
Table des matières
1.6.2 Espace sombre de faraday _________________________________________ 23
1.6.3 Colonne positive ________________________________________________ 24
1.6.4 Région anodique ________________________________________________ 24
1.6.5 Différents régimes luminescents ____________________________________ 24
1.7 Caractéristiques électriques ____________________________________________ 25
1.8 Les Applications Décharges contrôlées par barrières diélectriques _____________ 27
1.8.1 Activation de surface ____________________________________________ 27
1.8.2 Dépôt de couches minces _________________________________________ 28
1.8.3 Gravure et Nettoyage ____________________________________________ 29
1.8.4 Stérilisation ____________________________________________________ 29
1.8.5 Traitement des polluants gazeux ___________________________________ 30
1.8.6 Plasma au conquêt du textile ______________________________________ 30
1.8.7 Nitruration _____________________________________________________ 30
1.8.8 Panneaux à plasma ______________________________________________ 31
1.8.9 Modifications de surfaces de polymères par plasma ____________________ 31
1.9 Conclusion _________________________________________________________ 32
Chapitre 2 Modélisation des décharges électriques
2.1 Introduction ________________________________________________________ 34
2.2 Modèle physique ____________________________________________________ 34
2.2.1 Equation de Boltzmann et modèle auto-cohérent 34
2.2.2 Approche microscopique _________________________________________ 36
2.2.3. Approche macroscopique Modèles fluides __________________________ 36
2.3 Modèle fluide à trois moments__________________________________________ 40
2.4 Modèle fluide à deux moments _________________________________________ 41
2.5 Modèle utilisé_______________________________________________________ 42
2.5.1 Equation de continuité (convection-diffusion) _________________________ 42
2.5.1.1 Approximation du champ électrique local ________________________ 42
2.5.1.2 Equation de convection-diffusion des électrons ___________________ 43
2.5.1.3 Equation de convection-diffusion des ions _______________________ 43