MEMO/07/137
Bruxelles, le 18 avril 2007
Les lauréats « Inventeurs de l'année 2007«
récompensés
Un jury international a sélectionné les lauréats du prix de l’Inventeur de
l'année 2007 émanant de quatre catégories différentes sur la base des
inventions techniques remarquables pour lesquelles l'Office européen des
brevets a accordé un brevet.
Catégorie Industrie : Dr Franz Laermer et Andrea Urban
(Robert Bosch GmbH, Stuttgart/Allemagne)
Le Dr Franz Laermer et Andrea Urban, tous deux employés chez Robert Bosch
GmbH, ont adapté des techniques de micro-procédé qui ont permis une meilleure
manufacturabilité et assuré le formidable succès commercial des micro-machines.
Leur invention, bien connue sous l'appellation "Procédé Bosch", a permis de créer
des équipements de sécurité des véhicules, tels que les capteurs à coussin
gonflable (airbag), à un coût abordable pour chacun d'entre nous.
Le procédé facilite la fabrication de minuscules capteurs en silicium de haute
précision utilisant la technologie du plasma. Leur invention avait pour objet de créer
une méthode d'attaque et de découpe, à vitesse élevée et avec une grande
précision, des microstructures profondes à parois latérales verticales en tranches de
silicium.
Le procédé d'attaque est utilisé depuis une trentaine d'année dans le secteur des
systèmes microélectromécaniques (MEMS). Ce procédé présentait toutefois un
problème courant d'attaque latérale, dans le cas d'une attaque métallographique du
silicium, qui détériorait par ailleurs la paroi de la structure ainsi créée et la déformait.
La méthode mise au point par Laermer a permis de surmonter le problème en
utilisant un plasma fluorocarboné afin de déposer une couche anti-attaque avant de
passer à l'étape d'attaque suivante. La technique vous permet de réaliser des
procédés d'attaque métallographique bien définis.
La technologie a connu un succès immédiat dès son lancement. L'invention a été
brevetée en 1993, suivi d'une première commercialisation par la société Bosch d'un
coussin gonflable (airbag) en 1997. Le procédé Bosch a permis de réduire le coût de
fabrication de ce type de dispositifs de sécurité, et d'équiper ainsi tous les véhicules,
et pas seulement les modèles haut de gamme. Les capteurs sont également utilisés
dans d'autres applications telles que les téléphones mobiles ou les ordinateurs
portatifs. La technologie a influencé la quasi-totalité des systèmes
microélectromécaniques, des applications sanitaires (y compris les biopuces et les
capteurs de pression artérielle jetables) aux têtes d'impression à jet d'encre haute
résolution.