CAHIER DES CHARGES Manipulateur d`échantillons pour une

CAHIER DES CHARGES
Manipulateur d’échantillons pour une enceinte de dépôt ultra-vide,
par épitaxie par jets moléculaires sur des substrats d’au maximum 2
pouces. Ce manipulateur devra donc permettre d’atteindre un vide de
base inférieur à 1 x 10-10 mbar dans la chambre. Le manipulateur sera
fixé à la chambre en position horizontale sur une bride CF 100. La
direction définie par l’axe du manipulateur est par la suite appelée
direction Z. La direction de dépôt, perpendiculaire au sol du
laboratoire, est appelée X. La direction Y est la direction
orthogonale à la fois à X et à Z.
Le plan de l’échantillon devra se situer au niveau du centre de la
bride et la distance entre le centre du porte échantillon et
l’extérieur de la bride du manipulateur devra être égale à 320 mm
afin que le centre du porte échantillon corresponde au point focal de
dépôt de la chambre sur laquelle il sera monté. Le manipulateur devra
permettre d’accueillir des échantillons jusqu’à deux pouces de
diamètre fixés sur un porte échantillon de diamètre 62 mm. Ce
manipulateur devra permettre un chauffage de l’échantillon jusqu’à
1000 °C en atmosphère non-oxydante (azote, argon) et 400°C en
atmosphère oxydante (oxygène) jusqu’à des pressions partielles de 10-
1 mbar. Une durée de vie du module de chauffage dans ces conditions
d’au moins 30000 heures est demandée. De plus le manipulateur devra
être connecté de telle façon que l’application d’une polarisation DC
ou r.f. du porte échantillon sera possible de façon ultérieure sans
que cela ne nécessite un démontage du manipulateur hors de la chambre
de dépôt. Les alimentations du module de chauffage et des
polarisations DC et r.f. NE FONT PAS parties de cet avis de
publicité. La zone chaude du porte-échantillon sera protégée par un
bouclier amovible afin de protéger roulements et autres parties
mécaniques des dépôts de matières.
Selon les trois directions X, Y, et Z, le manipulateur devra
permettre un déplacement du porte-échantillon par rapport au point
focal de dépôt. Selon chacune des directions X et Y, le déplacement
de l’échantillon devra être d’au moins + ou - 12,5 mm de part et
d’autre du point focal de dépôt. Selon la direction Z une translation
de 100 mm au moins est requise afin de permettre un déplacement de +
ou – 12,5 mm de part et d’autre du point focal de dépôt ainsi qu’un
retrait complet du porte échantillon en dehors de l’axe de dépôt.
Deux axes de rotation sont également requis. Le premier, axe de
rotation polaire, permet une rotation dans le plan X Y, de + ou – 170
degrés. Ce module de rotation manuel inclura une vis de blocage ainsi
qu’une graduation permettant un positionnement avec une précision
d’au moins 1 degré. Le deuxième, axe de rotation azimutal, permet une
rotation de l’échantillon autour de la direction X. Cette rotation
doit être continue et motorisée permettant une vitesse de rotation
variable jusqu’à 60 tour/min. Le matériel électronique nécessaire au
contrôle de cette rotation devra être inclus dans l’offre de prix et
devra permettre un contrôle direct par le biais du contrôleur ou par
le biais d’un port RS 232 ou GPIB.
Si les axes X, Y, Z et polaire ne doivent être motorisés en l’état,
le manipulateur devra permettre de motoriser ces différents axes sur
place sans que le démontage du manipulateur ne soit nécessaire pour
installer les moteurs.
Le manipulateur sera également équipé d’un collier de service sur
lequel seront accessibles les connecteurs de polarisation DC, de
polarisation r.f., le connecteur du module de chauffage et le

connecteur du thermocouple permettant une mesure de la température au
niveau du porte-échantillon.
L’ensemble du manipulateur devra être étuvable jusqu’à 250°C après
avoir ôté le moteur de la rotation azimutale.
En outre le manipulateur devra être livré avec un certificat
attestant des performances du système en accord avec les
spécifications détaillées ci-avant (vide limite, déplacement et
rotation, performance du four).
Le système proposé comprendra les pièces principales suivantes
• le manipulateur permettant un déplacement de l’échantillon selon
les 5 axes et le contrôle de la température du porte échantillon
entre la température ambiante et 1000 °C comme décrit ci-avant.
• le moteur et son contrôleur permettant la rotation azimutale de
l’échantillon
• les documents techniques liés à la conception du manipulateur et à
son utilisation
Le matériel devra être garantie minimum 12 mois.