capteur de pression cardiaque moms à fibre optique

eric.pinet 03/03/2010
Capteur de Pression Cardiaque MOMS à Fibre Optique
CAPTEUR DE PRESSION CARDIAQUE MOMS À FIBRE OPTIQUE
Éric Pinet, Jean-Baptiste Kpetsu & Alain Pham
FISO Technologies
FISO Technologies commercialise depuis récemment un capteur de pression (FOP-MIV) destiné
au marché médical. La faible dimension de ce capteur à fibre optique (OD 550µm), sa grande
fiabilité et son immunité intrinsèque aux perturbations électromagnétiques (interférences,
électrochocs, imagerie par résonance magnétique…) en font un atout de choix comme instrument
de mesure intégré par exemple à des systèmes mécaniques d’assistance cardiaque.
Fabriqué selon des techniques de microfabrication permettant une production de masse, ce
capteur MOMS utilise une technologie d’interférométrie Fabry-Pérot en lumière blanche (brevets
US #5,202,939, et #5,392,117) qui permet une grande fiabilité de la mesure. D’une manière
schématique, le capteur est constitué de deux miroirs de part et d’autre d’une cavité qui ressemble
à un tambour miniature constitué d’une fine membrane de silicium dont la déformation dépend de
la pression appliquée. La lumière réfléchie par l’interféromètre Fabry-Pérot est modulée en
longueur d’onde en fonction de la longueur de cavité. Une corrélation croisée en lumière blanche
permet une mesure précise de la longueur de cavité entre les deux miroirs sur une grande gamme
de température et avec une très bonne stabilité temporelle. Cette longueur de cavité est convertie
en mesure de pression absolue à l’aide d’un étalonnage effectué en usine.
Résumé du poster présenté aux 17
e
Entretiens du Centre Jacques Cartier
6-7 octobre 2004 à l’école polytechnique de Montréal
Colloque
Nanotechnologies : Technologies de nanofabrication et
les nanodispositifs en électronique et en photonique