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J.P. BORGOGNO, P. ROCHE, G. ALBRAND
mesures des facteurs de r6flexion R et de transmission Ten incidence oblique
n6cessitent donc rintroduction d'un polariseur juste avant la lame: c'est un
Glazebrook de section 30 mm × 30 mm, co116 ~ la glyc6rine, ce qui le rend utilisable
jusque dans le proche UV.
(5) Le
porte-~chantillon
est lui aussi actionn~ en translation par un moteur pas
pas; on obtient ainsi un rep6rage extr~mement pr6cis de la zone que ron d6sire
&udier (un d6placement de 10 ~tm correspond fi un pas). L'angle d'incidence
d'6clairage de l'6chantillon peut ~tre r6g16 fi une valeur quelconque sup6rieure ~ 2 °.
(6) Des photomultiplicateurs (EMI 9659 QB) ou des photodiodes au silicium
(U.V. 100 d'U.D.T.) sont utilis~s comme
r~cepteurs.
Chaque voie de mesure est reli6e
une d6tection synchrone.
Dans l'ensemble du montage, les deux r6seaux, la lame et les deux r6cepteurs
sont situ6s dans des plans conjugu6s. Or lorsque la longueur d'onde s61ectionn6e par
un monochromateur augmente, l'inclinaison du r6seau augmente et sa largeur
apparente diminue. Afin d'&udier une surface de lame ind6pendante de la longueur
d'onde, un diaphragme conjugu6 des r6seaux est plac6 dans le syst~me d'6clairage du
monochromateur. Sa largeur est telle que les r~seaux de 1200 traits mm -1 ne
produisent aucun vignetage jusqu'fi la longueur d'onde de 1100 nm (longueur
d'onde maximale d'utilisation des cellules au silicium). Ainsi rouverture angulaire
du monochromateur est de 0,10 rad dans le plan horizontal et de 0,17 rad dans le
plan vertical; la surface d'6chantillon 6clair~e est de 4,0 mm × 6,8 mm.
Un ensemble de logiciels adapt6s permet alors la s61ection de la radiation
d6sir6e et il est ais6 de mesurer les rapports de flux transmis et r6fl6chis
respectivement par l'~chantillon trait6 ~ 6tudier et l'6chantillon t6moin. Cette
op6ration est r~alis6e pour un grand nombre de radiations de l'intervalle spectral
utile, r~guli~rement r6parties en nombre d'onde donc en &nergie du rayonnement
incident.
2.21 Les mesures effectuOes
Nous avons choisi un 6chantillon pr6sentant un d6faut d'homog6n6it6 bien
marqu6; il s'agit d'une monocouche d'oxyde de titane. Sur le domaine 400-900 nm
avec un 6chantillonage r6gulier en nombre d'onde nous avons proc6d6 aux trois
s6ries de mesures suivantes: la premi6re, sous incidence normale, montre nettement
la diff6rence de valeurs existant entre les minimums de Rex pet le facteur de r6flexion
du verre nu aux mfimes longueurs d'onde (Fig. 3) (avec une couche homog6ne cette
diff6rence serait nulle); les deux autres mesures ont 6t6 effectu6es pour une incidence
de 45 ° (Fig. 4), dans rair, pour chacun des deux 6tats de polarisation.
L'incertitude absolue sur les mesures de R et de Test estim6e ~t 0,002 sur tout le
domaine spectral.
3.
CHOIX DU MODI~LE DE COUCHE
Soit une couche mince homog6ne, isotrope, ~i faces planes et parall61es, d6pos6e
sur un dioptre air-substrat. Lorsque l'indice du mat6riau constituant la couche est
sup6rieur a celui du substrat, le facteur de r6flexion du dioptre trait6 R est sup6rieur
ou 6gal fi celui du dioptre nu R s. Or nos mesures en incidence normale (Fig. 3)