CAPTEUR DE PRESSION CARDIAQUE MOMS À FIBRE OPTIQUE Éric Pinet, Jean-Baptiste Kpetsu & Alain Pham FISO Technologies FISO Technologies commercialise depuis récemment un capteur de pression (FOP-MIV) destiné au marché médical. La faible dimension de ce capteur à fibre optique (OD 550µm), sa grande fiabilité et son immunité intrinsèque aux perturbations électromagnétiques (interférences, électrochocs, imagerie par résonance magnétique…) en font un atout de choix comme instrument de mesure intégré par exemple à des systèmes mécaniques d’assistance cardiaque. Fabriqué selon des techniques de microfabrication permettant une production de masse, ce capteur MOMS utilise une technologie d’interférométrie Fabry-Pérot en lumière blanche (brevets US #5,202,939, et #5,392,117) qui permet une grande fiabilité de la mesure. D’une manière schématique, le capteur est constitué de deux miroirs de part et d’autre d’une cavité qui ressemble à un tambour miniature constitué d’une fine membrane de silicium dont la déformation dépend de la pression appliquée. La lumière réfléchie par l’interféromètre Fabry-Pérot est modulée en longueur d’onde en fonction de la longueur de cavité. Une corrélation croisée en lumière blanche permet une mesure précise de la longueur de cavité entre les deux miroirs sur une grande gamme de température et avec une très bonne stabilité temporelle. Cette longueur de cavité est convertie en mesure de pression absolue à l’aide d’un étalonnage effectué en usine. Résumé du poster présenté aux 17e Entretiens du Centre Jacques Cartier 6-7 octobre 2004 à l’école polytechnique de Montréal Colloque Nanotechnologies : Technologies de nanofabrication et les nanodispositifs en électronique et en photonique eric.pinet Capteur de Pression Cardiaque MOMS à Fibre Optique 03/03/2010