Mesure de distance ultra-précise grâce à la

Mesure de distance ultra-précise grâce à la
technologie MWLI®
Le capteur optique permettant de mesurer
les distances avec la précision d’un nanomètre

02
Contenu
Table des matières
Avantages
Principales fonctionnalités des capteurs LuphoSmart ............ 03
Principe de mesure
Mesure de distance basée sur la technologie MWLI .............. 04
Modèles et sondes
Variété de configurations ........................................................................05
Spécifications
Données techniques ...........................................................................06-07
Les capteurs LuphoSmart représentent une ouverture dans
le secteur ultra précis de la métrologie optique et de la
mesure de distance. La technologie MWLI® (interférométrie
à longueur d’onde multiple) permet de mesurer la distance
vers la surface d’un objet sans la toucher et avec la
précision d’un nanomètre. Les applications types proposent
le contrôle de position, la mesure de planéité, de circularité
et de concentricité, le réglage des groupes d’assemblage et
les numérisations de prol.

03
Les capteurs LuphoSmart représentent une solution unique
permettant de mesurer sans contact avec une grande précision
•Exactitudeetprécisionextrêmes
± 2 nm (2σ) sur surface polie
•Importantesplagesdemesureetdistancedetravail
 Jusqu’àplusieurscentimètres,toutenrestanttrèsperformantauniveaudelaprécisionetdel’exactitude
•Extrêmementpeubruyant
Moins de ± 0,05 nm
•Stabilitéàlongterme
Dérive inférieure à ± 1,5 nm sur 72 heures
•Mesureabsolue
Accepte une interruption du signal et mesure les hauteurs de niveau jusqu’à 1,25 mm
•Pratiquementtouslesmatériaux
Surface polie, trempée, transparente, spéculaire, opaque
•Petitesdimensionsdesondeetlongscordonsd’alimentation
 Miseenœuvredirectedanslesmachinesexistantes
•Systèmesàsondesmultiples
 Jusqu’à8sondesenfonctionnementsimultané,permettantparexempled’obtenirunecompensationdeserreurs
de niveau
Avantages

04
Logiciel
Mesure MWLI sans suivi de surface.
Mesure absolue en utilisant une fréquence de battement
Technologie LuphoSmart
LesystèmeoptiqueLuphoSmartestuninterféromètre
à longueur d’onde multiple (MWLI®) à plusieurs fibres.
Parrapportauxsimplesinterféromètres,plusieursondes
discrètessontutiliséesenmêmetemps.Celapeut
êtrecomparableàplusieursinterféromètrestravaillant
indépendamment mais avec une grande cohérence
etpartageantlamêmevoieoptique.Encalculantles
fréquencesdebattementsdesondesemployées,laplagede
mesure absolue est nettement plus grande.
Mesure absolue
Ils’agitd’unefonctionnalitéexceptionnelleduprincipe
MWLI® qui offre une mesure de distance absolue sur une
large plage allant jusqu’à 1,25 mm. Cette caractéristique
permetdedéterminerlahauteurdesniveauxd’une
surface verticale, ainsi que la continuité des mesures après
l’interruptiondusignal,parex.enprésencedeparticulesou
de trous sur la surface.
Mesure des surfaces trempées
La technique MWLI permet également de mesurer sur les
surfaces brutes, comme celles des lentilles trempées. Les
techniques interférométriques simples utilisant des sources
de lumière hautement cohérentes échouent dans ce
processus.Eneffetlerefletdelalumièreestrépartiparbruit
cohérent (granularité laser). L’approche MWLI
offre la possibilité d’utiliser des ondes avec battements
artificiels entre toutes les ondes impliquées pour déterminer
les valeurs de distance correctes.
Mesure MWLI sans inclinaison et suivi de la sonde
Interruption du
faisceau sans
référencement
Hauteurs
de niveau
jusqu’à
1,25 mm
Sur les
surfaces
trempées,
pentes
jusqu'à 60°
Distance de travail
(prédéfinie)
Variations de
distance continues
jusqu’à
plusieurs cm
Fibre
Sonde Objet
Longueur d’onde
de faisceau Λ
Intervalle de mesure non ambiguë

05
Applications
Caractérisation d’erreur d’un niveau rotatif de haute
précision
Le système LuphoSmart 4λ-5 qui permet un
fonctionnement simultané de 5 sondes au maximum
Fenêtre principale du logiciel LuphoSmart
Précision de l’installation du support d’outil dans le
tour à diamant
Appareils LuphoSmart
LessystèmesLuphoSmartpeuventêtreutilisésdemanière
autonomeoucommesolutionsd’équipementd’origine.Enplusdu
simplesystèmededétection,plusieurssystèmesmultisondessont
disponibles.Ilspermettentà8sondesdefonctionnerenmême
temps.Cessystèmes,capablesdemesurerplusieursdistances
enmêmetemps,peuventêtreutiliséspourmesurerdesobjets
de référence dans différentes directions (voir image) ou pour
compenser efficacement les erreurs de niveau. Dans la plupart
des cas, cette compensation est indispensable pour numériser
avec la précision d’un nanomètre. Toutes les sondes connectées
àunsystèmeLuphoSmartpeuventêtresynchroniséesavec
unemachineexterneaumoyendesignauxdedéclenchement
standard.
Logiciel de contrôle
Par défaut,lessystèmesontunlogicielautonomequicontrôle
l’ensemble des paramètres, comme le réglage des seuils de
déclenchement, les débits de transmission de données en interne
ou les options de stockage des données. De plus, une interface
logicielle spéciale (DLL) est disponible pour mettre en œuvre et
contrôlerlesappareilsLuphoSmartdansuneseuleapplication–
ex.unprogrammeC/C++,LabViewou MATLAB.
Sondes LuphoSmart
Toutes les sondes LuphoSmart se trouventdansunmême
corps INVAR dont les dimensions standards sont de 18 mm
(diamètre)×37mm(longueur).Lessondessontconnectéesaux
contrôleursLuphoSmartviauncordond’alimentationde1,5m
qui peut aller jusqu’à 20 m. Les faibles dimensions de la sonde et
la configuration globale de la fibre optique permettent d’intégrer
les sondes directement dans les machines de production ou dans
lessystèmesdemesure.Lesdonnéestechniquesdecertaines
sondes LuphoSmart (qui couvrent les plages de mesures et
les distances de travail de 2,6 mm à 30 cm) sont résumées
danslasectionprésentantlesspécifications.Enplusdessondes
standards,dessondespeuventêtrepersonnaliséespourrépondre
à des applications plus spécifiques. Ces sondes peuvent avoir
des différences en termes de distance de travail, de plage de
mesure, d’ouvertures numériques, de dimensions de boîtier, etc.
Parexemple,lesadaptateurssontdisponiblespourmesurerles
surfacesintérieuresducylindre.Lessondespeuventtoutesêtre
utiliséesavecunsystèmeLuphoSmart.