n nepb2 n 3 1 10 nepb1 n 4 9.288582 10 1 10 4 0 100 200 freq 10 n 70 300 9 400 Tableau 1 : En régime statique de la diode : 400 NEP(pW/Hz^1/2)=fct(frequence) NEPf(pW/Hz^1/2) NEPb(Tb=300K) NEPb(Tb=200K) NEPb(Tb=150K) NETD NETD Tb Tb /2 300K 30K 1.7K 2.8K 0.77K 3.4 K /2 200K 20K 1.2K 1.5K 0.28K 1.9 K /2 150K 15K 0.9K 1K 0.14K 1.4 K 300K 30K 0.43K 0.7K 0.19K 0.8 K 200K 20K 0.3K 0.38K 0.07K 0.5 K 150K 15K 0.23K 0.25K 0.034K 0.3 K Figure 12 : On réalise que la principale limitation d’origine optique vient de la détection en infrarouge des bolomètres dans leur environnement à la température Tb. Puis interviennent des limitations d’origine phonique et thermométrique du micro bolomètre. Dans les hypothèses suivantes on présente quelques résultats de simulation de NEDT atteignables : Le flux infra rouge absorbé dans 2π stéradians par le micro-bolomètre ne dépend que de la température Tb de son environnement. Le contraste de scène millimétrique à 300K dépend du pas, de l’ouverture (f/1), de la bande d’absorption (de largeur 40GHz). L’échauffement du bolomètre est principalement causé par la dissipation joule du thermomètre, on limite l’élévation de température à 10% de Tb. Dans le tableau ci-après en régime statique, la charge d’antenne=1500Ω, la diode est supposée exempt de bruit 1/f. NETD Pas Thermométrique Phonique Infra-rouge NETD total Tableau 2 : En régime pulsé de la diode : NETD NETD NETD Thermométrique Phonique Infra-rouge NETD total 0.65K 1.4K 0.77K 1.7K 0.44K 0.76K 0.28K 0.9K 15K 0.33K 0.49K 0.14K 0.6K 300K 30K 0.16K 0.35K 0.19K 0.43K 200K 20K 0.11K 0.19K 0.07K 0.23K 150K 15K 0.08K 0.12K 0.034K 0.15K Pas Tb Tb /2 300K 30K /2 200K 20K /2 150K 6 Conclusions et perspectives Bolomètres à antennes La faisabilité technologique de ce type de matrice de détection millimétrique à température ambiante a pu être démontrée au Leti.. L’avantage procuré par la réalisation d’un plan focal de façon collective peut se révéler déterminant par rapport à la solution MMIC pour l’application sécuritaire qui nécessitera avec des volumes significatifs. Cependant la réalisation de ces capteurs d’un point de vue industrielle nécessite une approche différente. Notre objectif est de développer un bolomètre à antenne en s’appuyant sur la technologie bolomètre infrarouge. Cette technologie est actuellement en production chez ULIS qui commercialise depuis 2003 plusieurs dizaine de milliers de composant. Le synoptique du pixel est illustré ci-dessous : Poutre de suspension en métal Résistif =Charge d’antenne =Résistance thermique Couplage résistif entre antenne et thermomètre Thermomètre Via antenne Cavité λ/p sous les antennes Contact thermomètre Réflecteur = Bus Le Leti est à la recherche de partenariat pour cette développer cette nouvelle technologie dans les prochaines années, nos concurrents Américains travaillent d’ores et déjà sur des imageurs THz passifs.[1] Réferences : 1- Advances in bolometer based passive imagers for homeland security and law enforcement. SPIE defebce & security 2005 vol5778. 7